JPS63217679A - パルスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS63217679A JPS63217679A JP5018787A JP5018787A JPS63217679A JP S63217679 A JPS63217679 A JP S63217679A JP 5018787 A JP5018787 A JP 5018787A JP 5018787 A JP5018787 A JP 5018787A JP S63217679 A JPS63217679 A JP S63217679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- electrode
- gas
- parallel
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ＴＥＡＣＯ，レーザ、エキシマレーザ、金属
蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなど、レーザガス中で
パルス放電励起を行うパルスレーザ装置に関する。
蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなど、レーザガス中で
パルス放電励起を行うパルスレーザ装置に関する。
（従来の技術）
レーザガスを励起してパルスレーザ発振を行うレーｆ装
置１１としてＴＢＡＣＯ，レーザ、エキシマレーザ、金
属蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなどがある。これら
は、電子線励起の大出力のものを除けば、放電励起のも
のが一般的である。第２図は、この予備放電と主放電を
、１つの回路で行わせるようＫしたもので、自動予備電
離形と呼ばれるものである。この動作を簡単に説明する
と、トリガーギャップ（スイッチング素子）６を短絡す
ることによシ予め充電されたコンデンサ５から、予備放
電ギャップＸ３．Ｘ：＃をとおして電流が流れコンデン
サ１２に充電される。このとき予備電離がおこなわれコ
ンデンサ１２が十分に充電されたところで２つの主電極
１．Ｉ′の間て主放電がおこなわれる。従来の方法であ
ると、予備放電により予備放電ギャップ１３．１３’中
に不純ガスが発生しレーザガスの劣化し、パルスレーザ
の寿命が低下する欠点があった。
置１１としてＴＢＡＣＯ，レーザ、エキシマレーザ、金
属蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなどがある。これら
は、電子線励起の大出力のものを除けば、放電励起のも
のが一般的である。第２図は、この予備放電と主放電を
、１つの回路で行わせるようＫしたもので、自動予備電
離形と呼ばれるものである。この動作を簡単に説明する
と、トリガーギャップ（スイッチング素子）６を短絡す
ることによシ予め充電されたコンデンサ５から、予備放
電ギャップＸ３．Ｘ：＃をとおして電流が流れコンデン
サ１２に充電される。このとき予備電離がおこなわれコ
ンデンサ１２が十分に充電されたところで２つの主電極
１．Ｉ′の間て主放電がおこなわれる。従来の方法であ
ると、予備放電により予備放電ギャップ１３．１３’中
に不純ガスが発生しレーザガスの劣化し、パルスレーザ
の寿命が低下する欠点があった。
（発明が解決しようとする問題点）
以上のように従来のパルスレーザ装置では、し−ザガス
の劣化し、パルスレーザの寿命が低下する欠点があった
。
の劣化し、パルスレーザの寿命が低下する欠点があった
。
本発明の目的は、不純ガスが発生を抑制しレーザガスの
劣化なくシ、パルスレーザの寿命が低下する防止したパ
ルスレーザ装置を提供することにある。
劣化なくシ、パルスレーザの寿命が低下する防止したパ
ルスレーザ装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明にかかるパルスレーザ装置は、主放電電極の少な
くとも一方の電極が、レーザビーム方向と平行な電極端
近傍に、前記電極端と平行に連続紫外光源を設置し、か
つ連続紫外光源の近傍に前記電極端にかつ連続紫外光源
の近傍に電極端に対向配置した光反射板を有することに
よシ、よシ効率良くかつ一様に主放電領域を紫外線電離
し、不純ガスが発生を抑制しレーザガスの劣化なくし、
パルスレーザの長寿命を実現した。
くとも一方の電極が、レーザビーム方向と平行な電極端
近傍に、前記電極端と平行に連続紫外光源を設置し、か
つ連続紫外光源の近傍に前記電極端にかつ連続紫外光源
の近傍に電極端に対向配置した光反射板を有することに
よシ、よシ効率良くかつ一様に主放電領域を紫外線電離
し、不純ガスが発生を抑制しレーザガスの劣化なくし、
パルスレーザの長寿命を実現した。
（作用）
本発明は、不純ガスが発生を抑制しレーザガスの劣化な
くし、パルスレーザの長寿命化を実現した。
くし、パルスレーザの長寿命化を実現した。
（実施例）
第１図に、本発明の一実施例を示す。主放電電極１，１
′の少なくとも一方の電極が、レーザビーム方向と平行
な電極端近傍に、前記電極端と平行に連続紫外光源１０
，１σを設置し、かつ連続紫外光源の近傍に前記電極端
Ｋかつ連続紫外光源の近傍に電極端に対向配置した光反
射板１１を有することによシ、よシ効率良くかつ一様に
主放電領域を紫外線電離し、不純ガスが発生をなくしレ
ーザガスの劣化を抑へ、パルスレーザの長寿命を実現し
た。また、実施例では、連続紫外光源使用しているが、
パルス紫外光源使用しても、本発明と同様の効果が得ら
れる。
′の少なくとも一方の電極が、レーザビーム方向と平行
な電極端近傍に、前記電極端と平行に連続紫外光源１０
，１σを設置し、かつ連続紫外光源の近傍に前記電極端
Ｋかつ連続紫外光源の近傍に電極端に対向配置した光反
射板１１を有することによシ、よシ効率良くかつ一様に
主放電領域を紫外線電離し、不純ガスが発生をなくしレ
ーザガスの劣化を抑へ、パルスレーザの長寿命を実現し
た。また、実施例では、連続紫外光源使用しているが、
