JPS63257921A - 情報記録媒体とその製造方法 - Google Patents
情報記録媒体とその製造方法Info
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- JPS63257921A JPS63257921A JP62090721A JP9072187A JPS63257921A JP S63257921 A JPS63257921 A JP S63257921A JP 62090721 A JP62090721 A JP 62090721A JP 9072187 A JP9072187 A JP 9072187A JP S63257921 A JPS63257921 A JP S63257921A
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- JP
- Japan
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- pits
- pit
- information recording
- series
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、円盤状基体に情報信号で変調したピットを形
成して成る情報記録媒体とその製造方法に関する。
成して成る情報記録媒体とその製造方法に関する。
プラスチック等の円盤状基体にピット形状により情報を
記録した情報記録媒体は、所謂光ディスクとして知られ
ている。
記録した情報記録媒体は、所謂光ディスクとして知られ
ている。
この種の光ディスクは、プラスチック等の円盤状基体に
渦巻形又は同心円形（以下、これらを同心円状と称する
）に記録ピット列から成るトラックを形成し、該光ディ
スクの回転中に上記ピットにレーザー光を投射し、その
反射光又は透過光の変化を検出することによって、記録
された情報を読出すものであり、記録密度が極めて太き
（、かつＳ／Ｎが良い等の特性を有することから、オー
ディオ分野、情報処理分野において多用されるようにな
った。
渦巻形又は同心円形（以下、これらを同心円状と称する
）に記録ピット列から成るトラックを形成し、該光ディ
スクの回転中に上記ピットにレーザー光を投射し、その
反射光又は透過光の変化を検出することによって、記録
された情報を読出すものであり、記録密度が極めて太き
（、かつＳ／Ｎが良い等の特性を有することから、オー
ディオ分野、情報処理分野において多用されるようにな
った。
、この光ディスクは、ガラス等から成る基体に、例えば
薄いニッケル膜を成膜し、その上にフォトレジスト層を
塗布した後、記録すべき情報信号で変調したレーザー光
により露光・現像して、情報記録ピットに相当するピッ
トを形成し、このピット形成面にニッケル等の原盤材料
をメッキ後、上記フォトレジスト層と共にガラス等の基
体を剥離除去して得た原盤をスタンパ−として用いて、
プラスチック等の円盤状基体に上記ピット形状を転写す
ることによって製造している。
薄いニッケル膜を成膜し、その上にフォトレジスト層を
塗布した後、記録すべき情報信号で変調したレーザー光
により露光・現像して、情報記録ピットに相当するピッ
トを形成し、このピット形成面にニッケル等の原盤材料
をメッキ後、上記フォトレジスト層と共にガラス等の基
体を剥離除去して得た原盤をスタンパ−として用いて、
プラスチック等の円盤状基体に上記ピット形状を転写す
ることによって製造している。
従来、上記原盤の情報記録ピット（以下、単にピットと
称す）は、成膜したフォトレジスト膜をガラス円盤に達
する深さまで除去する、所謂底切りによって形成してい
る。したがって、形成されたピットの深さ寸法は単一で
あり、記録密度はピットのトラック方向の長さ寸法で制
限されるため、単位トラック当りの記録密度の向上には
限界があった。
称す）は、成膜したフォトレジスト膜をガラス円盤に達
する深さまで除去する、所謂底切りによって形成してい
る。したがって、形成されたピットの深さ寸法は単一で
あり、記録密度はピットのトラック方向の長さ寸法で制
限されるため、単位トラック当りの記録密度の向上には
限界があった。
なお、ピットの形成時に二種のフォトレジストを用いて
深さの異なる二種のピットを形成するものとして、特開
昭６１−１６０８５０号公報、特開昭５９−１８０８３
９号公報に記載されたものがあるが、前者はスタンパ−
にて複製する際の樹脂の流れを良好にしてピット及びデ
ィスクの形状。
深さの異なる二種のピットを形成するものとして、特開
昭６１−１６０８５０号公報、特開昭５９−１８０８３
９号公報に記載されたものがあるが、前者はスタンパ−
にて複製する際の樹脂の流れを良好にしてピット及びデ
ィスクの形状。
光学的特性を改善するものであり、後者は、アドレス情
報等の固定情報記録領域のピットと、データ記録領域の
ピットの深さを異ならしめる形式の光ディスクにお・い
て、浅い方のピット（データ記録領域ニドラッキング案
内用ａ）がＶ字状となってトラッキングが不良となるの
を防止しようとするものであって、情報記録密度を向上
するという点については配慮されていない。
報等の固定情報記録領域のピットと、データ記録領域の
ピットの深さを異ならしめる形式の光ディスクにお・い
て、浅い方のピット（データ記録領域ニドラッキング案
内用ａ）がＶ字状となってトラッキングが不良となるの
を防止しようとするものであって、情報記録密度を向上
するという点については配慮されていない。
上記従来技術においては、トラックに形成されるピット
列は、単一の系列であり、■トラック当りの記録密度の
向上には限界があり、光デイスク１枚に記録される情報
量を格段に向上させることは不可能であった。
列は、単一の系列であり、■トラック当りの記録密度の
向上には限界があり、光デイスク１枚に記録される情報
量を格段に向上させることは不可能であった。
また、光ディスクの製造においても、前記公報に記載さ
れたものは、ピット形状のコントロールに、悪魔の異な
る二種のフォトレジストを用いて、結果として深さの異
なる二つのピットを得るものであり、このような二種の
