JPH0361339U - - Google Patents

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JPH0361339U
JPH0361339U JP12223389U JP12223389U JPH0361339U JP H0361339 U JPH0361339 U JP H0361339U JP 12223389 U JP12223389 U JP 12223389U JP 12223389 U JP12223389 U JP 12223389U JP H0361339 U JPH0361339 U JP H0361339U
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prober
semiconductor wafer
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wafer inspection
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す半導体ウエハ
ー検査装置の構成図で、Ａは要部側面図、Ｂは顕
微鏡の覗き穴の上部から見た要部平面図、第２図
は本考案の半導体ウエハー検査装置の信号の流れ
を示す説明図である。 １１……ＩＣウエハー、１２……プローブピン
、１５……パフオーマンスボード、１６……可動
プローブプレート、１９……テストヘツド、２０
……中継リング、２３……補助パフオーマンスボ
ード。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハー内に形成された各半導体チツプ
    を単位チツプ毎に検査するプローバーと、このプ
    ローバーと電気信号を授受するテストヘツドを備
    えた半導体ウエハー検査装置において、 前記プローバーと前記テストヘツドの間に、 前記プローバーのプローブソツケトカードが電
    気的に接続されるパフオーマンスボードと、 このパフオーマンスボード上に重層固定されて
    、前記プローバーに近接するように設けられた補
    助パフオーマンスボードとを設けるとともに、 前記テストヘツドは、 前記補助パフオーマンスボード上に実装された
    電子部品に近接した距離にテストヘツドを設ける
    ように、前記パフオーマンスボードと電気的及び
    機械的に接続された中継リングと、 を有したことを特徴とする半導体ウエハー検査装
    置。
JP12223389U 1989-10-20 1989-10-20 半導体ウェハー検査装置 Expired - Lifetime JPH079380Y2 (ja)

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JP12223389U JPH079380Y2 (ja) 1989-10-20 1989-10-20 半導体ウェハー検査装置

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Publication Number Publication Date
JPH0361339U true JPH0361339U (ja) 1991-06-17
JPH079380Y2 JPH079380Y2 (ja) 1995-03-06

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ID=31670243

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JP (1) JPH079380Y2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007322372A (ja) * 2006-06-05 2007-12-13 Yokogawa Electric Corp Ｉｃテスタ
JP2010074091A (ja) * 2008-09-22 2010-04-02 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
JP2012135441A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Tadashi Iwata 揺動式介護ベッド装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007322372A (ja) * 2006-06-05 2007-12-13 Yokogawa Electric Corp Ｉｃテスタ
JP2010074091A (ja) * 2008-09-22 2010-04-02 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
JP2012135441A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Tadashi Iwata 揺動式介護ベッド装置

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Publication number Publication date
JPH079380Y2 (ja) 1995-03-06

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