JPH0465174A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0465174A JPH0465174A JP17907290A JP17907290A JPH0465174A JP H0465174 A JPH0465174 A JP H0465174A JP 17907290 A JP17907290 A JP 17907290A JP 17907290 A JP17907290 A JP 17907290A JP H0465174 A JPH0465174 A JP H0465174A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- preliminarily
- discharge
- ionization
- ionizing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に係り、特に放電領域内を効率
よく予備電離できるようにしたガスレーザ装置に関する
。
よく予備電離できるようにしたガスレーザ装置に関する
。
一般に、放電電極間に形成されてレーザビームの進行方
向に延びる放電領域内を、予備電離する予備電離電極を
備えてなるガスレーザ装置は知られている(特開平1−
245579号公報)。
向に延びる放電領域内を、予備電離する予備電離電極を
備えてなるガスレーザ装置は知られている(特開平1−
245579号公報)。
この種の従来のガスレーザ装置は、第4図に示すように
、一対の放電電極1,3を有しており、これら放電電極
1,3間にはレーザビームの進行方向に延びる放電領域
5が形成されている。放電電極1の両側には予備電離電
極7が配置されており、この予備電離電極7は予備電離
ピン7aと予備電離レールガイド7bとを対向配置して
、または、第5図に示すように、一対の予備電離ピン7
a、7aを対向配置して構成されている。
、一対の放電電極1,3を有しており、これら放電電極
1,3間にはレーザビームの進行方向に延びる放電領域
5が形成されている。放電電極1の両側には予備電離電
極7が配置されており、この予備電離電極7は予備電離
ピン7aと予備電離レールガイド7bとを対向配置して
、または、第5図に示すように、一対の予備電離ピン7
a、7aを対向配置して構成されている。
しかしながら、従来の構成では、第6図に示すように、
予備電離電極7から発生する予備電離アーク9は、レー
ザビーム10の進行方向とほぼ垂直な方向(紙面に垂直
な方向)に起きるので、放電領域5内を均一に予備電離
することができず、励起領域幅11の大きさに比べてビ
ーム幅13が狭くなり、レーザ出力が低下するという問
題がある。
予備電離電極7から発生する予備電離アーク9は、レー
ザビーム10の進行方向とほぼ垂直な方向(紙面に垂直
な方向)に起きるので、放電領域5内を均一に予備電離
することができず、励起領域幅11の大きさに比べてビ
ーム幅13が狭くなり、レーザ出力が低下するという問
題がある。
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する
問題点を解消し、放電領域内を効率よく予備電離して、
レーザ出力を向上させることのできるガスレーザ装置を
提供することにある。
問題点を解消し、放電領域内を効率よく予備電離して、
レーザ出力を向上させることのできるガスレーザ装置を
提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、一対の放電電極
間に形成されてレーザビームの進行方向に延びる放電領
域内を、予備電離する予備電離電極を備だガスレーザ装
置において、予備電離電極は、レーザビームの進行方向
とほぼ平行に、一対の予備電離ピンを対向配置させてな
ることを特徴とするものである。
間に形成されてレーザビームの進行方向に延びる放電領
域内を、予備電離する予備電離電極を備だガスレーザ装
置において、予備電離電極は、レーザビームの進行方向
とほぼ平行に、一対の予備電離ピンを対向配置させてな
ることを特徴とするものである。
本発明によれば、予備電離電極は、レーザビームの進行
方向とほぼ平行に一対の予備電離ピンを対向配置させて
なるから、予備電離アークは、放電距離1間において、
レーザビームの進行方向とほぼ平行な方向に起きるので
、従来のものに比べて、レーザビームの進行方向に延び
る放電領域内はより均一に予備電離される。したがって
、励起領域幅の大きさに応してビーム幅を広げることか
できるので、従来のものに比べて、レーザ出力は向上す
る。
方向とほぼ平行に一対の予備電離ピンを対向配置させて
なるから、予備電離アークは、放電距離1間において、
レーザビームの進行方向とほぼ平行な方向に起きるので
、従来のものに比べて、レーザビームの進行方向に延び
る放電領域内はより均一に予備電離される。したがって
、励起領域幅の大きさに応してビーム幅を広げることか
できるので、従来のものに比べて、レーザ出力は向上す
る。
以下、本発明によるカスレーザ装置の一実施例を第4図
と同一部分には同一符号を付して示した第1図乃至第3
図を参照して説明する。
と同一部分には同一符号を付して示した第1図乃至第3
図を参照して説明する。
第1図において、符号]、3は一対の放電電極を示して
おり、これら放電電極1,3間にはレーザビーム15の
進行方向に延びる放電領域5か形成されている。また、
放電電極1の両側には予備電離電極7(片側のみ図示す
る)が配置され、この予備電離電極7は、レーザビーム
15の進行方向とほぼ平行に、放電距離lをあけて、棒
状の予備電離ピン17と、逆り字状に形成された予備電
離ピン19とを対向配置して構成されている。
おり、これら放電電極1,3間にはレーザビーム15の
進行方向に延びる放電領域5か形成されている。また、
放電電極1の両側には予備電離電極7(片側のみ図示す
る)が配置され、この予備電離電極7は、レーザビーム
15の進行方向とほぼ平行に、放電距離lをあけて、棒
状の予備電離ピン17と、逆り字状に形成された予備電
離ピン19とを対向配置して構成されている。
次に、この実施例の作用を説明する。
予備電離ピン17と予備電離ピン19との間で予備電離
アーク21が起きて、放電領域5内のレーザガスが予備
電離されて、その後に、放電電極1.3間で放電が起き
て、予備電離されたレーザガスが励起されて、レーザビ
ーム15となって出力される。
アーク21が起きて、放電領域5内のレーザガスが予備
電離されて、その後に、放電電極1.3間で放電が起き
