JPS63244638A - ウエハ−プロ−ビング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハー状態のＩＣをプロービングするための
ウェハープロービング装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェハープロービング装置でのＩＣの測
定は、被測定ウェハーが複数枚収納されている収納部か
ら１枚のウェハーを抜き出し、これをブロービングステ
ージ上にセットし、被測定ウェハーの位置合わせ線の光
学的測定によりアライメント作業を行い、被測定ウェハ
ーの先頭チップよりチップの信号入力部に正確にプロー
ブカードのプローブ針を接触させて試験装置側からの試
験信号を入力させ、１枚の被測定ウェハーの全てのチッ
プを順番にプロービングし、測定するもので全てのチッ
プをプロービングし、測定を終えると、測定完了した被
測定ウェハーは再び収納部へ収納され、次に測定される
被測定ウェハーが収納部より抜き出され、再びブロービ
ングステージ上へ乗せられ、アライメント作業が行われ
、全チップのプロービングが行われる。この動作を収納
部にセットされている枚数分１枚単位で繰返し、複数枚
の被測定ウェハーを連続して測定する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来のウェハープロービング装置では、複数枚
のウェハーを連続して測定する場合には、収納部に収納
された複数枚の被測定ウェハーのうちから１枚を抜き出
し、アライメント作業を行い、被測定ウェハー上のチッ
プのブロービングを順番に行い、全チップのブロービン
グが終了した後に次に測定する被測定ウェハーを再び収
納部から１枚抜き出し上記と同様の作業を行う、このた
め、連続して複数枚の被測定ウェハーを測定する場合に
は、収納部から被測定ウェハーを抜き出してから、アラ
イメント作業を行い、実測定ができるまでに要する時間
は被測定ウェハー１枚毎にアライメント作業及びブロー
ビングを行っているから、被測定ウェハー毎に必要とな
り、測定効率を低下させているという欠点がある。

本発明の目的は前記問題点を解消したウェハープロービ
ング装置を提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のウェハープロービング装置に対して、本
発明はブロービングステージに複数枚の被測定ウェハー
を乗せ、同時に複数枚のウェハーをアライメントし、複
数枚のウェハーを同時にブロービングするという独創的
内容を有する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は被測定ウェハーにブロービングするウェハープ
ロービング装置において、複数枚の被測定ウェハーをセ
ットし、該複数枚のウェハーの各々をアライメントする
ブロービングステージと。

該ブロービングステージ上にセットされた複数枚の被測
定ウェハーを同時にブロービングするプローブカードと
を有することを特徴とするウェハープロービング装置で
ある。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明に係るウェハープロービング装置の第１
の実施例を示すシステムブロック図である。第１図にお
いて、本実施例に係るウェハープロービング装置は、ブ
ロービングステージ１と、ブロービングステージ１上に
別個独立に回転可能に装備した複数台の回転ステージ部
１ａと、ブロービングステージ１上に乗せられた被測定
ウェハーのアライメントを行う際のアライメントデータ
２を光学的に測定するアライメント用光学測定系３と、
アライメント用光学測定系３からの７ライメントデータ
に基づきブロービングステージ１の動力部４とステージ
部１ａの動力部４ａに動力制御信号５をそれぞれ独立に
与えるブロービングステージ制御系６とから構成されて
いる。

第１図、第２図に示すように、ブロービングステージ１
は矢印で示すように動力部４により左右上下に移動し、
また内部には、各動力部４ａをもって各々独立に回転方
向に回転しかつ左右上下方向に移動する回転ステージ部
１ａを４つ有している構成となっている。そして各々の
動作は第１図に示したそれぞれの動力部４，４ａがブロ
ービングステージ制御系６からの信号によって動作を制
御され独立に動くことができるようになっている。

ブロービングステージ１上の正方形に配列された４つの
回転ステージ部ｌａ上に被測定ウェハー７８゜７ｂ、７
ｃ、７ｄ（以降総して被測定ウェハー７と称す）を乗せ
、４枚の被測定ウェハー７を同時にアライメントする際
の実施例を第３図を用いて示す、第１図で示したように
、アライメント用光学測定系３は、ブロービングステー
ジ１上の４枚の被測定ウェハー７の各々からのアライメ
ントデータを取り込み、各々の４枚の被測定ウェハー７
ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄの位置合わせ線８ａ、８ｂが一致
するようにまず縦方向に被測定ウェハー７８と７ｂ、被
測定ウェハー７０と７ｄの位置合わせ線８ａのアライメ
ントを行い、次に横方向に被測定ウェハー７８と７Ｃ１
被測定ウエハー７ｂと７ｄの位置合わせ線８ｂのアライ
メントを行う。

