JPS63282576A - パタ−ン検査装置 - Google Patents
パタ−ン検査装置Info
- Publication number
- JPS63282576A JPS63282576A JP62117673A JP11767387A JPS63282576A JP S63282576 A JPS63282576 A JP S63282576A JP 62117673 A JP62117673 A JP 62117673A JP 11767387 A JP11767387 A JP 11767387A JP S63282576 A JPS63282576 A JP S63282576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- area
- inspected
- measurement area
- missing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はテレビカメラ、マイクロコンピュータ等を用い
てパターンの欠け等の欠陥を検査するパターン検査装置
に関するものである。
てパターンの欠け等の欠陥を検査するパターン検査装置
に関するものである。
〈従来技術とその問題点〉
従来パターンを検査する装置においては、検査すべきパ
ターン以外のパターンが混在した場合、誤動作の原因と
なっていた。従って、撮像エリア内にいわゆるウィンド
ウを設けて、検査範囲を限定している。もちろんウィン
ドウ内に検査すべきパターン以外のものが入ったならば
誤動作を起こす、しかし、箔押しの生産ラインにおいて
、抜かれた箔をロールに巻き上げて行（時ピッチがぶれ
る為、箔の抜き跡から検査する際テレビカメラに対し定
位置に箔の抜き跡のパターンが停止しない。
ターン以外のパターンが混在した場合、誤動作の原因と
なっていた。従って、撮像エリア内にいわゆるウィンド
ウを設けて、検査範囲を限定している。もちろんウィン
ドウ内に検査すべきパターン以外のものが入ったならば
誤動作を起こす、しかし、箔押しの生産ラインにおいて
、抜かれた箔をロールに巻き上げて行（時ピッチがぶれ
る為、箔の抜き跡から検査する際テレビカメラに対し定
位置に箔の抜き跡のパターンが停止しない。
従ってピッチぶれを許容する為、検査範囲を大きく取る
必要がある。ところが、位置ずれ許容範囲を太き（取る
と検査すべきパターン以外のパターンも同時に検査範囲
に入って（る、この場合、通常の検査装置においてｉ誤
動作になる。
必要がある。ところが、位置ずれ許容範囲を太き（取る
と検査すべきパターン以外のパターンも同時に検査範囲
に入って（る、この場合、通常の検査装置においてｉ誤
動作になる。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、テレビ
カメラで次々に送られてくるパターンを検査する検査装
置に於いて。
カメラで次々に送られてくるパターンを検査する検査装
置に於いて。
テレビカメラが取り入れる検査エリアに対して。
パターンを認識することによりパターンに対応した測定
エリアを設定する測定エリア手段を設け。
エリアを設定する測定エリア手段を設け。
該測定エリア内のパターンについて、パターンの欠けを
検査するようにしたことで、検査範囲を広く取り、検査
すべきパターン以外のパターンを同時に撮像してもこれ
の影響をほとんど受けずに検査する事ができるパターン
検査装置を提供するものである。
検査するようにしたことで、検査範囲を広く取り、検査
すべきパターン以外のパターンを同時に撮像してもこれ
の影響をほとんど受けずに検査する事ができるパターン
検査装置を提供するものである。
〈実施例〉
以下本発明について図面を参照しなから一実施例により
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は本発明の装置全体を示すブロック図である。先