フォトレジストの多層膜の被着プロセスは非常に複雑で
、そのピット加工精度をディスク全域に亘って維持する
ことは困難である。
れたものは、ピット形状のコントロールに、悪魔の異な
る二種のフォトレジストを用いて、結果として深さの異
なる二つのピットを得るものであり、このような二種の
フォトレジストの多層膜の被着プロセスは非常に複雑で
、そのピット加工精度をディスク全域に亘って維持する
ことは困難である。
本発明は、上記従来技術の問題を解決し、単位トラック
当りの記録密度を格段に向上させた所謂光ディスク等の
情報記録媒体とその製造方法を提供することを目的とす
る。
当りの記録密度を格段に向上させた所謂光ディスク等の
情報記録媒体とその製造方法を提供することを目的とす
る。
上記目的は、光ディスクのトラック上に深さの異なる複
数系列のピット列を形成することにより、また、その製
造においては、フォトレジストに対して、露光強度の異
なる複数のレーザー光を用いて深さの異なる複数系列の
ピット列を形成することにより、該複数系列のピット列
のそれぞれに異なる情報を持たせた高密度、多重記録を
行うことによって達成される。
数系列のピット列を形成することにより、また、その製
造においては、フォトレジストに対して、露光強度の異
なる複数のレーザー光を用いて深さの異なる複数系列の
ピット列を形成することにより、該複数系列のピット列
のそれぞれに異なる情報を持たせた高密度、多重記録を
行うことによって達成される。
同一トラック上に複数系列のピット列が、その深さを異
ならしめて配列されるので、読出し時のレーザー光の反
射強度に対する検出レベル、あるいはレーザー光の波長
を選定することにより、特定系列のピット列からの反射
光のみを検出でき、同一トラック上に複数種類の異種情
報あるいは同種情報を多重的に記録することができるの
で高密度の記録媒体を・得ることが可能となる。
ならしめて配列されるので、読出し時のレーザー光の反
射強度に対する検出レベル、あるいはレーザー光の波長
を選定することにより、特定系列のピット列からの反射
光のみを検出でき、同一トラック上に複数種類の異種情
報あるいは同種情報を多重的に記録することができるの
で高密度の記録媒体を・得ることが可能となる。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
なお、以下の実施例では情報記録媒体を「光ディスク」
として説明する。
として説明する。
第１図は本発明による光ディスクの第一実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列のピット列を構成
する第一系列ピット、２は第二系列のピット列を構成す
る第二系列ピット、３は光デイスク基板である。また、
Ａ−Ａはトラック中心線を示す。
ットの上面図であって、１は第一系列のピット列を構成
する第一系列ピット、２は第二系列のピット列を構成す
る第二系列ピット、３は光デイスク基板である。また、
Ａ−Ａはトラック中心線を示す。
第２図は第１図のＢ−Ｂに沿った断面図であって第１図
と同一符号は同一部分に対応する。
と同一符号は同一部分に対応する。
、第１図、第２図において、第一系列ピット１の部分は
深さがＤＩ％第二系列ピット２は深さがり。
深さがＤＩ％第二系列ピット２は深さがり。
で、第二系列ピット２は第一系列ピット１の中に位置し
ており、結果的に両者は分割独立したものとして形成さ
れる。第一系列ピット１と第二系列ピット２はトラック
中心線Ａ−Ａに対して互いに反対の一側と他側に位置さ
れる。深さり、、ＤＩは読出しレーザー光の波長をλと
した場合、それぞれλ／８．λ／４に設定すれば、反射
光の強度レベルを選定することにより、いづれのピット
からの反射光であるかを識別できる。また、読出しレー
ザー光の波長を第一系列の読出しと第二系列の読出しで
変えることによって両者を識別するようにしてもよい。
ており、結果的に両者は分割独立したものとして形成さ
れる。第一系列ピット１と第二系列ピット２はトラック
中心線Ａ−Ａに対して互いに反対の一側と他側に位置さ
れる。深さり、、ＤＩは読出しレーザー光の波長をλと
した場合、それぞれλ／８．λ／４に設定すれば、反射
光の強度レベルを選定することにより、いづれのピット
からの反射光であるかを識別できる。また、読出しレー
ザー光の波長を第一系列の読出しと第二系列の読出しで
変えることによって両者を識別するようにしてもよい。
さらに、第３図に示すように読出し光学系の受光素子を
２分割とすることによって、両者の識別を行うようにし
てもよい。
２分割とすることによって、両者の識別を行うようにし
てもよい。
第３図は第１図に示したピットを形成した光ディスクの
読出し光学系に用いる２分割受光素子の一例をピットと
共に示す概念図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピット、４は２分割受光素子、４−１．４−２は
それぞれ第一系列ピット用の分割受光素子、第二系列ピ
ット用分割受光素子である。
読出し光学系に用いる２分割受光素子の一例をピットと
共に示す概念図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピット、４は２分割受光素子、４−１．４−２は
それぞれ第一系列ピット用の分割受光素子、第二系列ピ
ット用分割受光素子である。
第３図において、２分割受光素子４はトラック上に正し
くトラッキングされている状態で、それぞれのピットか
らの反射光を区別して読出すことができる。また・、こ
の２分割受光素子を用いてトラッキングと同時に制御す
ることも可能である。
くトラッキングされている状態で、それぞれのピットか
らの反射光を区別して読出すことができる。また・、こ
の２分割受光素子を用いてトラッキングと同時に制御す
ることも可能である。
第４図は本発明による光ディスクの第二実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピ ′ット、
２は第二系列ピットである。
ットの上面図であって、１は第一系列ピ ′ット、
２は第二系列ピットである。
同図において、第一系列ピット１と第二系列ピット２と
