JPS63267178A - 非接触型搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ハードディスク、シリコンウェハ。

フォトマスク等の被搬送物を非接触で搬送する非接触型
搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

例えば、シリコンウェハを工場内において搬送する手段
としては、枚葉処理とバッチ処理が知られている。

枚葉処理は、一枚ずつのシリコンウェハを、例えば、丸
ベルトのコンベア上に載置して、あるいは、エアにより
浮上させて搬送する方式である。

一方、パンチ処理は、数枚から数十枚のシリコンウェハ
をカセットと呼ぶ箱に収容して人力あるいは無人台車等
により搬送する方式である。

従来二枚型処理は、主に装置内での搬送に使用され、工
程内あるいは工程間の搬送には、カセットによるバッチ
処理が使用されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、バッチ処理によりシリコンウェハを搬送
する時には、シリコンウェハをカセットに入れ換えする
作業が必要であり、作業性が低下するという問題がある
。

また、シリコンウェハのカセットへの入れ換え時にシリ
コンウェハに塵埃が付着したり端面が欠…して、製品不
良が発生する虞がある。

そこで、枚葉処理だけを使用して工場内のシリコンウェ
ハの搬送を行なうことが考えられるが、一般に、各工程
に配置されている各装置は、その高さ方向および並び方
向が不規則であり、従来の枚葉処理では、コンベア等の
配置が複雑になり、これに充分対処することが困難であ
った。

また、従来の枚葉処理では、シリコンウェハを非接触で
搬送する適当な手段が存在せず、シリコンウェハのハン
ドリングあるいは搬送時にシリコンウェハに塵埃が付着
したり端面が欠損する虞がある。

〔発明の目的〕

本発明は、かかる欠点を解消すべくなされたもので、シ
リコンウェハ等の被搬送物の枚葉処理を容易に可能とし
、また、シリコンウェハ等の被搬送物を非接触で搬送す
ることを可能にした非接触型搬送装置を提供することを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕　。

本発明に係わる非接触型搬送装置は、被搬送物を非接触
で保持する保持装置と、この保持装置を移動するロボッ
トアームを備えたロボット本体と、このロボット本体を
支持するキャリアと、このキャリアを案内する搬送路と
を有するものである。

〔発明の作用〕

本発明においては、搬送路に沿ってキャリアを移動し、
このキャリアに支持されるロボット本体のロボ−／　ト
アームを移動し、保持装置を被搬送物の近傍に位置させ
ることにより、被搬送物が保持装置により非接触で保持
される。

この状態で、搬送路に沿ってキャリアを目的地点まで移
動し、この目的地点で、キャリアに支持されるロボット
本体のロボットアームを移動し、保持装置を搬送目的位
置の近傍に位置させ、被搬送物の保持を解除することに
より被搬送物が所定の位置に搬送される。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明害る。

第１図は本発明の非接触型搬送装置の一実施例を示すも
ので、図において符号１１は、例えば、シリコンウェハ
からなる被搬送物１３を非接触５で保持する保持装置を
示している。

この保持装置１１は、ロボット本体１５の伸縮自在なロ
ボットアーム１７の先端に支持されている。前記ロボッ
ト本体１５は、旋回および上下動自在とされている。

このロボット本体１５は、キャリア１９の上面に固定さ
れている。このキャリア１９の下部には、図示しないリ
ニアモータのロータが配置されている。

このキャリア１９は、搬送路２１に案内されて移動する
。

この搬送路２１は、走行ダクト２３とステーション２５
とから構成されており、走行ダクト２３およびステーシ
ョン２５には、図示しないクリーンエア供給ユニットか
らの空気を噴出する浮上用エア吹き出し孔２７が形成さ
れている。

また、ステーション２５には、リニアモータのステータ
２９が配置されており、ステータ２９の間には、停止保
持用電磁チャック３１が配置されている。

さらに、このステーション２５の近傍には、このステー
ション２５で停止すべきキャリア１９の接近を感知して
、ステーション２５のリニアモ−夕のステータ２９を励
磁し、キャリア１９を停止するセンサ機構を構成するセ
ンサ３３が配置されている。

なお、この実施例では、ステーション２５に、停止保持
用電磁チャック３１を配置したので、キャリア１９を迅
速、確実に所定位置に停止することが可能となる。

また、図において、符号３５，３６．３７は、それぞれ
生産ラインのライン端を示している。これ等の生産ライ
ンのライン端３５，３６．３７は、それぞれ高さが異な
っている。

第２図は、保持装置１１の詳細を示すもので、この保持
装置１１は、被搬送物１３を非接触で懸垂するパッド３
９と、このパッド３９の空気送入口に開閉弁４１を介し
て接続される配管４３と、この配管４３に空気を供給す
るポンプ４５を備えた送風装置と、被搬送物１３の有無
をセンサ４７により検知して開閉弁４１の開閉を行なう
センサ機構とから構成されている。

なお、この実施例では、送風装置のポンプ４５および作
動電源は、ロボット本体１５内に収容されている。

第３図および第４図は、パッド３９の詳細を示すもので
、このパッド３９は、エゼクタ−機構とベンチュリー機
構の有する静圧の変化による吸引機能、および、ホーバ
ークラフトの機能をはたす圧力型クッション機構による
反発機能とにより被搬送物１３を非接触で保持する。

このパッド３９は、上部が閉ざされ、下部が開口してい
る箱状体４９の上面に空気送入口５１を備え、開口して
いる下部内側端面をなめらかな円弧状に形成して曲げ部
５３を形成し、この曲げ部５３の先にフランジ状の折り
返し部５５を設けて形成されている。

