JPS63249934A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気記録媒体の製造方法に関するもので、特
に高密度記録媒体である蒸着テープの製造時に、テープ
の表裏面を湿式および乾式洗浄する磁気記録媒体の製造
方法に関するものである。

（従来の技術） 近年、磁気記録媒体は、磁気記録密度の向上に見られる
ように、その技術的発展はめざましいものがある。従来
の磁気記録媒体の例としてオーディオ、ビデオ用テープ
の材料に用いられるγ−Ｆｅ２０３粉末、ＣｒＯ２粉末
、純鉄粉末等を樹脂等のバインダーとともに高分子フィ
ルム」二に塗着せしめた、いわゆる塗布型の磁気記録媒
体がある。しかし、従来の塗布型テープより保磁力、記
録密度。

電磁変換特性を改良するため、真空蒸着法、メッキ、イ
オンブレーティング、スパッタリング等の方法でＦｅ　
、　Ｎｉ　、　Ｃｏ　、　Ｃｒ　、等の磁性金属を単独
、もしくは合金で高分子フィルム基板上に蒸着する金属
薄膜型磁気記録媒体の検討がなされている。また強磁性
金属薄膜型記録媒体として、斜方入射蒸着法を用いたオ
ーディオ用テープが既に実用化されている。

強磁性金属薄膜型テープは真空蒸着法等に見られるよう
にテープの表面性は従来の塗布型テープと比較して非常
にすぐれ、数百Å以下の表面性を維持することも可能で
ビデオ用テープとして利用した場合、ノイズの少ないカ
ラー出力の高い、高画質が得られる。しかし表面性を良
くすると画質は改善されるが、記録再生時にヘッドとテ
ープの摩擦係数は上昇し、走行が不安定となり、目づま
りが発生しやすく、スチルライフが短い。また表面性を
良くすることで、テープ表面の汚染物質がドロップアウ
ト、目づまり発生の主要因となり、これらテープ表面の
汚染物質の低減が急務とされる。第２図は従来の蒸着テ
ープの製造工程を示す。

高分子フィルムに磁性金属を斜方蒸着し、該表裏面にコ
ーティング層を設けることで原反完成品となる。しかる
後、８ｍｍ幅に裁断し、インカセを行い、８ｍｌ１１ビ
デオ用蒸着テープができあがる。第３図は従来の蒸着テ
ープの断面図を示すものである。

第３図において、１は高分子フィルム、２は高分子フィ
ルム１上に蒸着した強磁性金属、３は高分子フィルム１
の裏面に塗布したバックコーティング層、４は磁性金属
表面に塗布した潤滑剤、５゜６はテープ表面の汚染物質
の有機、無機材料の付着物を示す。

以」二のように構成された従来の蒸着テープの表面の汚
染物質の発生源として、製造工程における高分子フィル
ム、およびテープの切粉、蒸着時の磁性金属粉、および
テープを構成する各種材料中の不純物、製造時の雰囲気
中にあるダスト、機械および各種ローラからの汚染物質
が主因で、これらの汚染物質がテープ表面に付着または
転写されるものである。汚染物質は、有機、無機の多岐
にわたり、その粒子径も１μｍ以下から数百ｐｍまで広
範囲にわたる。

このような汚染物質を含んだ蒸着テープは、例えば繰返
し走行時に、ＲＦ出力の低下、ヘッド目づまり、ドロッ
プアラ１〜の増加の要因となり画像の乱れを生じる。ま
た、スチル特性においてもノイズの増加、目づまりおよ
びテープ損傷を与える要因になる。

（発明が解決しようとする問題点） このように上記従来の製造工程でできた蒸着テープの表
裏面は多くのコンタミをうけ、汚染物質を含有するため
ヘッド目づまり、ドロップアウト。

テープ損傷等の問題点を有していた。

本発明は」二記問題点に鑑み、テープ表面を洗浄し、汚
染物質を少なくすることで、ヘッド目づまり、ドロップ
アウトを低減し、テープ損傷を少なくする蒸着テープの
製造方法を提供するものである。