はトラック中心線Ａ−Ａの一側と他側に独立して位置さ
れており、そのＢ−Ｂ断面は前記第２図に示したものと
同様のものとなる。
はトラック中心線Ａ−Ａの一側と他側に独立して位置さ
れており、そのＢ−Ｂ断面は前記第２図に示したものと
同様のものとなる。
第５図は本発明による光ディスクの第三実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
系列ピットである。
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
系列ピットである。
第５図に示した実施例は、第一系列ピット１と第二系列
ピット２とが、トラック方向に対して独立の位置に形成
されたものであり、第一系列ピット列と第二系列ピット
列とがそれぞれ独立にトラック方向に長さ寸法が変化す
るような記録を行ったものを示している。
ピット２とが、トラック方向に対して独立の位置に形成
されたものであり、第一系列ピット列と第二系列ピット
列とがそれぞれ独立にトラック方向に長さ寸法が変化す
るような記録を行ったものを示している。
第６図は本発明による光ディスクの第四実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
系列ピットである。
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
系列ピットである。
第７図は第６図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一系列
ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板であ
る。
ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板であ
る。
第６図、第７図において、第二系列ピット２は第一系列
ピットのトラック方向１端中に位置され、トラック方向
の長さにおいて深さり、の部分を第一系列ピット１、深
さＤ２の部分を第２系列ピット２として示している。
ピットのトラック方向１端中に位置され、トラック方向
の長さにおいて深さり、の部分を第一系列ピット１、深
さＤ２の部分を第２系列ピット２として示している。
各ピットの深さり、、Ｄ２は、前記第１図に示した実施
例と同様に、読出し用レーザー光の波長をλとした場合
、それぞれλ／８．λ／４とすることにより、反射光の
強度にレベルを設定することで両者の情報を識別して読
出すことができる。
例と同様に、読出し用レーザー光の波長をλとした場合
、それぞれλ／８．λ／４とすることにより、反射光の
強度にレベルを設定することで両者の情報を識別して読
出すことができる。
また、読出し用レーザー光の波長を各ピットに対応させ
て選定することにより、両系列の情報を選択して読出す
ことができるようにすることも前記第１図に示した実施
例の場合と同様である。
て選定することにより、両系列の情報を選択して読出す
ことができるようにすることも前記第１図に示した実施
例の場合と同様である。
第８図は本発明による光ディスクの第五実施例を示すピ
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
・系列ピット、Ａ−Ａはトラック中心方向を示す。
ットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第二
・系列ピット、Ａ−Ａはトラック中心方向を示す。
同図において、第一系列ピット１に対して第二系列ピッ
ト２がその端部をオーバーラツプして形成されている。
ト２がその端部をオーバーラツプして形成されている。
第９図は第８図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一系列
ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板を示
す。
ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板を示
す。
第８図、第９図において、第一系列ピット１の深さＤｌ
は例えば読出し用レーザー光の波長（λ）に対してλ／
８、第二系列ピット２の深さＤ２はλ／４に設定される
。このような光ディスクの記録情報の読出しも、前記各
実施例と同様に、続出し用光レーザーの反射光レベルの
設定、あるいは該レーザー光の波長を第一系列ピットと
第二系列ピットに対応して選択することにより両者を識
別することができる。
は例えば読出し用レーザー光の波長（λ）に対してλ／
８、第二系列ピット２の深さＤ２はλ／４に設定される
。このような光ディスクの記録情報の読出しも、前記各
実施例と同様に、続出し用光レーザーの反射光レベルの
設定、あるいは該レーザー光の波長を第一系列ピットと
第二系列ピットに対応して選択することにより両者を識
別することができる。
第１０図は本発明による光ディスクの第六実施例を示す
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットを示す。
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットを示す。
第１１図は第１０図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一
系列ピット、２は第二系列ピットである。
系列ピット、２は第二系列ピットである。
第１０図、第１１図において、第２系列ピット２は第一
系列ピット１の中に形成され、第一系列ピット１の幅Ｗ
ｌと第二系列ピット２の幅Ｗ２とはＷ。
系列ピット１の中に形成され、第一系列ピット１の幅Ｗ
ｌと第二系列ピット２の幅Ｗ２とはＷ。
〉Ｗ２の関係に形成されている。また、第一系列ピット
の深さＤｌ と第二系列ピットの深さＤ２とは、前記実
施例と同様に、読出し用レーザー光の波長（λ）に対し
てそれぞれλ／８．λ／４として形成されている。この
各系列のピットの読出しも前記実施例と同様にして行う
ことができる。
の深さＤｌ と第二系列ピットの深さＤ２とは、前記実
