JPS63253523A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS63253523A JPS63253523A JP8719287A JP8719287A JPS63253523A JP S63253523 A JPS63253523 A JP S63253523A JP 8719287 A JP8719287 A JP 8719287A JP 8719287 A JP8719287 A JP 8719287A JP S63253523 A JPS63253523 A JP S63253523A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は強磁性窒化鉄あるいは酸化窒化鉄薄膜を磁性層
として有する磁気記録媒体に関するものであり、特に電
磁変換特性が向上した磁気記録媒体に関する。
として有する磁気記録媒体に関するものであり、特に電
磁変換特性が向上した磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体としては強磁性体粉末を結合剤と混合した
ものを非磁性支持体上に塗布した磁性層を形成したもの
、いわゆるｒ塗布型」の磁気記録媒体が広く用いられて
いる。これに対して高密度記録の必要性から強磁性金属
の薄膜を磁性層として形成した、いわゆる「金属薄膜型
」の磁気記録媒体が開発されているが、この金属薄膜を
有する磁気記録媒体の耐久性、とりわけ走行耐久性は未
だ十分満足できるものはない。
ものを非磁性支持体上に塗布した磁性層を形成したもの
、いわゆるｒ塗布型」の磁気記録媒体が広く用いられて
いる。これに対して高密度記録の必要性から強磁性金属
の薄膜を磁性層として形成した、いわゆる「金属薄膜型
」の磁気記録媒体が開発されているが、この金属薄膜を
有する磁気記録媒体の耐久性、とりわけ走行耐久性は未
だ十分満足できるものはない。
現在金属薄膜型磁気記録媒体の走行耐久性の改良のため
磁性層の表面に脂肪酸、脂肪酸エステルなどの滑剤を形
成しているが、これを録音機器でくり返し使用すると、
走行系の構成部材、磁気ヘッド、シリンダ等により、滑
剤層が磁性層の表面から取り去られ、スリ傷が発生した
り、ドロップアウトが増加する等の不都合があった。
磁性層の表面に脂肪酸、脂肪酸エステルなどの滑剤を形
成しているが、これを録音機器でくり返し使用すると、
走行系の構成部材、磁気ヘッド、シリンダ等により、滑
剤層が磁性層の表面から取り去られ、スリ傷が発生した
り、ドロップアウトが増加する等の不都合があった。
そこで、それを改善するための方策として、走行耐久性
は微細構造に依存する度合が強いことを見出して、わん
曲した柱状金属結晶からなる磁気記録層を有し、支持体
面と平行な柱状結晶の高さの１／２の位置の断面及び表
面での断面の中心を結ぶ直線が支持体面となす角度が６
０°以上である金属薄膜型の磁気記録媒体が提案された
（特開昭６０−２１７５２４号公報）が、この磁気記録
媒体の磁性層は強磁性金属薄膜であって、Ｃ０１Ｆｅ、
Ｎｉ、 Ｃｏ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｎｉなどからなるもので
あった。
は微細構造に依存する度合が強いことを見出して、わん
曲した柱状金属結晶からなる磁気記録層を有し、支持体
面と平行な柱状結晶の高さの１／２の位置の断面及び表
面での断面の中心を結ぶ直線が支持体面となす角度が６
０°以上である金属薄膜型の磁気記録媒体が提案された
（特開昭６０−２１７５２４号公報）が、この磁気記録
媒体の磁性層は強磁性金属薄膜であって、Ｃ０１Ｆｅ、
Ｎｉ、 Ｃｏ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｎｉなどからなるもので
