JPH0735580B2 - 帯状物のエア−ロツク装置 - Google Patents
帯状物のエア−ロツク装置Info
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- JPH0735580B2 JPH0735580B2 JP16671986A JP16671986A JPH0735580B2 JP H0735580 B2 JPH0735580 B2 JP H0735580B2 JP 16671986 A JP16671986 A JP 16671986A JP 16671986 A JP16671986 A JP 16671986A JP H0735580 B2 JPH0735580 B2 JP H0735580B2
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- vacuum
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Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は帯状物のエアーロック装置、特に金属ストリッ
プ等の帯状物の表面に真空室内でイオンプレーティング
等の物理的蒸着法によって金属、セラミックスその他の
薄い被膜を連続的にコーティングするための帯状物連続
真空蒸着処理装置の入側および出側に設けられるシール
用差圧室を具えるエアーロック装置の差圧室封止構造に
関するものである。
プ等の帯状物の表面に真空室内でイオンプレーティング
等の物理的蒸着法によって金属、セラミックスその他の
薄い被膜を連続的にコーティングするための帯状物連続
真空蒸着処理装置の入側および出側に設けられるシール
用差圧室を具えるエアーロック装置の差圧室封止構造に
関するものである。
（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にA
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装置の入
側および出側エアーロックとして、第６図に示すような
ものが既知である。この図示の形式の連続真空蒸着処理
装置は、真空蒸着処理を行うための高真空に維持される
真空室１と、この真空室１の入口1aおよび出口1bにそれ
ぞれ通じる入側および出側エアーロック２および３とを
具え、これら両エアーロック2,3は真空室１に近い程高
真空度に調圧された複数個の差圧室によりそれぞれ構成
され、金属ストリップ等の帯状物４を入口1aから出口1b
を経て連続的に真空室１内に通過させて蒸着処理を行っ
ている際に、真空室１内を高真空に維持するための真空
封止を確保するよう構成されている。
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装置の入
側および出側エアーロックとして、第６図に示すような
ものが既知である。この図示の形式の連続真空蒸着処理
装置は、真空蒸着処理を行うための高真空に維持される
真空室１と、この真空室１の入口1aおよび出口1bにそれ
ぞれ通じる入側および出側エアーロック２および３とを
具え、これら両エアーロック2,3は真空室１に近い程高
真空度に調圧された複数個の差圧室によりそれぞれ構成
され、金属ストリップ等の帯状物４を入口1aから出口1b
を経て連続的に真空室１内に通過させて蒸着処理を行っ
ている際に、真空室１内を高真空に維持するための真空
封止を確保するよう構成されている。
入側エアーロック２の入口側および出側エアーロック３
の出口側には、それぞれコイル巻戻機５および巻取機６
が設けられ、これにより、巻戻機５によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口開口７か
ら真空室１を経て出側エアーロック３の出口開口８に連
続的に通し、真空室１内で蒸発ポットのような蒸発源９
から蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エ
アーロック３の出口開口８から出た帯状物４を巻取機６
によってコイル状に巻き取るよう構成されている。
の出口側には、それぞれコイル巻戻機５および巻取機６
が設けられ、これにより、巻戻機５によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口開口７か
ら真空室１を経て出側エアーロック３の出口開口８に連
続的に通し、真空室１内で蒸発ポットのような蒸発源９
から蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エ
アーロック３の出口開口８から出た帯状物４を巻取機６
によってコイル状に巻き取るよう構成されている。
入側エアーロック２の複数個の差圧室2a,2b,2c,2dの内
部圧力は、真空室１内の真空度を所定値に維持するよう
に、大気圧に近い入側端の差圧室2aから順次の差圧室2
b,2c,2dの内部の真空度を高め、他方、出側エアーロッ
ク３の複数個の差圧室3a,3b,3c,3dの内部圧力は真空室
１内の所定の真空度から順次出側端に向けて低めていっ
て出側端の差圧室3aでは大気圧近くになるよう各差圧室
に接続された真空排気ダクト（図示せず）を経てそれぞ
れ排気されて調圧されている。
部圧力は、真空室１内の真空度を所定値に維持するよう
に、大気圧に近い入側端の差圧室2aから順次の差圧室2
b,2c,2dの内部の真空度を高め、他方、出側エアーロッ
ク３の複数個の差圧室3a,3b,3c,3dの内部圧力は真空室
１内の所定の真空度から順次出側端に向けて低めていっ
て出側端の差圧室3aでは大気圧近くになるよう各差圧室