施例と同様に、読出し用レーザー光の波長（λ）に対し
てそれぞれλ／８．λ／４として形成されている。この
各系列のピットの読出しも前記実施例と同様にして行う
ことができる。
第１２図は本発明による光ディスクの第七実施例を示す
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットである。
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットである。
第１３図は第１２図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一
系列ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板
である。
系列ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板
である。
第１２図、第１３図において、第一系列ピット１と第二
系列ピット２とはトラック方向（Ａ−Ａ）に対して全く
独立に形成されており、各々のピットの深さＤＩ、・Ｄ
２は前記実施例と同様に、読出し用レーザー光の波長（
λ）に対して、それぞれλ／８．λ／４に設定されてい
る。
系列ピット２とはトラック方向（Ａ−Ａ）に対して全く
独立に形成されており、各々のピットの深さＤＩ、・Ｄ
２は前記実施例と同様に、読出し用レーザー光の波長（
λ）に対して、それぞれλ／８．λ／４に設定されてい
る。
第１４図は本発明による光ディスクの第八実施例を示す
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットである。
ピットの上面図であって、１は第一系列ピット、２は第
二系列ピットである。
第１５図は第１４図のＡ−Ａ断面図であって、１は第一
系列ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板
である。
系列ピット、２は第二系列ピット、３は光デイスク基板
である。
第１４図、第１５図において、第一系列ピット１と第二
系列ピット２とは、トラック方向（Ａ−Ａ）に関して相
互の位置が無関係に形成されており、第二系列ピット２
は第一系列ピット１の中に位置する場合もあるし、一部
オーバーラップして位置する場合もあり、また完全に独
立して位置する場合もある。この実施例においては、二
つの連続する第二系列ピットは、第一系列ピットの底部
が読出し用レーザー光の反射光が、その読出しを可能と
するレベル以下とはならない様な最小間隔に配置すべき
であることは言うまでもない。
系列ピット２とは、トラック方向（Ａ−Ａ）に関して相
互の位置が無関係に形成されており、第二系列ピット２
は第一系列ピット１の中に位置する場合もあるし、一部
オーバーラップして位置する場合もあり、また完全に独
立して位置する場合もある。この実施例においては、二
つの連続する第二系列ピットは、第一系列ピットの底部
が読出し用レーザー光の反射光が、その読出しを可能と
するレベル以下とはならない様な最小間隔に配置すべき
であることは言うまでもない。
なお、第一系列ピット１と第二系列ピット２の各々の深
さは前記実施例と同様に設定される。
さは前記実施例と同様に設定される。
以上説明した各実施例において、各系列のピットの深さ
を読出し波長に対して規定しているが、本発明はこれに
限るものではなく、例えば、各系列のピットの底部を構
成する材料を異ならせて、反射光の偏光面の回転量の差
を検出する形式の光ディスクに適用することによって、
両系列の情報を識別して読出すようにすることもできる
。
を読出し波長に対して規定しているが、本発明はこれに
限るものではなく、例えば、各系列のピットの底部を構
成する材料を異ならせて、反射光の偏光面の回転量の差
を検出する形式の光ディスクに適用することによって、
両系列の情報を識別して読出すようにすることもできる
。
次に、本発明による光ディスクの製造方法について説明
する。
する。
第１６図は本発明による情報記録媒体の製造方法の一実
施例を説明する工程図であって、前記第１図に示した形
状のピットを備えた光ディスクの製造に適した製造方法
例であり、１０はガラス板、２０はフォトレジスト、３
０は第一系列ピット部、４０１第二系列ピット部、５０
は第一系列ピット部形成用レーザー光、６０は第二系列
ピット部形成用レーザー光、７０はニッケル蒸着膜、８
０はニッケルメッキ層、９０は光デイスク基板、１００
は第一系列ピッ・ト、１１０は第二系列ピットである。
施例を説明する工程図であって、前記第１図に示した形
状のピットを備えた光ディスクの製造に適した製造方法
例であり、１０はガラス板、２０はフォトレジスト、３
０は第一系列ピット部、４０１第二系列ピット部、５０
は第一系列ピット部形成用レーザー光、６０は第二系列
ピット部形成用レーザー光、７０はニッケル蒸着膜、８
０はニッケルメッキ層、９０は光デイスク基板、１００
は第一系列ピッ・ト、１１０は第二系列ピットである。
同図において、ガラス板１０上に約２０００犬の膜厚で
フォトレジスト層２０をスピンコード法等で被着する（
ａ）、フォトレジスト層２０に対して波長４８８ｎｍの
Ａ、レーザー光を用い、該レーザー光を二種の情報に対
応する二基列の強度で変調しながら露光して第一系列ピ
ット部３０と第二系列ピット部４０に対する潜像３０’
、 ４０°を形成する（ｂ）、レーザー光の変調は音
響・光学変調器（Ａ・０変調器）を用いて強度変調を行
う。
フォトレジスト層２０をスピンコード法等で被着する（
ａ）、フォトレジスト層２０に対して波長４８８ｎｍの
Ａ、レーザー光を用い、該レーザー光を二種の情報に対
応する二基列の強度で変調しながら露光して第一系列ピ
ット部３０と第二系列ピット部４０に対する潜像３０’
、 ４０°を形成する（ｂ）、レーザー光の変調は音
響・光学変調器（Ａ・０変調器）を用いて強度変調を行
う。
第一系列ピット部に対する変調強度はフォトレジスト２
を再生レーザー光の波長（λ）が８３０ｎｍに対してそ
のλ／８の深さで露光されるように、また第二系列ピッ
ト部に対してはλ／４の深さで露光され、λ／４の深さ