あった。
一方、金属薄膜型の磁性層は銹を発生し易く。
このためヘッドの目詰りなどを生じ易いものであって、
従来それを避けるために窒化鉄、あるいは酸化窒化鉄か
らなる薄膜型磁性層が提案されていた。そして、これら
の薄膜型磁性層をもつ磁気記録媒体を製造するためには
、非磁性支持体に対し鉄イオン蒸気を斜めに入射させる
とともにイオン銃から窒素イオンを照射することが行わ
れている。
従来それを避けるために窒化鉄、あるいは酸化窒化鉄か
らなる薄膜型磁性層が提案されていた。そして、これら
の薄膜型磁性層をもつ磁気記録媒体を製造するためには
、非磁性支持体に対し鉄イオン蒸気を斜めに入射させる
とともにイオン銃から窒素イオンを照射することが行わ
れている。
窒化鉄あるいは酸化窒化鉄の薄膜からなる磁性層を有す
る磁気記録媒体は銹に対しては強く、安定性が大きいが
、窒化されているため電磁変換特性がＣｏ、 Ｎｉ等の
金属薄膜型のものに比して劣り、従来の製造法によって
はどうしても電磁変換特性が良いものが得られなかった
。
る磁気記録媒体は銹に対しては強く、安定性が大きいが
、窒化されているため電磁変換特性がＣｏ、 Ｎｉ等の
金属薄膜型のものに比して劣り、従来の製造法によって
はどうしても電磁変換特性が良いものが得られなかった
。
本発明者らは、窒化鉄あるいは酸化窒化鉄の薄膜が柱状
粒子の集合体からなり、磁性層中におけるそれらの柱状
粒子が支持体表面に対しある角度の範囲内にあるときに
その磁性層の電磁特性が著しく改善されることに着目し
て本発明に到達したものである。
粒子の集合体からなり、磁性層中におけるそれらの柱状
粒子が支持体表面に対しある角度の範囲内にあるときに
その磁性層の電磁特性が著しく改善されることに着目し
て本発明に到達したものである。
すなわち、本発明は、非磁性支持体上に強磁性窒化鉄あ
るいは酸化窒化鉄薄膜を磁性層として有する磁気記録媒
体において、強磁性窒化鉄あるいは酸化窒化鉄薄膜が柱
状粒子の集合体よりなり、各柱状粒子は支持体面から３
０’〜５５°立ち上っていることを特徴とする磁気記録
媒体である。
るいは酸化窒化鉄薄膜を磁性層として有する磁気記録媒
体において、強磁性窒化鉄あるいは酸化窒化鉄薄膜が柱
状粒子の集合体よりなり、各柱状粒子は支持体面から３
０’〜５５°立ち上っていることを特徴とする磁気記録
媒体である。
本発明において窒化鉄あるいは酸化窒化鉄薄膜が柱状粒
子の集合体であることが必要であり、薄膜を構成する窒
化鉄あるいは酸化窒化鉄は十分窒化あるいは酸化窒化さ
れていることが必要で、例えばＮＨ３ガス中で鉄を蒸着
して得られる膜はごくわずかの部分が窒化された膜であ
り、本発明の効果は得られない。窒化鉄はε−Ｆｅ２〜
３Ｎのものは非磁性体で好ましくなく、γ−Ｆ０４Ｎは
磁性があり、ＦｅｅＮＣＦｅｔｓＮｚとも表わされる）
は一番磁性が強い。
子の集合体であることが必要であり、薄膜を構成する窒
化鉄あるいは酸化窒化鉄は十分窒化あるいは酸化窒化さ
れていることが必要で、例えばＮＨ３ガス中で鉄を蒸着
して得られる膜はごくわずかの部分が窒化された膜であ
り、本発明の効果は得られない。窒化鉄はε−Ｆｅ２〜
３Ｎのものは非磁性体で好ましくなく、γ−Ｆ０４Ｎは
磁性があり、ＦｅｅＮＣＦｅｔｓＮｚとも表わされる）
は一番磁性が強い。
柱状粒子の形状も種々あり、第２図に示すように柱状粒
子の長さ方向に同じ角度で立ち上っているものや、立ち
上り角度が徐々に増大するものなどがある。柱状粒子の
長さ方向に同じ角度で立ち上っているものでも、柱状粒
子の怪の大きさが上に行くに従って大きくなるものや、
逆に小さくなるものなどがある。立ち上り角度が徐々に
増大するものについては、非磁性支持体をテープ状とし
て回転ドラムにはわせ、斜めのある角度で鉄蒸気を入射