ず画像の取り込みについて説明する。被検査物（１）が
測定位置に到達すると、光源（２）により照明され、物
体検知センサー（３）は被検査物（１）を感知してＤＭ
Ａ割り込み回路０！ＪはＣＰ Ｕ （５）に対しコント
ロール信号群（２２）のひとつであるホールド信号を出
力して一時ＣＰ Ｕ （５）を停止させていわゆるホー
ルド状態とする。更にＤＭＡ割り込み回路θ″！Ｊは画
像ＲＡ Ｍ （８）に画像を記憶させるため、アドレス
信号、書き込み信号を出力する。被検査物（１）の画像
はテレビカメラ（４）により撮像され、二値化回路θυ
でデジタル信号に変換され、ＤＭＡ割り込み回路α３が
出力するアドレス信号、書き込み信号に基づき画像ＲＡ
Ｍ （８）に記憶される。なお同期信号発生回路（＋
２１は一定の同期パルスを発生しており、テレビカメラ
（４）とＤＭＡ割り込み回路０■との同期をとるように
しである０画像の取り込みが終了すると、ＤＭＡ割り込
み回路０３はＣＰ Ｕ （５）に対しホールド状態解除
の信“号を出力した後、ＣＰ Ｕ （５）に割り込み信
号を出力する。ＣＰ Ｕ （５）は割り込み信号を受け
ると割り込み信号としての画像処理プログラムを実行し
始める。なおテレビカメラ（４）から出力されるアナロ
グ画像、二値化回路θ０による二値化後のデジタル画像
、画像ＲＡ Ｍ （８）から出力されるメモリ画像の三
つの画像は切り替えスイッチ０９を切り替えることによ
り切り替え回路０ωが動作し、モニターテレビ（９）に
より上述した三つの画像のうち任意の画像を観察するこ
とが出来る。ＣＰＵ（５）はＦ ＲＯＭ （６）に書き
込まれているプログラムの手順により、画像ＲＡ Ｍ
（８）内の画像を処理してその結果をワーキングＲＡＭ
（７）に記憶させる。またＣ Ｐ Ｕ （５）はアドレ
スバス（至）データバス（２１）コントロール信号線群
（２２）を通じて周辺回路に接続されており、周辺回路
へデータを送り込む。
ず画像の取り込みについて説明する。被検査物（１）が
測定位置に到達すると、光源（２）により照明され、物
体検知センサー（３）は被検査物（１）を感知してＤＭ
Ａ割り込み回路０！ＪはＣＰ Ｕ （５）に対しコント
ロール信号群（２２）のひとつであるホールド信号を出
力して一時ＣＰ Ｕ （５）を停止させていわゆるホー
ルド状態とする。更にＤＭＡ割り込み回路θ″！Ｊは画
像ＲＡ Ｍ （８）に画像を記憶させるため、アドレス
信号、書き込み信号を出力する。被検査物（１）の画像
はテレビカメラ（４）により撮像され、二値化回路θυ
でデジタル信号に変換され、ＤＭＡ割り込み回路α３が
出力するアドレス信号、書き込み信号に基づき画像ＲＡ
Ｍ （８）に記憶される。なお同期信号発生回路（＋
２１は一定の同期パルスを発生しており、テレビカメラ
（４）とＤＭＡ割り込み回路０■との同期をとるように
しである０画像の取り込みが終了すると、ＤＭＡ割り込
み回路０３はＣＰ Ｕ （５）に対しホールド状態解除
の信“号を出力した後、ＣＰ Ｕ （５）に割り込み信
号を出力する。ＣＰ Ｕ （５）は割り込み信号を受け
ると割り込み信号としての画像処理プログラムを実行し
始める。なおテレビカメラ（４）から出力されるアナロ
グ画像、二値化回路θ０による二値化後のデジタル画像
、画像ＲＡ Ｍ （８）から出力されるメモリ画像の三
つの画像は切り替えスイッチ０９を切り替えることによ
り切り替え回路０ωが動作し、モニターテレビ（９）に
より上述した三つの画像のうち任意の画像を観察するこ
とが出来る。ＣＰＵ（５）はＦ ＲＯＭ （６）に書き
込まれているプログラムの手順により、画像ＲＡ Ｍ
（８）内の画像を処理してその結果をワーキングＲＡＭ
（７）に記憶させる。またＣ Ｐ Ｕ （５）はアドレ
スバス（至）データバス（２１）コントロール信号線群
（２２）を通じて周辺回路に接続されており、周辺回路
へデータを送り込む。
次に画像処理結果の出力に関して説明する。
Ｉ１０命令デコード回路ａωはＣＰ Ｕ （５）で画像