に接続された真空排気ダクト（図示せず）を経てそれぞ
れ排気されて調圧されている。
（発明が解決しようとする問題点） 上述したように帯状物を連続的に処理する場合には、大
気‐高真空‐大気（air-to-air）となるために、大気と
真空室との間の真空シールをどのようにするかが問題と
なっている。即ち、シール性が悪いと大気中のO2，CO2
および微細な浮遊物が真空室内に侵入して、蒸着被膜に
悪影響を与えるばかりでなく、真空ポンプによる真空
室、差圧室での排気量が増え、ランニングコストがかさ
むという問題がある。
気‐高真空‐大気（air-to-air）となるために、大気と
真空室との間の真空シールをどのようにするかが問題と
なっている。即ち、シール性が悪いと大気中のO2，CO2
および微細な浮遊物が真空室内に侵入して、蒸着被膜に
悪影響を与えるばかりでなく、真空ポンプによる真空
室、差圧室での排気量が増え、ランニングコストがかさ
むという問題がある。
本発明は、上述した問題を解決しようとするものであ
る。
る。
（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、高真空に排気される真空室内の高真空
を維持しながら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気
中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真
空室から導出し得るよう真空室の入側および出側に設け
られたシール用差圧室を具える帯状物のエアーロック装
置において、第１図に示すように差圧室の長さ方向にそ
れぞれ離間した一対の上シールロール13,14と一対の下
シールロール15,16とが差圧室10内に上下に設けられ、
上シールロール13,14間および下シールロール15,16間に
それぞれエンドレスシールベルト24,25が巻掛けられ、
これにより上下一対のエンドレスシールベルト24,25が
帯状物をはさんで差圧室10の内部空間を実質的に閉塞し
て帯状物４を通すよう構成したことを特徴とする。
を維持しながら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気
中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真
空室から導出し得るよう真空室の入側および出側に設け
られたシール用差圧室を具える帯状物のエアーロック装
置において、第１図に示すように差圧室の長さ方向にそ
れぞれ離間した一対の上シールロール13,14と一対の下
シールロール15,16とが差圧室10内に上下に設けられ、
上シールロール13,14間および下シールロール15,16間に
それぞれエンドレスシールベルト24,25が巻掛けられ、
これにより上下一対のエンドレスシールベルト24,25が
帯状物をはさんで差圧室10の内部空間を実質的に閉塞し
て帯状物４を通すよう構成したことを特徴とする。
（作用） 上述の構成になる本発明による帯状物のエアーロック装
置によれば、差圧室10を上下シールベルト24,25によっ
て実質的に閉塞して帯状物を通すことができる。したが
って、大気中のO2，CO2および微細な浮遊物の侵入によ
って生じる蒸着被膜に対する悪影響をなくし、また、真
空室および差圧室の排気に要するランニングコストを低
減することができる。
置によれば、差圧室10を上下シールベルト24,25によっ
て実質的に閉塞して帯状物を通すことができる。したが
って、大気中のO2，CO2および微細な浮遊物の侵入によ
って生じる蒸着被膜に対する悪影響をなくし、また、真
空室および差圧室の排気に要するランニングコストを低
減することができる。
（実施例） 第１〜３図は本発明の一実施例を示す。図示の例では、
シール用差圧室10の頂壁11および底壁12間に一対の上シ
ールロール13,14および一対の下シールロール15,16がそ
れぞれ差圧室10の長さ方向に離間して上下に設けられ各
シールロール13,14,15,16のロール軸17,18,19,20は差圧
室10の側壁21に回転シール22を介して貫通されて軸受23
によってそれぞれ回転自在に支承されている。
シール用差圧室10の頂壁11および底壁12間に一対の上シ
ールロール13,14および一対の下シールロール15,16がそ
れぞれ差圧室10の長さ方向に離間して上下に設けられ各
シールロール13,14,15,16のロール軸17,18,19,20は差圧
室10の側壁21に回転シール22を介して貫通されて軸受23
によってそれぞれ回転自在に支承されている。
上シールロール13,14間および下シールロール15,16間に
それぞれエンドレスシールベルト24,25が巻掛けられ、
これらの上下シールベルト24,25を上シールロール13,14
および下シールロール15,16によってそれぞれ帯状物４
に密着させて上下シールベルト24,25によってはさみ込
み、これにより差圧室10の入側及び出側間の空間をシー
ルベルト24,25が実質的に閉塞して封止するよう構成さ
ている。
それぞれエンドレスシールベルト24,25が巻掛けられ、
これらの上下シールベルト24,25を上シールロール13,14
および下シールロール15,16によってそれぞれ帯状物４
に密着させて上下シールベルト24,25によってはさみ込
み、これにより差圧室10の入側及び出側間の空間をシー
ルベルト24,25が実質的に閉塞して封止するよう構成さ
ている。
図示の例では、帯状物４と、上下シールロール13,14,1
5,16と、シールベルト24,25との間に生じる空隙にサイ
ドシール片26が挿入さている。
5,16と、シールベルト24,25との間に生じる空隙にサイ
ドシール片26が挿入さている。