て、予備電離されたレーザガスが励起されて、レーザビ
ーム15となって出力される。
しかして、この実施例によれば、放電距離1間において
、第2図に示すように、予備電離アーク21がレーザビ
ーム15の進行方向とほぼ平行な方向に起きるので、従
来のもの(第3図)に比べて、放電領域5内を均一に予
備電離することができる。また、予備電離アーク21が
放電距離1間に跨がって起きるので、励起領域幅23の
大きさに応じたビーム幅25を得ることができ、従来の
ものに比べて、レーザ出力を向上させることができる。
、第2図に示すように、予備電離アーク21がレーザビ
ーム15の進行方向とほぼ平行な方向に起きるので、従
来のもの(第3図)に比べて、放電領域5内を均一に予
備電離することができる。また、予備電離アーク21が
放電距離1間に跨がって起きるので、励起領域幅23の
大きさに応じたビーム幅25を得ることができ、従来の
ものに比べて、レーザ出力を向上させることができる。
この実施例では、予備電離電極7の数を増したのと同等
な効果を得ることができる。
な効果を得ることができる。
第3図は他の実施例を示している。
この実施例では、放電電極1側から放電電極3側に向け
て棒状の予備電離ピン27を延出するとともに、放電電
極3側から放電電極1側に向けて逆り字状に形成された
予備電離ピン29を延出し、これら予備電離ピン27.
29により放電電極3の両側に予備電離電極7(片側の
み図示する)を構成している。
て棒状の予備電離ピン27を延出するとともに、放電電
極3側から放電電極1側に向けて逆り字状に形成された
予備電離ピン29を延出し、これら予備電離ピン27.
29により放電電極3の両側に予備電離電極7(片側の
み図示する)を構成している。
このように構成しても、第2図に示すように、レーザビ
ーム15の進行方向とほぼ平行な方向に、ある程度の距
離lを持って予備電離アーク21を発生させることがで
きるので、放電領域5を均一に予備電離することができ
、従来のものに比べて、レーザ出力を向上させることが
できる。
ーム15の進行方向とほぼ平行な方向に、ある程度の距
離lを持って予備電離アーク21を発生させることがで
きるので、放電領域5を均一に予備電離することができ
、従来のものに比べて、レーザ出力を向上させることが
できる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、予備
電離電極は、レーザビームの進行方向とほぼ平行に一対
の予備電離ピンを対向配置させてなるから、予備電離ア
ークは、レーザビームの進行方向とほぼ平行に発生する
ので、レーザビーム進行方向に延びる放電領域内を均一
に予備電離することができ、ビーム幅を広げることかで
きるので、従来のものに比べて、レーザ出力を向上させ
ることができ、また、予備電離電極の数を増したのと同
等な効果を得ることができる。
電離電極は、レーザビームの進行方向とほぼ平行に一対
の予備電離ピンを対向配置させてなるから、予備電離ア
ークは、レーザビームの進行方向とほぼ平行に発生する
ので、レーザビーム進行方向に延びる放電領域内を均一
に予備電離することができ、ビーム幅を広げることかで
きるので、従来のものに比べて、レーザ出力を向上させ
ることができ、また、予備電離電極の数を増したのと同
等な効果を得ることができる。
第1図は本発明によるガスレーザ装置の一実施例を示す
側面図、第2図は同ガスレーザ装置のレーザビームを示
す平面図、第3図は他の実施例を示す側面図、第4図は
従来のガスレーザ装置を示す正面図、第5図は従来のガ
スレーザ装置の他の例を示す正面図、第6図は従来のガ
スレーザ装置のレーザビームを示す平面図である。 1.3・・・放電電極、5・・・放電領域、7・・・予
備電離電極、15・・・レーザビーム、17. 19.
27゜29・・・予備電離ピン、21・・・予備電離
アーク。
側面図、第2図は同ガスレーザ装置のレーザビームを示
す平面図、第3図は他の実施例を示す側面図、第4図は
従来のガスレーザ装置を示す正面図、第5図は従来のガ
スレーザ装置の他の例を示す正面図、第6図は従来のガ
スレーザ装置のレーザビームを示す平面図である。 1.3・・・放電電極、5・・・放電領域、7・・・予
備電離電極、15・・・レーザビーム、17. 19.
27゜29・・・予備電離ピン、21・・・予備電離
アーク。
Claims (1)
- 一対の放電電極間に形成されてレーザビームの進行方
向に延びる放電領域内を、予備電離する予備電離電極を
備えたガスレーザ装置において、前記予備電離電極は、
前記レーザビームの進行方向とほぼ平行に、一対の予備
電離ピンを対向配置させてなることを特徴とするガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17907290A JPH0465174A (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17907290A JPH0465174A (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0465174A true JPH0465174A (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=16059604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17907290A Pending JPH0465174A (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0465174A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485612B1 (ko) * | 2001-10-19 | 2005-04-27 | 대한민국(관리부서:농촌진흥청) | 진동방식 마늘쪽 선별기 |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP17907290A patent/JPH0465174A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485612B1 (ko) * | 2001-10-19 | 2005-04-27 | 대한민국(관리부서:농촌진흥청) | 진동방식 마늘쪽 선별기 |
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