JPS6325385U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6325385U JPS6325385U JP11931186U JP11931186U JPS6325385U JP S6325385 U JPS6325385 U JP S6325385U JP 11931186 U JP11931186 U JP 11931186U JP 11931186 U JP11931186 U JP 11931186U JP S6325385 U JPS6325385 U JP S6325385U
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- JP
- Japan
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- test head
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の光学装置を取り付けたテスト
ヘツドを用いてウエハー試験をおこなつている場
合の正面図（一部断面図）を、第２図は従来の方
法によつてウエハー試験を行つている場合の正面
図（第３図に於けるＡ―Ａ′断面図）を示し、第
３図は第２図の側面図を示している。第４図は、
第１図に於いてテストヘツドを下方より見た場合
のパフオーマンスボードとピンカードとの位置関
係を示している。第５図は第３図のイ部の詳細図
であり、第６図は第５図の平面図（Ｂ―Ｂ′断面
図）を示している。 １；ウエハープローバー、２；試験ステージ、
３ａ，３ｂ；被試験ウエハー、４ａ，４ｂ；プロ
ーブ針、５ａ，５ｂ；プローブカード、６ａ，６
ｂ；パフオーマンスボード、７ａ，７ｂ；テスト
ヘツド、８ａ，８ｂ；ピンカード、９；光学装置
、１０；マイクロスコープ、１１；マイクロスコ
ープアーム、１２；ウエハー表面の実像、１３；
パツド、１４；マイクロスコープ挿入用貫通穴。
ヘツドを用いてウエハー試験をおこなつている場
合の正面図（一部断面図）を、第２図は従来の方
法によつてウエハー試験を行つている場合の正面
図（第３図に於けるＡ―Ａ′断面図）を示し、第
３図は第２図の側面図を示している。第４図は、
第１図に於いてテストヘツドを下方より見た場合
のパフオーマンスボードとピンカードとの位置関
係を示している。第５図は第３図のイ部の詳細図
であり、第６図は第５図の平面図（Ｂ―Ｂ′断面
図）を示している。 １；ウエハープローバー、２；試験ステージ、
３ａ，３ｂ；被試験ウエハー、４ａ，４ｂ；プロ
ーブ針、５ａ，５ｂ；プローブカード、６ａ，６
ｂ；パフオーマンスボード、７ａ，７ｂ；テスト
ヘツド、８ａ，８ｂ；ピンカード、９；光学装置
、１０；マイクロスコープ、１１；マイクロスコ
ープアーム、１２；ウエハー表面の実像、１３；
パツド、１４；マイクロスコープ挿入用貫通穴。
Claims (1)
- ＩＣ試験装置のテストヘツドにおいて、物体と
等しい大きさの実像を物体と平行な位置に結像さ
せることのできる光学装置の光軸が、所定の位置
に保持されているパフオーマンスボードの中央部
と直交するように取り付けられていることを特徴
とするテストヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11931186U JPH0642221Y2 (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 補助光学装置付テストヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11931186U JPH0642221Y2 (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 補助光学装置付テストヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6325385U true JPS6325385U (ja) | 1988-02-19 |
| JPH0642221Y2 JPH0642221Y2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=31006563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11931186U Expired - Lifetime JPH0642221Y2 (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 補助光学装置付テストヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0642221Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-08-01 JP JP11931186U patent/JPH0642221Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642221Y2 (ja) | 1994-11-02 |
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