が上記フォトレジスト２をガラス板１に達する迄完全に
露光する（底切り）関係となるようにする。
を再生レーザー光の波長（λ）が８３０ｎｍに対してそ
のλ／８の深さで露光されるように、また第二系列ピッ
ト部に対してはλ／４の深さで露光され、λ／４の深さ
が上記フォトレジスト２をガラス板１に達する迄完全に
露光する（底切り）関係となるようにする。
露光した後、アルカリ現像液を用い、現像後の第一系列
ピット部３０と第二系列ピット部４０が上記の深さとな
るよう、例えば現像液濃度５０％、現像時間約３０秒で
処理し、第一系列ピット部３０、第二系列ピット部４０
を得る（Ｃ）。
ピット部３０と第二系列ピット部４０が上記の深さとな
るよう、例えば現像液濃度５０％、現像時間約３０秒で
処理し、第一系列ピット部３０、第二系列ピット部４０
を得る（Ｃ）。
上記各ピット部の形成後、ニッケル（Ｎｉ）膜７０をフ
ォトレジスト全面に蒸着しくｄ）、さらにニラ−ケル層
６をメッキして（ｅ）、ガラス板１０とフォトレジスト
２０を除去することにより、各系列のピット対応凸部３
０”、４０”を有する光デイスク原盤を得る（ｆ）。最
後に、この光デイスク原盤をスタンパ−としてプラスチ
ック等の光デイスク基板９０に各ピット対応凸部を凹部
として転写し、第一系列ピッ）１００と第二系列ピット
１１０を有する光ディスクを得る（ｇ）。
ォトレジスト全面に蒸着しくｄ）、さらにニラ−ケル層
６をメッキして（ｅ）、ガラス板１０とフォトレジスト
２０を除去することにより、各系列のピット対応凸部３
０”、４０”を有する光デイスク原盤を得る（ｆ）。最
後に、この光デイスク原盤をスタンパ−としてプラスチ
ック等の光デイスク基板９０に各ピット対応凸部を凹部
として転写し、第一系列ピッ）１００と第二系列ピット
１１０を有する光ディスクを得る（ｇ）。
このようにして形成した光ディスクの第一系列ピット１
００と第二系列ピット１１０の深さを干渉計により測定
した結果、第一系列ピット１００は１０００±５０Ａ、
第二系列ピット１１０は２０００±５０ズとなっており
、これらの寸法は、再生レーザー光の波長λ＝８３０ｎ
ｍに対して、それぞれλ／８．λ／４となっており、深
さがλ／８の第一系列ピット列・とλ／４の第二系列ピ
ット列とが同一トラック上に多重形成された光ディスク
が得られた。
００と第二系列ピット１１０の深さを干渉計により測定
した結果、第一系列ピット１００は１０００±５０Ａ、
第二系列ピット１１０は２０００±５０ズとなっており
、これらの寸法は、再生レーザー光の波長λ＝８３０ｎ
ｍに対して、それぞれλ／８．λ／４となっており、深
さがλ／８の第一系列ピット列・とλ／４の第二系列ピ
ット列とが同一トラック上に多重形成された光ディスク
が得られた。
第１７図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の一例
を示す構成図であって、１２０はレーザー、１３０．１
８０はハーフミラ−１１４０、１５０゜１６０．１９０
はミラー、２００は第１変調器、２１０は第２変調器、
２２０は集光レンズ、２３０はフォトレジストを被着し
たガラス板である。
を示す構成図であって、１２０はレーザー、１３０．１
８０はハーフミラ−１１４０、１５０゜１６０．１９０
はミラー、２００は第１変調器、２１０は第２変調器、
２２０は集光レンズ、２３０はフォトレジストを被着し
たガラス板である。
同図において、レーザー１２０からのレーザー光はハー
フミラ−１３０で２分割され、透過した一方はミラー１
４０．１５０を通して他方に対して減衰されて第１変調
器２００に入射する。第１変調器２００は入射したレー
ザー光を第一系列の情報で変調してミラー１６０．ハー
フミラ−１８０゜ミラー１９０を介して集光レンズ２２
０に与え、ガラス板２３０上のフォトレジストを露光す
る。
フミラ−１３０で２分割され、透過した一方はミラー１
４０．１５０を通して他方に対して減衰されて第１変調
器２００に入射する。第１変調器２００は入射したレー
ザー光を第一系列の情報で変調してミラー１６０．ハー
フミラ−１８０゜ミラー１９０を介して集光レンズ２２
０に与え、ガラス板２３０上のフォトレジストを露光す
る。
またハーフミラ−１３０で反射した他方のレーザー光は
第２変調器２１０に入射し、第二系列の情報で変調し、
ミラー１７０からハーフミラ−１８０に入射し、ここで
前記第１変調器２００からのレーザー光と合流し、ミラ
ー１９０を介して集光レンズ２２０において集光されて
フォトレジストを露光する。
第２変調器２１０に入射し、第二系列の情報で変調し、
ミラー１７０からハーフミラ−１８０に入射し、ここで
前記第１変調器２００からのレーザー光と合流し、ミラ
ー１９０を介して集光レンズ２２０において集光されて
フォトレジストを露光する。
第１８図は第１７図における露光用レーザー光のフォト
レジストに対するスポット形状とその強度を第１６図の
工程図に関して説明する説明図であって、３０は第一系
列ピット部、４０は第二系列ピット部、Ｓｌは第一系列
ピット部露光用レーザー光スポット、Ｓ２は第二系列ピ
ット部露光用レーザー光スポットである。
レジストに対するスポット形状とその強度を第１６図の
工程図に関して説明する説明図であって、３０は第一系
列ピット部、４０は第二系列ピット部、Ｓｌは第一系列
ピット部露光用レーザー光スポット、Ｓ２は第二系列ピ
ット部露光用レーザー光スポットである。
レーザー光スポットＳ１は、その強度がガラス板上のフ
ォトレジスト２０ （第１６図）を露光用レーザー光の
波長（λ）に対してλ／８の深さに潜像を形成する強度
Ｅ１に選定され、レーザー光スポットＳ２は同じくλ／
４の深さを形成する強度（ここではフォトレジスト膜を
λ／４の厚さに塗布しているので、該フォトレジスト膜
を底切りできる程度の強度）Ｅ２に選定される。なお、
図示の例では、第一系列ピットの中に第二系列ピットが
位置してい・る構成であるから、レーザー光スポットＳ
２はレーザー光スポットＳ１の強度との合成強度がフォ
トレジスト膜の底切りができる強度となるようにすれば
よい。
ォトレジスト２０ （第１６図）を露光用レーザー光の