させるような場合にはドラムの回転による非磁性支持体
が移動することによりその支持体に対する鉄蒸気の入射
角度が徐々に変るために、そのように形成されるが、デ
ィスクのような非磁性支持体の場合には蒸着中に鉄蒸気
の入射方向に対してその角度を変化させるようにして、
そのような柱状粒子が得られるようにしてもよい。
子の長さ方向に同じ角度で立ち上っているものや、立ち
上り角度が徐々に増大するものなどがある。柱状粒子の
長さ方向に同じ角度で立ち上っているものでも、柱状粒
子の怪の大きさが上に行くに従って大きくなるものや、
逆に小さくなるものなどがある。立ち上り角度が徐々に
増大するものについては、非磁性支持体をテープ状とし
て回転ドラムにはわせ、斜めのある角度で鉄蒸気を入射
させるような場合にはドラムの回転による非磁性支持体
が移動することによりその支持体に対する鉄蒸気の入射
角度が徐々に変るために、そのように形成されるが、デ
ィスクのような非磁性支持体の場合には蒸着中に鉄蒸気
の入射方向に対してその角度を変化させるようにして、
そのような柱状粒子が得られるようにしてもよい。
従来の窒化鉄薄膜の磁気記録媒体の製造では前述したよ
゛うに鉄蒸気を斜めに入射させることは知られているが
、窒化鉄の柱状粒子の立ち上り角度についてはまったく
認識されておらず、しかも鉄蒸気の入射角が７０’なら
柱状粒子の立ち上り角度が２０°となるような単純な関
係にはなく、他の要因も影響して柱状粒子の立ち上り角
度が決まるのである。
゛うに鉄蒸気を斜めに入射させることは知られているが
、窒化鉄の柱状粒子の立ち上り角度についてはまったく
認識されておらず、しかも鉄蒸気の入射角が７０’なら
柱状粒子の立ち上り角度が２０°となるような単純な関
係にはなく、他の要因も影響して柱状粒子の立ち上り角
度が決まるのである。
そして、また、本発明における強磁性窒化鉄あるいは酸
化窒化鉄の各柱状粒子の支持体面からの立ち上りの角度
である３０°〜５５°の大きさは、従来知られている金
属薄膜型磁性層における柱状結晶の立ち上り角度である
６０°以上よりもはるかに小さく、シかもこの従来のも
のは強磁性窒化鉄あるいは酸化窒化鉄からなっていない
から、比較の対象とならないものである。
化窒化鉄の各柱状粒子の支持体面からの立ち上りの角度
である３０°〜５５°の大きさは、従来知られている金
属薄膜型磁性層における柱状結晶の立ち上り角度である
６０°以上よりもはるかに小さく、シかもこの従来のも
のは強磁性窒化鉄あるいは酸化窒化鉄からなっていない
から、比較の対象とならないものである。
本発明における窒化鉄あるいは酸化窒化鉄の各柱状粒子
の支持体面からの立ち上り角度は他の要因も影響するこ
とは上にも述べたところであるが、例えば固定基板に対
して鉄蒸気の入射角を７５°以上とし、イオン銃に窒化
ガスを導入し、イオン銃より１０ｍＡのイオン電流を取
りだし、鉄の蒸着速度を５人／ｓｅｃとし、真空槽内圧
５．０Ｘ１０’−”Ｔｏｒｒとし。
の支持体面からの立ち上り角度は他の要因も影響するこ
とは上にも述べたところであるが、例えば固定基板に対
して鉄蒸気の入射角を７５°以上とし、イオン銃に窒化
ガスを導入し、イオン銃より１０ｍＡのイオン電流を取
りだし、鉄の蒸着速度を５人／ｓｅｃとし、真空槽内圧
５．０Ｘ１０’−”Ｔｏｒｒとし。
同時に中和フィラメントにより基板上に電子照射すると
きには、電子照射の程度により柱状粒子の立ち上り角度
が変り、例えばその電子照射がないときには６５°であ
り、あるときには４５°であり、電子照射が強過ぎると
２５°になるので、他の要因を十分考慮する必要がある
。
きには、電子照射の程度により柱状粒子の立ち上り角度
が変り、例えばその電子照射がないときには６５°であ
り、あるときには４５°であり、電子照射が強過ぎると