また、箱状体４９には、被搬送物１３の水平方向への移
動を防止するため、針金状の位置決め部材５７が配置さ
れている。

なお、上述し々パッド１１は、本出願人がすでに出願し
た特願昭６１−１０８１９７号に記載されるバンドとほ
ぼ同様のものである。

なお、この実施例では、走行ダクト２３は、第５図に示
すように、複数のブロック５９に分割されており、それ
ぞれのブロック５９には、クリーンエア供給ユニットに
接続される配管６１の分岐管６３が接続されている。こ
れ等の分岐管６３には、それぞれ電磁弁６５が配置され
ており、これ等の電磁弁６５は、走行ダクト２３に配置
されるセンサ３３からの信号により開閉される。

すなわち、キャリア１９の移動時には、キャリア１９の
接近がセンサ３３により検出されると、例えば、キャリ
ア１９の進行方向の１または２ブロツク先までのブロッ
ク５９の電磁弁６５が開とされ、これ等のブロック５９
に空気が供給される。

また、キャリア１９が停止している場合には、キャリア
１９の停止しているブロック５９の電磁弁６５のみが開
とされる。

以上のように構成された非接触型搬送装置では、走行゛
ダクト２３に沿ってキャリア１９を移動し、このキャリ
ア１９を、例えば、第１図に示したように、ステーショ
ン２５の位置で停止し、このキャリア１９に支持される
ロボット本体１５およびロボットアーム１７を上下、伸
縮および旋回移動し、保持装置１を、例えば、ライン端
３５に置かれた被搬送物１３の近傍に位置させることに
より、被搬送物１３が保持装置１１により非接触で保持
される。

この状態で、走行ダクト２３に沿ってキャリア１９を目
的地点、例えば、第１図の左側のステーション２５まで
移動し、この目的地点で、キャリア１９に支持されるロ
ボット本体１５およびロボットアーム１７を上下、伸縮
および旋回移動し、保持装置１１をライン端３７の近傍
に位置させ、この状態で保持装置１１への空気の供給を
断つことにより、被搬送物１３が容易に所定の位置に搬
送される。

しかして、以上のように構成された非接触型搬送装置で
は、ロボット本体１５およびロボットアーム１７を上下
、伸縮および旋回移動することにより、保持装置１１を
所定の位置に容易に移動することが可能となり、生産ラ
インのライン端３５゜３６．３７の位置の高さ等が異な
っていても、シリコンウェハ等の被搬送物１３０枚葉処
理が容易に可能となる。

また、以上のように構成された非接触型搬送装置では、
パッド３９がら空気を噴出することにより被搬送物１３
を容易に非接触で吸着することができるため、シリコン
ウェハ等の被搬送物１３を非接触で搬送することが容易
に可能となる。

なお、以上述べた実施例では、ロボット本体１５内に送
風装置のポンプ４５および作動電源を収容した例につい
て説明したが、本発明は、かかる実施例に限定されるも
のではなく、例えば、搬送路が比較的短い時には、第６
図に示すように、送風装置のポンプ４５とパッド３９と
を可撓性のある配管６７で接続しても良いことは勿論で
ある。

また、以上述べた実施例では、シリコンウェハの搬送に
本装置を用いた例について説明したが、本発明は、かか
る実施例に限定されるものではなく、例えば、ハードデ
ィスク、フォトマスク等の搬送に用いても良いことは勿
論である。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、非接触型搬送装置
を、被搬送物を非接触で保持する保持装置と、この保持
装置を移動するロボットアームを備えたロボット本体と
、このロボット本体を支持するキャリアと、このキャリ
アを案内する搬送路とから構成したので、シリコンウェ
ハ等の被搬送物の枚葉処理が容易に可能となり、また、
シリコンウェハ等の被搬送物を非接触で搬送することが
できるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の非接触型搬送装置の一実施例を示す斜
視図、第２図は第１図の保持装置を示す斜視図、第３図
は第２図のパッドの縦断面図、第４図は第３図の上面図
、第５図は第１図の走行ダクトを示す説明図、第６図は
保持装置への空気供給方法を示す説明図である。 １１・・・保持装置、１３・・・被搬送物、１５・・・
ロボット本体、１７・・・ロボットアーム、１９・・・
キャリア、２１・・・搬送路、３３．４７・・・センサ
、３９・・・パッド。 特許出願人　株式会社竹中工務店 第１図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被搬送物を非接触で保持する保持装置と、この保
   持装置を移動するロボットアームを備えたロボット本体
   と、このロボット本体を支持するキャリアと、このキャ
   リアを案内する搬送路とを有することを特徴とする非接
   触型搬送装置。
2. （２）保持装置は、エゼクター機構とベンチュリー機構
   の有する静圧の変化による吸引機能およびホーバークラ
   フトの機能を果たす圧力型クッション機構による反発機
   能とにより、被搬送物を非接触で保持する特許請求の範
   囲第１項記載の非接触型搬送装置。
3. （３）保持装置は、上部が閉ざされ、下部が開口してい
   る箱状体の上面に空気送入口を備え、開口している下部
   内側端面をなめらかな円弧状に形成して曲げ部を形成し
   、この曲げ部の先にフランジ状の折り返し部を設け、前
   記空気送入口より空気を送入することにより被搬送物を
   非接触で懸垂するパッドと、このパッドの前記空気送入
   口に開閉弁を介して空気を供給する送風装置と、被搬送
   物の有無を検知して前記開閉弁の開閉を行なうセンサ機
   構とからなる特許請求の範囲第２項記載の非接触型搬送
   装置。
4. （４）被搬送物は、ハードディスク、シリコンウェハま
   たはフォトマスクである特許請求の範囲第１項ないし第
   ３項のいずれか１項記載の非接触型搬送装置。