波長（λ）に対してλ／８の深さに潜像を形成する強度
Ｅ１に選定され、レーザー光スポットＳ２は同じくλ／
４の深さを形成する強度（ここではフォトレジスト膜を
λ／４の厚さに塗布しているので、該フォトレジスト膜
を底切りできる程度の強度）Ｅ２に選定される。なお、
図示の例では、第一系列ピットの中に第二系列ピットが
位置してい・る構成であるから、レーザー光スポットＳ
２はレーザー光スポットＳ１の強度との合成強度がフォ
トレジスト膜の底切りができる強度となるようにすれば
よい。
第１９図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の他側
を示す構成図であって、１２０″は他のレーザーで、第
１７図と同一符号は同一部分に対応する。
を示す構成図であって、１２０″は他のレーザーで、第
１７図と同一符号は同一部分に対応する。
同図の露光光学系は第１７図における強度減衰用のミラ
ー１３０ 、１５０に替えて、レーザー１２０よりも弱
い強度のレーザー、すなわちフォトレジスト膜をλ／８
だけ露光できる強度のレーザー光を発振する他のレーザ
ー１２０°を設けたものである。
ー１３０ 、１５０に替えて、レーザー１２０よりも弱
い強度のレーザー、すなわちフォトレジスト膜をλ／８
だけ露光できる強度のレーザー光を発振する他のレーザ
ー１２０°を設けたものである。
第１９図に示した光学系は、前記第４図、第５図に示し
たような各独立形状のピットを形成するのに好適であり
、場合によっては、フォトレジスト膜を２層とし、各フ
ォトレジスト膜の感度に対応した波長のレーザーをレー
ザー１２０，１２０’として設けるようにしてもよい。
たような各独立形状のピットを形成するのに好適であり
、場合によっては、フォトレジスト膜を２層とし、各フ
ォトレジスト膜の感度に対応した波長のレーザーをレー
ザー１２０，１２０’として設けるようにしてもよい。
なお、レーザー光の各スポット形状と相互の位置は第１
７図、第１９図における光学系の調整によって任意に設
定可能であり、第６図、第８図。
７図、第１９図における光学系の調整によって任意に設
定可能であり、第６図、第８図。
第１０図、第１２図、第１４図に示した各ピット形状及
び配置に応じて、それぞれのスポット位置と大きさ、並
びに強度を設定することによって、所望の多重ピットを
形成できる。
び配置に応じて、それぞれのスポット位置と大きさ、並
びに強度を設定することによって、所望の多重ピットを
形成できる。
また、第１７図、第１９図における変調器２００゜２１
０は、周知の音響・光学変調器を用いることができる。
０は、周知の音響・光学変調器を用いることができる。
以上説明したように、本発明によれば、一つのトラック
上に複数系列のピットを形成して、各々のピット系列を
異種の情報系列で変調して多重記録したものとしたり、
同一情報系列を複数系列ピットにて記録することにより
、高密度の情報記録を行うことができるなど、従来技術
に比較して優れた機能の情報記録媒体を提供することが
できる。
上に複数系列のピットを形成して、各々のピット系列を
異種の情報系列で変調して多重記録したものとしたり、
同一情報系列を複数系列ピットにて記録することにより
、高密度の情報記録を行うことができるなど、従来技術
に比較して優れた機能の情報記録媒体を提供することが
できる。
第１図は本発明による情報記録媒体としての光ディスク
の第一・実施例を示すピットの上面図、第２図は第１図
のＢ−Ｂ断面図、第３図は第１図に示した光ディスクの
読出しを説明する概念図、第４図は本発明による光ディ
スクの第二実施例を示すピットの上面図、第５図は本発
明の光ディスクの第三実施例を示すピットの上面図、第
６図は本発明の光ディスクの第四実施例を示すピットの
上面図、第７図は第６図のＡ−Ａ断面図、第８図は本発
明による光ディスクの第五実施例を示すピットの上面図
、第９図は第８図のＡ−Ａ断面図、第１０図は本発明に
よる光ディスクの第六実施例を示すピットの上面図、第
１１図は第１０図のＡ−Ａ断面図、第１２図は本発明の
第七実施例を示すピットの上面図、第１３図は第１２図
のＡ−Ａ断面図、第１４図は本発明による光ディスクの
第八実施例を示すピットの上面図、第１５図は第１４図
のＡ−Ａ断面図、第１６図は本発明による情報記録媒体
の製造方法の一実施例を説明する工程図、第１７図は本
発明の製造方法に用いる露光光学系の一例を示す構成図
、第１８図は第１７図における露光用レーザー光のフォ
トレジストに対するスポット形状とその強度の説明図、
第１９図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の他側
を示す構成図である。 １−・・−・・・第一系列ピット、２−・−−−−一第
二系列ピット、３・・・−・・−光デイスク基板、４−
−−−−−−２分割受光素子、１０・−・−ガラス板、
２０・・・−フォトレジスト、３０・・・−・−第一系
列ピット部、４０・−−−−−−・第二系列ピット部、
５０．６０−・・−−−−−−レーザー光、７０−−−
−−・−ニッケル蒸着膜、８０−・−・−・ニッケルメ
ッキ層、９０−・−・・−・−光デイスク基板、１００
−・−−−−−・第一系列ピット、１１〇−−−−−−
一第二系列ピット、１２０ 、１２０”−−−−一−−
・レーザー、１３０ 、１８０−・・・・ハーフミラ−
１１４０、１５０、１６０゜１９０−−−−−・−ミラ
ー、２００ ＝−・−第１変調器、２１０−・−・・−
・第２変調器、２２０−・−・−集光レンズ、２３０−
・・−フォトレジストを被着したガラス板。 １Ｎ１図 「Ｂ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 第１５図 ！ １７図 第１８図
の第一・実施例を示すピットの上面図、第２図は第１図
のＢ−Ｂ断面図、第３図は第１図に示した光ディスクの
読出しを説明する概念図、第４図は本発明による光ディ
スクの第二実施例を示すピットの上面図、第５図は本発
明の光ディスクの第三実施例を示すピットの上面図、第
６図は本発明の光ディスクの第四実施例を示すピットの
上面図、第７図は第６図のＡ−Ａ断面図、第８図は本発
