JPS63259340A - 空気清浄装置を備えたワ−クステ−シヨン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、いわゆるクリーンルーム内の組立てライン
で発生する塵や埃等を属性的に有効に除去し得る空気清
浄装置を備えたワークステーションに関するものである
。

従来技術とその問題点 ＩＣ（集積回路）やＬＳＩ（大規模集積回路）等の微小
回路部品は、その製造過程で空気中に浮遊する微細な塵
や埃等が付着すると、その機能が著しく低下して正常に
動作しなくなる問題がある。そのためＩＣやＬＳＩ等の
精密部品その他磁気ディスク装置等の製造や医薬品製造
は１作業室内の空気を高度に清浄化したいわゆるクリー
ンルーム内で行なわれている。

ところが、室内に浮遊する塵や埃を予じめ除去し清浄化
に努めても、実際のクリーンルーム内では、作業員、原
料、製品等が出入りするため、これらに付着する極めて
微細な各種塵埃が不可避的に飛散し、クリーンルーム内
を完全に除去することは困難である。またクリーンルー
ム内に設置された組立てラインを構成する搬送装置にお
いては、摩耗塵の発生の原因となる駆動部が当該クリー
ンルーム内に露出しているため、これが前記ラインに設
けたワークステーションに浮遊する難点がある。更に、
ワークステーションでの組立てに際し。

作業者の作業動作に伴なって当該作業者の衣服からも埃
が発生しく埃発生を極力抑えた特別材質の衣服が着用さ
れるが）、そのため組立ての際にこれら塵埃が部品に付
着し、前述した製品の機能を低下させる問題が指摘され
る。

そこで５組立てラインに設けたワークステーションに吸
引ダクトを臨ませ、該ワークステーションに浮遊する塵
や埃を強制的に吸引することが行なわれている。しかし
ながら、ワークステーションの全ての塵や埃を吸引する
には、極めて強力な吸引力を必要とするために駆動力の
大きな装置を使用しなければならず、従って消費電力が
嵩んでランニングコストが高騰する原因となっている。

また組立てラインに設けた複数のワークステーションの
全てに吸引ダクトを臨ませることは、設備が大型化する
欠点が存在する。

発明の目的 本発明は従来技術に内在している前記欠点に鑑み、これ
を好適に解決するべく提案されたものであって、ワーク
ステーションで発生する塵や埃等を低コストで除去し得
るようにした新規な装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 前記の問題点を克服し、所期の目的を達成するため本発
明は、搬送装置を備え、この搬送装置により搬送される
物品を一時停止させて所要の作業を遂行し得るようにし
たワークステージ」ンにおいて、ワークステーションの
本体を構成する筐体の内部に２つの室を上下に画成し、
前記上方に画成した室の正面に開設した開口に該開口を
全面的に覆う高密度フィルタを配設し、前記高密度フィ
ルタの後方に該フィルタを介して室内空気を吹出すため
の送風ファンを配設し、この送風ファンの空気吸込側と
前記筐体の下方に画成した室とを通孔を介して連通し、
この下方の室の正面に開設した開口に該開口を全面的に
覆うプレフィルタを配設し、前記筐体の正面で前記送風
ファンにより高密度フィルタを介して清浄な空気が吹出
される位置に前記搬送装置を配設したことを特徴とする
。

実施例 次に本発明に係る空気清浄装置を備えたワークステーシ
ョンにつき、好適な実施例を挙げて、添付図面を参照し
ながら以下説明する。第１図は本発明の好適な実施例の
縦断面図を示し、第２図は第１図の一部縦断正面図であ
って、該ワークステーション８は、空気清浄装置を内蔵
した筐体１０と、この筐体１０の前部に水平に設けた搬
送装置２０とから基本的に構成される。前記矩形状の筐
体１０の内部には２つの室１０　ａ、１０　ｂが上下に
画成され、この室１０ａ、１０ｂは後述する送風ファン
１２の吸込側において連通している。上方に画成した室
１０ａの正面（第２図参照）には、筐体１０の長手力に
所定間隔で複数（本実施例では３つ）の開口１４が開設
され、この間口１４の外方に空気の流入を許容する通孔
を穿設したカバー１６が夫々配設されている。また前記
室１０ａには、開口１４を全面的に覆い得る寸法に形成
した高密度フィルタ１８（一般にＨＥＰＡフィルタと称
し。

０．３μｍの固体粒子を９９．９７％捕集する能力があ
る。）が対応的に配設しである。この高密度フィルタと
しては、クラス１００を達成し得るフィルタが使用され
る。ここで、クラス１００とは、空気の清浄度を示すも
のであって、一般作業環境に比して空気中に含まれる粒
子状物質が約１０万分の１であることを示す。なお一般
に集積回路等の高性能の電子機器部品の製造２組立ては
、クラス１００程度以上の清浄度を必要としている。