（問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、蒸着テープの製造時に、高分子フィルムまた
は高分子フィルムに磁性金属を蒸着した該表裏面を湿式
洗浄と乾式洗浄とを行う。

（作　用） 本発明は蒸着テープの製造時に、有機溶媒等の湿式洗浄
とプラズマ放電処理等の乾式洗浄を組合せることでテー
プ表裏面を洗浄し、汚染物質である付着物、転写物を除
去し、表裏面を清浄にする。

この結果例えばビデオ用テープとして使用する場合、初
期時のドロップアウトは洗浄前に比べも１１５０位の値
になり、かっスチル特性についてもノイズの発生が低減
され、テープ損傷も少なくなる。

更に詳しくは、従来のテープ表面は多種多様の付着物が
ついており、これら付着物の元素分析を行うと、無機系
元素として、Ｎａ＋に＋Ｍｇ＋Ｃａ、Ａ６．Ｔｉ。

Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｊ　＋Ｃｒ、Ｃｕ、Ｚｎ等が検出され、
それらの金属の化合物として、Ｃ２○、　Ｆ　、　Ｐ　
、　Ｓ　、ＣＱが見られる。

また有機系化合物としては、Ｃ，Ｈ，Ｎ、Ｆ、Ｃｆｆ、
Ｓ。

Ｓｉ、Ｐ等を含有した成分が検出される。これら元素を
含む付着物質として主なものは、ベースフィルムである
ポリエステル、磁性金属、空気中のダスト、および各種
製造装置からの発生物質である。

また、蒸着テープ表面の汚染物質の多くは製造時に付着
、転写される。例えばスリット工程においてはテープ構
成材料である、ポリエステル、磁性金属、バックコート
材料、滑剤等が検出される。

またポリエステルについては、フィルムメーカから入荷
時にすでに付着しており、磁性金属については、蒸着時
の汚染、および真空破壊時に発生する磁性金属粉体の付
着が主因である。蒸着テープの製造はクリーンルーム内
で行われるが、空気中の浮遊物じん、人体から発生する
汚染物質はさけられない。製造装置からの発生源として
は金属ローラ、ゴムローラ、ベルトなどのフィルム駆動
機構からの摩擦および転写による汚染が多い。これら汚
染物質の大きさ、形状は広範囲で複雑である。

またその粒径は１ｐ以下から１００／ｆｆｉ以上にもわ
たる。付着物質は溶媒抽出等で形状のない抽出成分も検
出される。これらの汚染物質が単独、あるいは混合する
ことで、ドロップアウト、目づまり、スチル時のノイズ
発生の原因になっている。本発明の製造方法はこれらテ
ープ表面の汚染物質を低減することで、ビデオテープと
して必要な前記諸特性を改善する。

（実施例） 以下、本発明の実施例の磁気記録媒体の製造方法につい
て説明する。

実施例１ 第１図は本発明の一実施例の製造工程図を示すものであ
る。図において（３）、（４）は本実施例の洗浄工程を
示し、他は従来例と同様である。本発明の一実施例にお
ける洗浄工程Ａは溶媒液による湿式洗浄、洗浄工程Ｂは
放電処理により乾式洗浄を示す。５００ｍｍ幅のポリエ
ステルフィルム上に磁性金属（Ｃｏ−Ｎｊ、）を斜方蒸
着し、該表裏面をイソプロピルアルコールで洗浄後、乾
燥させ、次にアルゴンガス中のプラズマ放電処理で洗浄
する。この場合放電条件として、高周波（ＲＦ）電源を
用い、０、　Ｉｔｏｒｒの圧力下で行った。乾式洗浄後
、裏面に無機顔料、潤滑剤、バインダーの混合物をバッ
クコートし、表面に潤滑剤としてステアリン酸アミドを
塗布する。