処理をして得られた結果を外部に表示するため、アドレ
スバス（至）及びコントロール信号線群（２２）を取り
込み、アドレスバスの上位８ビツトから最大２５６個の
Ｉ１０機器アドレスを生成する。データ表示回路（２）
はデータバス（２１）に乗ったＣ Ｐ Ｕ （５）の処
理結果を表示する。その際データ表示器０９のうちどの
表示器に処理結果を表示するかは、上記Ｉ１０機器アド
レスに基づいて選択される。また機械停止信号回路Ｃｌ
７）及び警報信号回路ｑ印は、上記Ｉ１０機器アドレス
によりそれぞれの回路が選択された時動作し、生産ライ
ンの停止やブザーの鳴動、警報灯の回転動作等をおこさ
しめる。
処理をして得られた結果を外部に表示するため、アドレ
スバス（至）及びコントロール信号線群（２２）を取り
込み、アドレスバスの上位８ビツトから最大２５６個の
Ｉ１０機器アドレスを生成する。データ表示回路（２）
はデータバス（２１）に乗ったＣ Ｐ Ｕ （５）の処
理結果を表示する。その際データ表示器０９のうちどの
表示器に処理結果を表示するかは、上記Ｉ１０機器アド
レスに基づいて選択される。また機械停止信号回路Ｃｌ
７）及び警報信号回路ｑ印は、上記Ｉ１０機器アドレス
によりそれぞれの回路が選択された時動作し、生産ライ
ンの停止やブザーの鳴動、警報灯の回転動作等をおこさ
しめる。
２二で本発明の具体的動作について、第２図に示すＴの
文字パターンが打ち抜かれた打抜きシートに対して正確
に打ち抜かれているかどうかをチェックする場合につい
て述べる。
文字パターンが打ち抜かれた打抜きシートに対して正確
に打ち抜かれているかどうかをチェックする場合につい
て述べる。
該シートはコンベアに載せられて次々とテレビカメラ４
の位置に送られており、該テレビカメラ４は該シートの
パターンを捉え検査エリアデータとして取り込み二値化
回路で、白、黒のパターンとしてデジタルデータ変換さ
れ画像ＲＡＭに送られてメモリされる。
の位置に送られており、該テレビカメラ４は該シートの
パターンを捉え検査エリアデータとして取り込み二値化
回路で、白、黒のパターンとしてデジタルデータ変換さ
れ画像ＲＡＭに送られてメモリされる。
次に予めＦＲＯＭ （６）内に設定されである測定エリ
ア設定プログラムに従って第２図に示す検索エリアのパ
ターンをＹ軸に投影することにより。
ア設定プログラムに従って第２図に示す検索エリアのパ
ターンをＹ軸に投影することにより。
第３図に示す如くのパターンが得られる。即ち箔の黒の
部分を加算したものであり、同図においてはす、ｆの部
分がもっとも黒が多いため、グラフ上でもそれに対応す
るす、ｒの部分がもつとも高くなっている。
部分を加算したものであり、同図においてはす、ｆの部
分がもっとも黒が多いため、グラフ上でもそれに対応す
るす、ｒの部分がもつとも高くなっている。
さらに詳しく処理を第４図、第５図のフローチャートに
基づき説明すれば、Ｓｌにより画像ＲＡＭのデータをＹ
軸に投影したデータに基づき、Ｓ２によりＹＴＡＢＬＥ
中の最大値を求め、ＭＡＸとする。ところがここでＭＡ
Ｘ（２２）の値は測定の際の誤差も考慮に入れるため誤
差値（ＹＢＩＡＳ）の例えば１を差し引いたＭＡＸ ’
を最大値としてＳ３により補正してお（。
基づき説明すれば、Ｓｌにより画像ＲＡＭのデータをＹ
軸に投影したデータに基づき、Ｓ２によりＹＴＡＢＬＥ
中の最大値を求め、ＭＡＸとする。ところがここでＭＡ
Ｘ（２２）の値は測定の際の誤差も考慮に入れるため誤
差値（ＹＢＩＡＳ）の例えば１を差し引いたＭＡＸ ’
を最大値としてＳ３により補正してお（。
次にＳ４とＳ５によりｉ＝１より順にＭＡＸ ’との大
小比較を行いＭＡＸ ’よりＹＴＡＢＬＥｉが大となる
ｉ＝６を探しだし９次にＳ６とＳ７によりＹＴＡＢＬＥ
ｉがＭＡＸ より小となる点９を探し、このｉ＝６よ
り１を引いてｉ＝５の値をＳ８によりＨＥＡＶＥＮＩに
Ｘ線（２０５）として格納する。
小比較を行いＭＡＸ ’よりＹＴＡＢＬＥｉが大となる
ｉ＝６を探しだし９次にＳ６とＳ７によりＹＴＡＢＬＥ