パルス紫外光源使用しても、本発明と同様の効果が得ら
れる。
以上述べたように本発明によるパルスレーザ装置では、
不純ガスが発生をなくしレーザガスの劣化を抑へ、パル
スレーザの長寿命が実現できる。
不純ガスが発生をなくしレーザガスの劣化を抑へ、パル
スレーザの長寿命が実現できる。
８ｇ１図は、本発明の一実施例によるパルスレーザ装置
の要部を示す回路図、第２図従来の紫外線予備［離形パ
ルスレーザ装置の要部を示す回路図である。 １．１１・・−放電電極、２・・・スイッチング素子、
３・・・主コンデンサ、４・・・Ｌ几素子、６・・・ス
イッチング素子、９・・・ＬＲ水素子１０．ｌび・・・
紫外線ランプ、１１・・・光反射板、１２・・・コンデ
ンサ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第１図
の要部を示す回路図、第２図従来の紫外線予備［離形パ
ルスレーザ装置の要部を示す回路図である。 １．１１・・−放電電極、２・・・スイッチング素子、
３・・・主コンデンサ、４・・・Ｌ几素子、６・・・ス
イッチング素子、９・・・ＬＲ水素子１０．ｌび・・・
紫外線ランプ、１１・・・光反射板、１２・・・コンデ
ンサ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第１図
Claims (2)
- （１）一対の放電電極からなるパルスレーザ装置におい
て、前記放電電極の少なくとも一方の電極が、レーザビ
ーム方向と平行な電極端近傍に、この電極端と平行に連
続紫外光源を設置しかつ前記連続紫外光源の近傍に前記
電極端に対向配置した光反射板を有することを特徴とす
るパルスレーザ装置 - （２）連続紫外光源をパルス紫外光源としたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のパルスレーザ装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018787A JPS63217679A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018787A JPS63217679A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63217679A true JPS63217679A (ja) | 1988-09-09 |
Family
ID=12852173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5018787A Pending JPS63217679A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63217679A (ja) |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP5018787A patent/JPS63217679A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001168432A (ja) | 紫外線を放出するガスレーザ装置 | |
| US6847670B1 (en) | Gas laser apparatus emitting ultraviolet radiation | |
| KR102519981B1 (ko) | 방전 체임버용 전극 | |
| JPS63217679A (ja) | パルスレ−ザ装置 | |
| JP2614231B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS63217681A (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JP3281032B2 (ja) | 放電励起型ガスレーザ装置 | |
| JPH0567822A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JP2666149B2 (ja) | 放電励起ガスレーザ装置の紫外線予備電離電極 | |
| JP3819181B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPS63217680A (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JP2000077754A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS62181482A (ja) | エキシマレ−ザ−装置 | |
| JPH0573073B2 (ja) | ||
| JPH05343777A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH0465174A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH05251794A (ja) | エキシマレーザ発振器 | |
| JPH0573072B2 (ja) | ||
| JPH09298330A (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPS6231185A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPH0427177A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH05335672A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPH03147383A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH0621544A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JPS63228776A (ja) | ガスレ−ザ装置 |