前記上方の室１０ａにおける高密度フィルタ１８の背面
側には、送風ファン１２が配設され。

このファン１２はフィルタ１８に向けて送風を行なうよ
うに配置される。すなりち送風ファン１２から送風され
た空気は、前記高密度フィルタ１８を介して塵や埃を除
去した清浄な空気となって。

筐体１０の前部に配設した搬送手段２０（後述）に向け
て吹出される。なお送風ファン１２の駆動に伴なう振動
が粉じん発生の原因ともなるので、送風ファン１２とし
ては低振動のシロッコファンが好適に使用される。

前記筐体１０の下方に画成した室１０ｂの正面には、所
定寸法の開口２２が該筐体１０の長手方向に所定間隔で
複数開設されると共に、この間口２２に例えばナイロン
不織布からなるプレフィルタ２４が密閉的に配設されて
いる。このプレフィルタ２４では、空気中に浮遊する比
較的大きな塵や埃を除去するようにしである。第１図に
示す如く、前記上方の室１０ａと下方の室１０ｂとは仕
切り板２６により画成され、この仕切り板２６に設けた
通孔２６ａが、前記送風ファン１２の背面（吸込側）と
連通している。従って前記プレフィルタ２４を介して筐
体１０の下方の室１０ｂ内に流入した外部空気は１通孔
２６ａから上方の室１０ａに配設した送風ファン１２に
吸入される。

また下方の室１０ｂには、遮蔽板２８により被覆された
配線ダクトユニット３０が、空気流路とは隔離するよう
に配設されている。

第１図および第２図に示す如く、ワークスチーシュン８
における筐体１０の正面、すなわち開口１４が開設され
る側には、当該筐体１０の上下の室１０ａ、１０ｂの略
中間位置に、搬送装置２０が水平に配設されている。こ
の搬送袋［２０は、筐体１ｏの長手方向の全てに亘って
対向配置された一対のコンベヤフレーム３２．３４と、
このコンベヤフレーム３２．３４間に配設した複数（本
実施例では３つ）の無端コンベヤ３６とから構成され、
該無端コンベヤ３６に載置したパレット４０（被組立て
製品４２が載置される）を所定方向に搬送するようにし
である。この無端コンベヤ３６は、前記筐体１ｏに開設
した夫々の開口１４に対応するように配設され、当該コ
ンベヤ３６に向けて開口１４がら空気が吹出されるよう
に構成されている。

第３図に示す如く、無端コンベヤ３６は、コンベヤフレ
ーム３２．３４の対向する内側面に複数の従動プーリ４
６が回転自在に配設され、これらプーリ群に無端ベルト
４８．４８が巻掛けられている。

ここで図面に示す如く、一方のコンベヤフレーム３２に
はモータ５０に連結された駆動プーリ４４が回転自在に
配設され、この駆動プーリ４４にも無端ベルト４８が巻
掛けられている。また無端コンベヤ３６の左端に配設し
た対向し合う従動プーリ４６，４６は、共通な回転軸５
２により連結されている。従って前記モータ５０により
駆動プーリ４４を回転させることにより、両無端ベルト
４８゜４８の水平走行面上に載置したパレット４０を所
定方向へ搬送する構成になっている。

前記搬送装置２０の下方には、パレット持上げ装置５４
が配設され、この持上げ装置５４の上方に到来したパレ
ット４ｏを持上げて、パレット４０に載置された被組立
製品４２に所定部品を組付は得るようにしである（いわ
ゆるワークステーションとして機能する）、また持上げ
装置５４の下方には偏向板５６が配設され、前記筐体１
０から吹出される空気が搬送装置２０を通り抜けた後に
、前記下方の室１０ｂに配設したプレフィルタ２４の方
向に流れるようにしである。

なお符号５８は照明具を示し、搬送装置２０すなわちワ
ークステーション内を一定の明るさに保つように構成し
ている。

次に、このように構成した本実施例に係る空気清浄装置
を備えたワークステーションの作用につき説明する。こ
こでワークステーション８に設けた３つの無端コンベヤ
３６の内、中央に配設したコンベヤ３６の位置で被組立
て製品４２の組立てを行なう場合につき説明する（すな
わち中央の無端コンベヤ３６の位置がワークステーショ
ンとなる。