明による光ディスクの第五実施例を示すピットの上面図
、第９図は第８図のＡ−Ａ断面図、第１０図は本発明に
よる光ディスクの第六実施例を示すピットの上面図、第
１１図は第１０図のＡ−Ａ断面図、第１２図は本発明の
第七実施例を示すピットの上面図、第１３図は第１２図
のＡ−Ａ断面図、第１４図は本発明による光ディスクの
第八実施例を示すピットの上面図、第１５図は第１４図
のＡ−Ａ断面図、第１６図は本発明による情報記録媒体
の製造方法の一実施例を説明する工程図、第１７図は本
発明の製造方法に用いる露光光学系の一例を示す構成図
、第１８図は第１７図における露光用レーザー光のフォ
トレジストに対するスポット形状とその強度の説明図、
第１９図は本発明の製造方法に用いる露光光学系の他側
を示す構成図である。 １−・・−・・・第一系列ピット、２−・−−−−一第
二系列ピット、３・・・−・・−光デイスク基板、４−
−−−−−−２分割受光素子、１０・−・−ガラス板、
２０・・・−フォトレジスト、３０・・・−・−第一系
列ピット部、４０・−−−−−−・第二系列ピット部、
５０．６０−・・−−−−−−レーザー光、７０−−−
−−・−ニッケル蒸着膜、８０−・−・−・ニッケルメ
ッキ層、９０−・−・・−・−光デイスク基板、１００
−・−−−−−・第一系列ピット、１１〇−−−−−−
一第二系列ピット、１２０ 、１２０”−−−−一−−
・レーザー、１３０ 、１８０−・・・・ハーフミラ−
１１４０、１５０、１６０゜１９０−−−−−・−ミラ
ー、２００ ＝−・−第１変調器、２１０−・−・・−
・第２変調器、２２０−・−・−集光レンズ、２３０−
・・−フォトレジストを被着したガラス板。 １Ｎ１図 「Ｂ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 第１０図 第１１図 第１２図 第１３図 第１４図 第１５図 ！ １７図 第１８図
Claims (5)
- （１）プラスチック等の円盤状基体に同心円状の情報記
録ピット列によるトラックが形成されて成り、回転状態
において上記情報記録ピット列にレーザー光を投射し、
その反射光の変化を検出して記録情報を読出す情報記録
媒体において、前記情報記録ピット列は前記トラックの
中心線の一側に形成された第１の深さのピットから成る
第一系列ピット列と、上記中心線の他側に形成された第
２の深さのピットから成る第二系列ピット列とから構成
され、上記第一系列ピット列と第二系列ピット列とに互
いに異なる情報を記録したことを特徴とする情報記録媒
体。 - （２）プラスチック等の円盤状基体に同心円状の情報記
録ピット列によるトラックが形成されて成り、回転状態
において上記情報記録ピット列にレーザー光を投射し、
その反射光の変化を検出して記録情報を読出す情報記録
媒体において、前記情報記録ピット列は前記トラックの
中心線延長方向に第一の深さと第二の深さを有するピッ
トから成り、上記ピットの第一の深さにより第一系列ピ
ット列を構成し、上記ピットの第二の深さにより第二系
列ピット列を構成し、上記第一系列ピット列と第二系列
ピット列とに互いに異なる情報を記録したことを特徴と
する情報記録媒体。 - （３）プラスチック等の円盤状基体に同心円状の情報記
録ピット列によるトラックが形成されて成り、回転状態
において上記情報記録ピット列にレーザー光を投射し、
その反射光の変化を検出して記録情報を読出す情報記録
媒体の製造方法において、ガラス板等の基体上にフォト
レジスト層を被着し、該フォトレジスト層を各々異なる
情報信号によつて変調された強度の異なる複数のレーザ
ー光を用いて前記トラックを形成する複数系列の情報記
録ピット列を多重露光し現像して上記複数系列の情報記
録ピット列の各々が互いに深さの異なる複数系列のピッ
ト列のパターンとなるごとく上記レジスト層の露光部分
を除去し、この上にニッケル等の原盤材料をメッキし、
上記レジスト層と共に上記ガラス等の基体を剥離除去し
て原盤を得、この原盤を用いて前記プラスチック等の円
盤状基体に該原盤に形成されたピット形状パターンを転
写することによつて上記深さの異なる複数系列のピット
列から成る情報記録媒体を製造することを特徴とする情
報記録媒体の製造方法。 - （４）特許請求の範囲第（３）項記載の情報記録媒体の
製造方法において、上記複数系列の情報記録ピット列が
、前記トラックの中心線に対して互いに反対側に位置す
るごとく前記複数のレーザー光を配置したことを特徴と
する情報記録媒体の製造方法。 - （５）特許請求の範囲第（３）項記載の情報記録媒体の
製造方法において、上記複数系列の情報記録ピット列が
、前記トラックの中心線上に位置するごとく前記複数の
レーザー光を配置したことを特徴とする情報記録媒体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62090721A JPS63257921A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 情報記録媒体とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62090721A JPS63257921A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 情報記録媒体とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63257921A true JPS63257921A (ja) | 1988-10-25 |
Family
ID=14006413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62090721A Pending JPS63257921A (ja) | 1987-04-15 | 1987-04-15 | 情報記録媒体とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63257921A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04137512U (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-22 | 日本コロムビア株式会社 | 光記録情報再生装置 |