ｉがＭＡＸ より小となる点９を探し、このｉ＝６よ
り１を引いてｉ＝５の値をＳ８によりＨＥＡＶＥＮＩに
Ｘ線（２０５）として格納する。
次にＳ９とＳＩＯによりＭＡＸ ’ ＜ＹＴＡＢＬＥ
ｉ トナルｉヲ求メ、 １（７）値１１ヲ地ｍ （２
０６）としてＳｌｌによりＥＡＲＴＨに格納する。
ｉ トナルｉヲ求メ、 １（７）値１１ヲ地ｍ （２
０６）としてＳｌｌによりＥＡＲＴＨに格納する。
さらに３１２とＳ１３により再びＭＡＸ ’ ＞ＹＴＡ
ＢＬＥｉとなる１＝２０を求め、Ｓ１４によりその１−
１＝１９を次のＸ線（２０７）さしてＨＥＡＶＥＮ２１
に格納、する。
ＢＬＥｉとなる１＝２０を求め、Ｓ１４によりその１−
１＝１９を次のＸ線（２０７）さしてＨＥＡＶＥＮ２１
に格納、する。
次に測定エリアの在線と布線を求める手段について述べ
る。
る。
まず上述した如くにより測定エリアにおけるＸ線（２０
５）、地線（２０６）の巾の分のみについてＸ軸上への
データ投影を行い、その黒ドツトのパターンの和ＳＡｊ
とする。また前にメモリーしておいたＥＡＲＴＨ＝ １
７と、ＨＥＡＶＥＮＩ＝８さらに誤差値であるＢＩＡＳ
＝１を基に（ＥＡＲＴＨ）−（ＨＥＡＶＥＮＩ）−Ｂ
ＩＡＳを計算して全部が黒パターンの場合である８をＨ
ＩＧＨＴ’としてメモリーする。
５）、地線（２０６）の巾の分のみについてＸ軸上への
データ投影を行い、その黒ドツトのパターンの和ＳＡｊ
とする。また前にメモリーしておいたＥＡＲＴＨ＝ １
７と、ＨＥＡＶＥＮＩ＝８さらに誤差値であるＢＩＡＳ
＝１を基に（ＥＡＲＴＨ）−（ＨＥＡＶＥＮＩ）−Ｂ
ＩＡＳを計算して全部が黒パターンの場合である８をＨ
ＩＧＨＴ’としてメモリーする。
次にＳ１６とＳｉ２によりＳＡｊ＞ＨＩＧＨ’となる値
を求め箔シートの左端部の値となる。そして３１Ｂと３
１９によりＳＡｊ＜ＨＩＧＨＴ’となる値ｊを算出し、
さらにＳ２０によって（ｊ−１）を在線（２０８）とし
てＬＥＦＴに格納する。そしてここでｊを検査エリアの
最右端であるｍに設定し、右側から検証していく。すな
わちＳ２１とＳ２２によりＳＡｊ＜）ＩＩＧＨＴ’とな
るｊを求め箔シートの右端を検知し５次に３２３とＳ２
４によりＳＡｊ＜ＨＩＧＨ’となる値ｊを求めて、さら
にＳ２５によりｊ＋１を布線（２０９）としてＲＩＧＨ
Ｔに格納する。
を求め箔シートの左端部の値となる。そして３１Ｂと３
１９によりＳＡｊ＜ＨＩＧＨＴ’となる値ｊを算出し、
さらにＳ２０によって（ｊ−１）を在線（２０８）とし
てＬＥＦＴに格納する。そしてここでｊを検査エリアの
最右端であるｍに設定し、右側から検証していく。すな
わちＳ２１とＳ２２によりＳＡｊ＜）ＩＩＧＨＴ’とな
るｊを求め箔シートの右端を検知し５次に３２３とＳ２
４によりＳＡｊ＜ＨＩＧＨ’となる値ｊを求めて、さら
にＳ２５によりｊ＋１を布線（２０９）としてＲＩＧＨ
Ｔに格納する。
このような処理手順を実行することで、検査エリア内で
対象とする文字パターンの必要最小限の測定エリアが決
定される。
対象とする文字パターンの必要最小限の測定エリアが決
定される。
次に測定エリア内の箔欠け（２０４）等パターンの欠け
等を検査する手段であるが、これにはいくつかあり、検
査すべきパターンにより異なる。
等を検査する手段であるが、これにはいくつかあり、検
査すべきパターンにより異なる。
例えば、ワタで囲まれたエリア内の白ビットの数を数え
て標準パターンの数と比較する手段、上記エリア内をさ
らに細かく分割し、各々のエリア毎に、白ビツト数を数
え標準パターンの白ビツト数と比較する面積法、あるい
は、標準パターンとのパターンの一敗具合を見るパター
ンマツチング法あるいは、被検パターンを太めて、さら
に細め、欠けのないパターンとし、このパターンと被検
パターンとのＥＸＯＲを取る方法等がある。
て標準パターンの数と比較する手段、上記エリア内をさ
らに細かく分割し、各々のエリア毎に、白ビツト数を数
え標準パターンの白ビツト数と比較する面積法、あるい
