JPS6387735A - ウエハテスト工程における集中マ−キングシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明はウェハテスト工程における不良チップのマーキ
ングシステムに係り、特に大規模なウェハテスト工程及
び後工程等を系統的に制御するためのグループコントロ
ールシステムに適用して好適な集中マーキングシステム
に関する。

〔発明の技術的背景コ ウェハのテスト工程であるウェハプロービングにおいて
は、ウェハ上のチップに次々とプローブ針をあて、プロ
ーブ針に接続されているテスターによって各チップを測
定し、その測定の結果、不良品と判定されたチップにプ
ローバ内のマーカーによりマーキングを施していた。マ
ーキング方式としては多くの場合再生可能なインク方式
が採用されている。それは万が−テストレ；誤りがあっ
た場合、インクを除去し再測定して良品を出させるよう
にするためである。

ところで、近年のウェハ生産量の増加に伴ないこのよう
なウェハテスト工程は複数台（例えば１００台）のプロ
ーバにより同時併用して行われるように大規模化してい
る。

［従来技術の問題点］ しかし、従来のテスト工程では一つのプローバにおいて
１チツプの測定後、そのチップが不良であれば即マーキ
ングしているため、１ウエハ当たりのチップ数が多い場
合、マーキングするチップ数も相当数となるため、マー
キングに費す時間。

高価なテスターが稼動せず有効に活用されないという問
題があった。また、従来−つのプローバに対し１〜４コ
のマーカーがセットさ九ているが。

それらマーカーの゛設定操作が煩雑であり、保守にも多
くの手間と時間を要していた。殊にプローバを何台も備
えたウェハテストシステムにおいては。

マーカーの操作、メンテナンスに必要な時間は膨大であ
り、結果としてブロービングの効率を下げていた。又、
マーカーはウエハプローバに備えられているためマーカ
ーによってプローブカードが汚れるという問題もあった
。

【発明の目的］ 本発明は上記従来のウェハブロービングシステムにおけ
る種々の間層点を解決するためになされたもので、マー
キング専用プローバを導入することにより、マーキング
の操作メンテナンスに要した時間を大幅に削減し、プロ
ーバ（テスター）の有効利用を図ることのできる集中マ
ーキングシステムを提供せんとするものである。

［発明の概要コ このような目的を達成するために本発明の集中マーキン
グシステムは、１または２以上のウェハプローバと、該
ウェハプローバにおけるウェハチップの測定結果を測定
単位毎に表わすマツプを記憶する記憶手段と、該記憶手
段に記憶されたマツプに基き前記ウェハチップのうち不
良品チップにマーキングを施すマーキング専用プローバ
とから成ることを特徴とする。

［発明の実施例］ 以下１本発明の集中マーキングシステムの実施例を図面
に基き説明する。

第１１ｉ！ｌは基本的なフロッピディスクによる集中マ
ーキングシステムの構成図を示し、１０台〜５０台のウ
ェハプローバ１と、１台のマーキング専用プローバ２を
備える。

ウェハプローバ１及びマーキング専用プローバ２はそれ
ぞれ記憶手段としてフロッピディスク３が付加されてい
る。ウェハプローバ１にはそれぞれテスタ４がｔａａさ
れる。マーキング専用プローバ２はマーカーが１個、２
個あるいは４個取付可能になっており、更にマツプデー
タ、テストデータを表示するためのＣＲＴあるいはプリ
ントするためのプリンタ（コンソール５）を備える。更
にマーキング専用ブロービングのＣＰＵによってロフト
、ウェハ毎の歩留り集計など各種データ集計が行われる
。

このような集中マーキングシステムにおいては。

各ウェハプローバｌにおける測定に際し、ロフトのＮｏ
、品種名、各カテゴリデータ、マシンＮｏ。

カードＮｏ、テスト年月日時分等をフロッピディスク３
に入力する０次いで、ロフト毎に１ウエハ毎の測定を行
なう、この際、各ウェハのチップのどれが良品で、どれ
が不良品かを示すマツプがフロッピディスクに記憶され
る。そして１０ット分の測定が終了すると、オペレータ
は１０ット分のウェハとそのロットのマツプを記憶する
ディスクカードを一組としてマーキング専用プローバ２
にセットする。マーキング専用プローパ２はディスクカ
ードに記憶されたマツプに基き、そのロットのウェハの
不良品チップに順次、マーキングを施す、マーキングに
要する時間はブロービングに要する時間よりはるかに短
いので、複数台のウェハプローバからテスト済ウェハが
送られても１台のマーキング専用プローバにて充分処理
することができる。

尚、このシステムでは、通常測定中にはマーキングを行
わないのでミスが発生しても再測定可能であるからマー
キング方式は、インク方式に限らずスクラッチ方式ある
いはレーザマーカ一方式が採用される１以上の実施例は
、ウェハテスト工程における基本的な集中マーキングシ
ステムの例であるが、本発明の集中マーキングシステム
は第２図に示すようなウェハテスト工程からベーキング
、ダイボンディング等の後工程までを自動化したグルー
プコントロールシステムにも好適に採用される。このグ
ループコントロールシステムにおいては、ウェハテスト
工程内のテストデータ、マツプデータは記憶手段３１を
内蔵するＧＣＳステーション３０に転送され、ウェハプ
ローバ１によるウェハテスト、マーキング専用プローバ
２による不良品チップのマーキング、ベーキングユニッ
ト６によるベーキングが自動的に行なわれる。マルチプ
レクサ７は信号の選択を行うものである。このシステム
においてはデータと物流とがバラバラに分離されている
のでウェハ側にＩＤを設けると共に。

工程内にＩＤの自動認識装置を設置する。この自動認識
装置及び自動搬送はホストコンピュータの管理のもとで
作動する。

［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように本発明の集中マーキン
グシステムにおいては、ウェハプローバとは別にマーキ
ング専用のプローバを設け、ウェハプローバによる測定
結果を示すマツプによってマーキングだけを集中的に実
施するようにしたので、従来のプローバのように、マー
カー（イン力）によるプローブカードの汚れやマーカー
の操作。

保守等の問題が解消されると共に、プローバ自体の有効
利用を図ることができ、もってウェハテスト工程の高速
化、自動化を実現できる。更に、測定時にマーキングし
ないので、マーキング方式として任意の方式を選ぶこと
ができる等の利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の集中マーキングシステムの構成図、第
２図は本発明を利用したグループコントロールシステム
の構成図である。 １・・・・・・・ウェハプローパ ２・・・・・・・マーキング専用プローバ３・・・・・
・・フロッピディスク（記憶手段）′４・・・・・・・
テスタ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １または２以上のウェハプローバと、該ウェハプローバ
   におけるウェハチップの測定結果を１測定単位ごとに表
   わすマップを記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶さ
   れたマップに基き前記ウェハチップのうち不良品チップ
   にマーキングを施すマーキング専用プローバとから成る
   ことを特徴とする集中マーキングシステム。