２５°になるので、他の要因を十分考慮する必要がある
。
一般に、固定支持体、特に非磁性支持体（プラスチック
等）上にイオンビームを照射しての薄膜形成では核生長
段階あたりでよくわからないことが多く、チャージアッ
プ効果等により柱状粒子の立ち上り角は立ち気味である
が、膜形成部に中和用電子ビームを照射する等の手段に
より立ち上り角度を調整、制御することができる。
等）上にイオンビームを照射しての薄膜形成では核生長
段階あたりでよくわからないことが多く、チャージアッ
プ効果等により柱状粒子の立ち上り角は立ち気味である
が、膜形成部に中和用電子ビームを照射する等の手段に
より立ち上り角度を調整、制御することができる。
本発明の磁気記録媒体を製造するには、真空蒸着槽に回
転しうる基板を設けてその上に非磁性支持体、例えばポ
リエチレンテレフタレートフィルムを保持し、これに鉄
の蒸発源に電子銃から電子線を照射して発生させた鉄蒸
気を斜めの入射角で入射させ、さらにこれにイオン銃で
窒素イオンを導入する。そして同時に前に述べたように
電子照射を行う。そのさい鉄の蒸発速度を一定にして鉄
の蒸着速度が、例えば５人／ ｓｅｅになるように一定
にする。固定基板を成膜中に回転して入射角を変化させ
て磁性層を形成する。そのさい形成された磁性層におけ
る柱状粒子の形状は、薄片試料を縦切りにしてつくり、
ＴＥＭにより調べる。
転しうる基板を設けてその上に非磁性支持体、例えばポ
リエチレンテレフタレートフィルムを保持し、これに鉄
の蒸発源に電子銃から電子線を照射して発生させた鉄蒸
気を斜めの入射角で入射させ、さらにこれにイオン銃で
窒素イオンを導入する。そして同時に前に述べたように
電子照射を行う。そのさい鉄の蒸発速度を一定にして鉄
の蒸着速度が、例えば５人／ ｓｅｅになるように一定
にする。固定基板を成膜中に回転して入射角を変化させ
て磁性層を形成する。そのさい形成された磁性層におけ
る柱状粒子の形状は、薄片試料を縦切りにしてつくり、
ＴＥＭにより調べる。
以下１本発明を実施例により説明するが、本発明はこの
実施例のみに限定されるものではない。
実施例のみに限定されるものではない。
実施例
真空蒸着槽内に中心で支持されて回転しうるようにした
基板を設け、その基板上にポリエチレンテレフタレート
フィルムを載置し、それに鉄の蒸気源に電子銃から電子
線を照射して発生させた鉄蒸気を７５°の入射角で導入
し、イオン銃に窒素ガスを入れ、ｌＯｍＡのイオン電流
を取り出して窒素イオンを導入し、鉄の蒸着速度を５人
／ ｓｅｅ真空蒸着槽内圧を５．ＯＸ １０””Ｔｏｒ
ｒとし、同時に中和用フィラメントに１５Ａの電流を通
ずることよりフィルム上に電子照射する。得られた磁気
記録媒体の磁性層をＴＥＭで調べたところ窒化鉄の柱状
粒子の立ち上り角度は４５°であった。
基板を設け、その基板上にポリエチレンテレフタレート
フィルムを載置し、それに鉄の蒸気源に電子銃から電子
線を照射して発生させた鉄蒸気を７５°の入射角で導入
し、イオン銃に窒素ガスを入れ、ｌＯｍＡのイオン電流
を取り出して窒素イオンを導入し、鉄の蒸着速度を５人
／ ｓｅｅ真空蒸着槽内圧を５．ＯＸ １０””Ｔｏｒ
ｒとし、同時に中和用フィラメントに１５Ａの電流を通
ずることよりフィルム上に電子照射する。得られた磁気
記録媒体の磁性層をＴＥＭで調べたところ窒化鉄の柱状
粒子の立ち上り角度は４５°であった。
比較例１
実施例１の方法について中和用フィラメントに電流を流
さないで、電子照射を行わなかったことを除いて実施例
と同様に行った。得られた磁気記録媒体の磁性層におけ
る窒化鉄の柱状粒子の立ち上り角度は６５°であった。
さないで、電子照射を行わなかったことを除いて実施例
と同様に行った。得られた磁気記録媒体の磁性層におけ