実施例２ 実施例１と同じ構成で洗浄工程ＡとＢを入れ換え、乾式
洗浄後に湿式洗浄を行う。その他諸条件については実施
例１と同一である。

実施例３ 実施例１において蒸着後、バックコーティングを行い、
該表面を実施例１と同様の洗浄工程を経てフロントコ−
１〜を行う。構成材料、洗浄方法などの諸条件は実施例
１と同一である。

実施例４ 実施例１における洗浄工程ＡでＩＰＡに換えてエチルア
ルコールを用いた。その他は実施例１と同じである。

実施例５ 実施例１における洗浄工程Ｂでアルゴンガスに換え、酸
素ガスを用いた。他は実施例１と同じである。

実施例６ 実施例１における洗浄工程Ｂでアルゴンガスに換え、フ
ロンガス−酸素の混合ガス雰囲気中でのプラズマ処理を
行った。他は実施例１と同じである。

以上のような製造方法で作った蒸着テープの諸性能と結
果について述べる。

性能評価は市販の８ｍｍビデオデツキを試験機として試
作し、信号記録後、初期のドロップアウト、およびスチ
ルライフについて調べ、テープの繰返し走行による耐久
性能はヘッド目づまり時間。

ＲＦの出力変動を測定することで評価した。ドロップア
ウトは０．５μｓから５０Ｉｌｓの大きさの範囲を一１
０ｄＢの出力低下で測定した。測定結果はいずれも従来
例に対する相対比較を行った。

代表的な測定結果を表に示す。

表 ドロップアウトは各大きさに対するドロップアウト数を
平均化し、従来例との相対比較を行った。

市販の８ｍｍビデオデツキの試験機による繰返し走行時
でのヘッド目づまり、ＲＦ小出力変化は１２０分長チー
プで、２００パスの繰返し走行することで評価した。Ｒ
Ｆ小出力変化は２００パス走行時での出力の最大落込み
を、ヘッド目づまり時間は、目づまりのトータルを累積
し、１００時間当りのレートに換算し、従来例と比較し
た。スチルライフの良否はノイズによって判定したが、
従来品ではノイズがあるのに対して、本発明のものでは
ノイズが発生しない。この結果テープ表裏面を湿式法、
乾式法で洗浄することでＲＦ小出力低下は低減でき、ヘ
ッド目づまり、およびドロップアウトは大幅に減少する
ことが解った。

次に本発明の実施例の効果を要因分析するため、テープ
洗浄前後の表面異物分析と洗浄後の分析を行った。その
結果、湿式洗浄においては付着物と洗浄後に可溶な抽出
物が見られ、また乾式洗浄においては表面有機物が除去
されていた。この結果本発明の実施例によれば、蒸着テ
ープの表裏面を溶媒で湿式洗浄し、そしてプラズマ放電
などの乾式洗浄することで、テープ表面の多種多様の汚
染物質を除去することで、ドロップアウト、ヘッド目づ
まり、およびＲＦ出力の安定性を得ることができる。

なお本発明は、上記実施例における洗浄工程に限定され
ることなく、他の方法も可能で、また洗浄溶媒について
も有機、無機溶媒あるいはその混合液を用いても良い。

また乾式洗浄法についても上記実施例に限定することな
く他の方法も可能で、プラズマ処理ガスについても窒素
、空気、水素、メタン等の有機ガス、アンモニア、ある
いはフッ素系ガスを用いても同様の効果がある。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、蒸着テープを溶媒、プラ
ズマ洗浄することで、テープ表面の付着物を除去し、ド
ロップアウト、ヘッド目づまり、スチルライフが改善さ
れるといった優れた効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の製造方法を
示す工程図、第２図は従来の磁気記録媒体の製造方法を
示す工程図、第３図は従来のテープ構成を示す断面図で
ある。 特許出願人　松下電器産業株式会社 第１図 第２図 第３図 ら

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 蒸着テープの製造時に、テープの表裏面を溶媒洗浄およ
   びプラズマ洗浄することを特徴とする磁気記録媒体の製
   造方法。