| JPH05120734A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Victor Co Of Japan Ltd | 光デイスク及びその製造方法 |
| US5402410A (en) * | 1990-12-20 | 1995-03-28 | Hitachi, Ltd. | High density storage of information on a substrate with multiple depth and height |
| EP0594193A3 (en) * | 1992-10-23 | 1995-10-04 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | An information recording and reproducing device and a method using the same |
| US5657308A (en) * | 1990-05-25 | 1997-08-12 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for recording/reproducing information data in two dimensional format |
| EP0633565B1 (en) * | 1993-07-06 | 2000-04-19 | Pioneer Electronic Corporation | Optical disk, optical disk reproducing apparatus and recording/reproducing method of optical disk |
| EP1012836A4 (en) * | 1997-09-10 | 2001-02-07 | Wea Mfg Inc | COMPACT RECORDED DOUBLE DATA RECORD |
| AU2003202506B2 (en) * | 1997-09-10 | 2006-07-06 | Wea Manufacturing Inc. | Dual data recorded compact disc |
-
1987
- 1987-04-15 JP JP62090721A patent/JPS63257921A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5657308A (en) * | 1990-05-25 | 1997-08-12 | Hitachi, Ltd. | Apparatus for recording/reproducing information data in two dimensional format |
| US5402410A (en) * | 1990-12-20 | 1995-03-28 | Hitachi, Ltd. | High density storage of information on a substrate with multiple depth and height |
| JPH04137512U (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-22 | 日本コロムビア株式会社 | 光記録情報再生装置 |
| JPH05120734A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Victor Co Of Japan Ltd | 光デイスク及びその製造方法 |
| EP0594193A3 (en) * | 1992-10-23 | 1995-10-04 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | An information recording and reproducing device and a method using the same |
| US5577016A (en) * | 1992-10-23 | 1996-11-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Recording medium having concavo-convex pits with a maximum and a minimum pit depth depending on the wavelength of a laser light |
| US5602819A (en) * | 1992-10-23 | 1997-02-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information system to detect reflection of pit depth by evanescent wave |
| EP0633565B1 (en) * | 1993-07-06 | 2000-04-19 | Pioneer Electronic Corporation | Optical disk, optical disk reproducing apparatus and recording/reproducing method of optical disk |
| EP1012836A4 (en) * | 1997-09-10 | 2001-02-07 | Wea Mfg Inc | COMPACT RECORDED DOUBLE DATA RECORD |
| AU2003202506B2 (en) * | 1997-09-10 | 2006-07-06 | Wea Manufacturing Inc. | Dual data recorded compact disc |
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