尚、この際、ブロービングステージ１１回転ステージ部
１ａの移動は第１ＩＩで示したアライメント用光学測定
系３からのアライメントデータをブロービングステージ
制御系６が介して各動力部４，４ａに゛制御信号を送り
動作制御している。

アライメント終了後にブロービングステージ１上の４枚
の被測定ウェハー７を同時にブロービングするために、
各々の回転ステージ部ｌａ上の被測定ウェハー７上の同
一ロケーションの４チツプを同時にブロービング可能な
プローブカード９奮用いて４枚の被測定ウェハー７を同
時にブロービングする際の実施例を第４図に基づいて説
明する。

ブロービングステージ１、上の４枚の被測定ウェハー７
ａ、７ｂ、７ｅ、７ｄは第３図で示したようにアライメ
ント時に隣接する被測定ウェハーの位置合わせ線８ａ、
８ｂが一致するようにアライメントされているため、回
転ステージ部１ａ上の各々の被測定ウェハー７上の同一
ロケーションの４チツプを同時にブロービング可能なプ
ローブカード９を用いてブロービングステージ１の左右
上下方向の移動のみで４枚の被測定ウェハー７を同時に
ブロービングすることが可能となる。

（実施例２） 第５図は本発明の第２の実施例を示すものである。

システム構成は第１の実施例の第１図と全く同等であり
、第５図にはシステム構成のうちブロービングステージ
１０の上面図をブロービングステージ１０として示す。

ブロービングステージ１０は第１図に示す第１の実施例
と同様にそれ全体で左右上下方向に移動することができ
二また内部に回転方向と左右上下方向に移動することの
できる回転ステージ部１０ａを横一列に３つ有する構成
となっている。尚、この動作の制御は、第１の実施例と
同様に第１図に示したアライメント用光学測定系３と各
ステージの動力部４，４ａとブロービングステージ制御
系６の制御で各々独立に行われる。

ブロービングステージ１０上に被測定ウェハー１１ａ、
ｌｌｂ、１ｉｅ（以降総して被測定ウェハー１１と称す
）の３枚を各々の回転ステージ部１０ａ上に横一列に乗
せ同時にアライメントする際の動作を第６図に示す、第
１図で示したように、アライメント用光学測定系３は、
ブロービングステージ１０上の各々の被測定ウェハー１
１からのアライメントデータ２を取り込み、各々の被測
定ウェハー１１の位置合わせ線１２ａが横一列方向に一
致するようにアライメントを行う、尚、この際の各ステ
ージ部の動作は、第１図で示す各部の動力部４，４ａが
ブロービングステージ制御系６からの制御信号５を受け
て制御され動作している。

次に、アライメント終了後にブロービングステージ１０
上の３枚の被測定ウェハー１１を、３枚同時にブロービ
ングできるように各被測定ウェハーの同一ロケーション
の３チツプを同時にブロービング可能なプローブカード
１３を用いて３枚の横一列に並べられた被測定ウェハー
１１を同時にブロービングする際の動作を第７図に示す
、ブロービングステージ１０上の３枚の被測定ウェハー
１１はアライメント時に隣接するそれぞれの被測定ウェ
ハーの位置合わせ線１２ａが一致するようにアライメン
トされているため９回転ステージ部１０ａ上に乗った３
枚の被測定ウェハー１１を同時にプローブすることので
きるプローブカード１３を用いることによりブロービン
グステージ１０の左右上下方向移動のみで３枚の横一列
に並べられた被測定ウェハー１１を同時に連続してブロ
ービングすることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は複数枚の被測定ウェハーを
同時にアライメントするブロービングステージと、前記
ブロービングステージ上にセットされた複数枚の被測定
ウェハーを同時に連続してブロービングするプローブカ
ードを有することにより、被測定ウェハー１枚について
アライメントに要する時間の短縮が可能となり、被測定
ウェハーの測定効率が向上できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェハープロービング装置の第１
の実施例を示すシステムブロック図、第２図はブロービ
ングステージの平面図、第３図はブロービングステージ
上に被測定ウェハーをセットした平面図、第４図はブロ
ービングステージ上の被測定ウェハーをブロービングす
る平面図、第５図は本発明の第２の実施例を示すブロー
ビングステージの平面図、第６図はブロービングステー
ジ上に被測定ウェハーをセットした同平面図、第７図は
ブロービングステージ上の被測定ウェハーをブロービン
グする同平面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定ウェハーにプロービングするウェハープロ
   ービング装置において、複数枚の被測定ウェハーをセッ
   トし、該複数枚のウェハーの各々をアライメントするプ
   ロービングステージと、該プロービングステージ上にセ
   ットされた複数枚の被測定ウェハーを同時にプロービン
   グするプローブカードとを有することを特徴とするウェ
   ハープロービング装置。