る窒化鉄の柱状粒子の立ち上り角度は６５°であった。
比較例２
実施例の方法において中和用フィラメントに２ＯＡの電
流を流して電子照射を行ったことを除いて実施例と同様
に行った。得られた磁気記録媒体の磁性層における窒化
鉄の柱状粒子の立ち上り角度は２５″であった。
流を流して電子照射を行ったことを除いて実施例と同様
に行った。得られた磁気記録媒体の磁性層における窒化
鉄の柱状粒子の立ち上り角度は２５″であった。
このようにして得られた磁気記録媒体をエンドレス走行
系を用いて、５０Ｋ、１００Ｋ、および１５０ＦＲＰＩ
（Ｆｌｕｘ Ｒｅｖｅｒｓａｌ ｐｅｒ １ｎｃｈ）に
おける出力を比較例１を基準として測定した。結果を表
１に示す。
系を用いて、５０Ｋ、１００Ｋ、および１５０ＦＲＰＩ
（Ｆｌｕｘ Ｒｅｖｅｒｓａｌ ｐｅｒ １ｎｃｈ）に
おける出力を比較例１を基準として測定した。結果を表
１に示す。
表１
〔発明の効果〕
本発明の磁気記録媒体は、電磁変換特性が大きく、従来
の磁気記録媒体に比して向上している。
の磁気記録媒体に比して向上している。
この電磁変換特性の向上は強磁性窒化鉄あるいは酸化窒
化鉄薄膜における各柱状粒子の支持体面からの立ち上が
りによるものであるが、その立ち上がりの角度は電子照
射の程度により調整することができるので、その電磁変
換特性も調整することができる。
化鉄薄膜における各柱状粒子の支持体面からの立ち上が
りによるものであるが、その立ち上がりの角度は電子照
射の程度により調整することができるので、その電磁変
換特性も調整することができる。
第１図は１本発明の磁気記録媒体を製造するための装置
の模式図であり、第２図は柱状粒子の立上り角（α０、
α２）を示す図である。 １一基板 ２：非磁性支持体３ニルツボ
４：鉄（蒸着材料）５：電子銃
６：イオン銃 ７：窒素導入管 ８：電子銃 １２．１３：柱状粒子 ２１：非磁性支持体、′こ 第 １ 図 第２図
の模式図であり、第２図は柱状粒子の立上り角（α０、
α２）を示す図である。 １一基板 ２：非磁性支持体３ニルツボ
４：鉄（蒸着材料）５：電子銃
６：イオン銃 ７：窒素導入管 ８：電子銃 １２．１３：柱状粒子 ２１：非磁性支持体、′こ 第 １ 図 第２図
Claims (1)
- 非磁性支持体上に強磁性窒化鉄あるいは酸化窒化鉄薄膜
を磁性層として有する磁気記録媒体において、強磁性窒
化鉄あるいは酸化窒化鉄薄膜が柱状粒子の集合体よりな
り、各柱状粒子は支持体面から３０°〜５５°立ち上っ
ていることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8719287A JPS63253523A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8719287A JPS63253523A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63253523A true JPS63253523A (ja) | 1988-10-20 |
Family
ID=13908122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8719287A Pending JPS63253523A (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63253523A (ja) |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP8719287A patent/JPS63253523A/ja active Pending
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