）。図示に示す如く、矢印方向に走行駆動される無端コ
ンベヤ３６で搬送されるパレット４０が、中央の無端コ
ンベヤ３６の真上に到来すると、前記持上げ装置５４を
付勢してパレット４ｏをコンペヤ上から離間させる。そ
して搬送装［２０を挟んで筐体１０と対向する位置に待
機している作業者が、パレット４０に載置しである被組
立て製品４２に所定の部品を組付ける。このとき、無端
コンベヤ３６が駆動するのと、作業者が動くことにより
、ワークステーションに塵や埃が発生する。

作業者と対向する筐体１０の正面位置には、高密度フィ
ルタ１８および送風ファン１２が配設されており、この
送風ファン１２を駆動することにより、搬送装置２０に
向けて高密度フィルタ１８で浄化された空気が吹き出さ
れる。これにより、搬送装置２０や作業者により発生さ
せられてワークステーション内に浮遊する塵や埃が、清
浄な空気で吹き払われ、ワークステーション８を常に清
浄な状態に保ち得る。

ワークステーション８から吹き払われた塵や埃を伴なっ
た空気の１部は、搬送装置２０の下方に設けた偏向板５
６に沿って前記下方の室１０ｂの正面に設けたプレフィ
ルタ２４に向けて流れる。

またその他の空気も搬送装置２０の下方からプレフィル
タ２４の方向に流れる。ここで、前記送風ファン１２が
駆動していることにより、この送風ファン１２の吸入側
と連通ずる下方の室１０ｂが負圧となり、前記塵や埃を
伴なった空気がプレフィルタ２４を介して筐体１０内に
吸入される。そしてプレフィルタ２４により比較的大き
な塵や埃を除去された空気が送風ファン１２に吸入され
、再び高密度フィルタ１８を介してワークステーション
８に吹き出される循環を繰り返す。

なお第４図は本実施例に係る空気清浄装置を備えたワー
クステーションにより組立てラインを構成した状態を示
すものであって、夫々のワークステージ１ン８を個別に
清浄な状態とし得るので、吸引ダクト等の配管をする必
要がなく低コストで組立てラインを設置することができ
る。また限られた場所にラインを設置する場合にも、ワ
ークステーション８自 るので，そのレイアウトを容易に変更することができる
。

発明の効果 このように本発明によれば、ワークステーションに浄化
した空気を吹出して塵や埃を除去することにより、当該
ワークステーションを常に清浄な状態にすることができ
る．また空気を送風することにより塵や埃を除去する構
造にしたので，小型のファンで広い範囲を高い清浄度に
保ち得，しかも消費電力を抑えることができるので、ラ
ンニングコストを低減することができる。更に搬送装置
に夫々空気清浄装置を備えているので、組立ライン全体
に吸引ダクトを配設する必要がなく，設備費を低減し得
る等の有益な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係る空気清浄装置を備えたワークステー
ションの実施例を示すものであって，第１図は本発明に
係る空気清浄装置を備えたワークステーションの一実施
例の縦断面図、第２図は第１図に示すワークステーショ
ンの一部縦断正面図、第３図は第１図に示すワークステ
ーションの概略斜視図、第４図は第１図に示すワークス
テーションにより組立てラインを構成した状態を示す概
略説明図である。 ８・・・・ワークステーション １０・・・・筐体　　　　　１０ａ・・・・上方の室１
０ｂ・・・・下方の室　　１２・・・・送風ファン１４
・・・・開口　　　　　１８・・・・高密度フィルタ２
０・・・・搬送装置　　　２２・・・・開口２４・・・
・プレフィルタ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 搬送装置（２０）を備え、この搬送装置（２０）により
   搬送される物品を一時停止させて所要の作業を遂行し得
   るようにしたワークステーションにおいて、ワークステ
   ーション（８）の本体を構成する筐体（１０）の内部に
   ２つの室（１０ａ、１０ｂ）を上下に画成し、前記上方
   に画成した室（１０ａ）の正面に開設した開口（１４）
   に該開口（１４）を全面的に覆う高密度フィルタ（１８
   ）を配設し、 前記高密度フィルタ（１８）の後方に該フィルタ（１８
   ）を介して室内空気を吹出すための送風ファン（１２）
   を配設し、 この送風ファン（１２）の空気吸込側と前記筐体（１０
   ）の下方に画成した室（１０ｂ）とを通孔（２６ａ）を
   介して連通し、 この下方の室（１０ｂ）の正面に開設した開口（２２）
   に該開口（２２）を全面的に覆うプレフィルタ（２４）
   を配設し、 前記筐体（１０）の正面で前記送風ファン（１２）によ
   り高密度フィルタ（１８）を介して清浄な空気が吹出さ
   れる位置に前記搬送装置（２０）を配設したことを特徴
   とする空気清浄装置を備えたワークステーション。