シール片26はロール13,15の両端部の前面およびロール1
4,16の両端部の後面を覆うよう形成され、これらのシー
ル片26間にスペーサー27を連結してシール片26がロール
端部を覆う位置に保持されるよう構成さている。
4,16の両端部の後面を覆うよう形成され、これらのシー
ル片26間にスペーサー27を連結してシール片26がロール
端部を覆う位置に保持されるよう構成さている。
（発明の効果） 本発明によれば、エアーロック装置の差圧室を実質的に
閉塞して帯状物を通すことができ、したがって、大気中
のO2，CO2および微細な浮遊物の侵入によって生じる蒸
着被膜に対する悪影響をなくし、また、真空室および差
圧室の排気に要するランニングコストを低減することが
できる。
閉塞して帯状物を通すことができ、したがって、大気中
のO2，CO2および微細な浮遊物の侵入によって生じる蒸
着被膜に対する悪影響をなくし、また、真空室および差
圧室の排気に要するランニングコストを低減することが
できる。
第１図は本発明によるエアーロック装置の長さ方向の部
分縦断面図、 第２図は第１図のII−II線上の断面図、 第３図は第１図のIII−III線上の断面図、 第４図は従来の帯状物連続真空蒸着装置の概略線図であ
る。 １…真空室 13,14…上シールロール 15,16…下シールロール 24…上エンドレスシールベルト 25…下エンドレスシールベルト 26…サイドシール片 27…スペーサー
分縦断面図、 第２図は第１図のII−II線上の断面図、 第３図は第１図のIII−III線上の断面図、 第４図は従来の帯状物連続真空蒸着装置の概略線図であ
る。 １…真空室 13,14…上シールロール 15,16…下シールロール 24…上エンドレスシールベルト 25…下エンドレスシールベルト 26…サイドシール片 27…スペーサー
Claims (1)
- 【請求項１】高真空に排気される真空室内の高真空を維
持しながら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気中か
ら真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室
から導出し得るよう真空室の入側および出側に設けられ
たシール用差圧室を具える帯状物のエアーロック装置に
おいて、差圧室の長さ方向にそれぞれ離間した一対の上
シールロールと一対の下シールロールとが差圧室内に上
下に設けられ、上シールロール間および下シールロール
間にそれぞれエンドレスシールベルトが巻掛けられ、こ
れにより上下一対のエンドレスシールベルトが帯状物を
はさんで差圧室の内部空間を実質的に閉塞して帯状物を
通すよう構成したことを特徴とする帯状物のエアーロッ
ク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16671986A JPH0735580B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | 帯状物のエア−ロツク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16671986A JPH0735580B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | 帯状物のエア−ロツク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324067A JPS6324067A (ja) | 1988-02-01 |
| JPH0735580B2 true JPH0735580B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=15836484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16671986A Expired - Lifetime JPH0735580B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | 帯状物のエア−ロツク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735580B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0768622B2 (ja) * | 1991-07-02 | 1995-07-26 | 中外炉工業株式会社 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
| DE102009052873B4 (de) | 2009-11-13 | 2017-08-17 | THEVA DüNNSCHICHTTECHNIK GMBH | Vorrichtung zum kontinuierlichen bewegten Einschleusen eines Bandsubstrats ins Hochvakuum |
| CN104911554B (zh) * | 2015-04-10 | 2017-07-25 | 中国钢研科技集团有限公司 | 一种锌镁合金镀层钢带的工业化全连续型pvd生产工艺 |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP16671986A patent/JPH0735580B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6324067A (ja) | 1988-02-01 |
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