は、標準パターンとのパターンの一敗具合を見るパター
ンマツチング法あるいは、被検パターンを太めて、さら
に細め、欠けのないパターンとし、このパターンと被検
パターンとのＥＸＯＲを取る方法等がある。
く効果〉
以上詳述した様に本発明によれば検査すべきパターン以
外のパターンが同時に検査エリアに存在しても、この影
響を受けずに確実に検査する事ができる箔欠け検査装置
となる。
外のパターンが同時に検査エリアに存在しても、この影
響を受けずに確実に検査する事ができる箔欠け検査装置
となる。
第１図は本発明による検査装置のブロック図第２図は被
検査物を示す説明図、第３図はＹ軸投影図、第４図、５
図はフローチャート。 （１）被検査体 ５（２）光源（３）物体検知
センサ （４）テレビカメラ（５） ＣＰ Ｕ
（６） Ｆ ＲＯＭ（７）ワーキングＲＡ
Ｍ （８）画像ＲＡＭ（９）モニタテレビ
（１０）切換え回路（１１）二値化回路 （１２）
同期信号発生回路（１３）ＤＭＡ割込み回路（１４）デ
ータ表示画・路（１５）データ表示器 （１６） Ｉ
１０命令デコード回路 （１７）機械
停止信号回路（１８）警報信号回路 （１９）切換え
スイッチ（２０）アドレスバス （２１）データバ
ス（２２）コントロール信号線群 （２０１）箔抜き跡パターン （２０２）箔抜き跡パターン （２０３） Ｍ抜き跡パターン （２０４＞箔欠け （２０５）第１天線（２０６
＞地線 （２０７）第２天線（２０８）在線
（２０９）布線（２１０）検査エリア 特 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 植ギ１に１ヒイネ １ 第１図 第３図 第ｔｍ
検査物を示す説明図、第３図はＹ軸投影図、第４図、５
図はフローチャート。 （１）被検査体 ５（２）光源（３）物体検知
センサ （４）テレビカメラ（５） ＣＰ Ｕ
（６） Ｆ ＲＯＭ（７）ワーキングＲＡ
Ｍ （８）画像ＲＡＭ（９）モニタテレビ
（１０）切換え回路（１１）二値化回路 （１２）
同期信号発生回路（１３）ＤＭＡ割込み回路（１４）デ
ータ表示画・路（１５）データ表示器 （１６） Ｉ
１０命令デコード回路 （１７）機械
停止信号回路（１８）警報信号回路 （１９）切換え
スイッチ（２０）アドレスバス （２１）データバ
ス（２２）コントロール信号線群 （２０１）箔抜き跡パターン （２０２）箔抜き跡パターン （２０３） Ｍ抜き跡パターン （２０４＞箔欠け （２０５）第１天線（２０６
＞地線 （２０７）第２天線（２０８）在線
（２０９）布線（２１０）検査エリア 特 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 植ギ１に１ヒイネ １ 第１図 第３図 第ｔｍ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）テレビカメラで次々に送られてくるパターンを検査
する検査装置に於いて、 テレビカメラが取り入れる検査エリアに対して、パター
ンを認識することによりパターンに対応した測定エリア
を設定する測定エリア手段を設け、該測定エリア内のパ
ターンについて、パターンの欠けを検査するようにした
ことを特徴とする、テレビカメラの視野内に検査すべき
パターン以外のパターンが共に存在していてもパターン
の欠け等の欠陥を検査し得るようにしたパターン検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62117673A JPS63282576A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62117673A JPS63282576A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | パタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282576A true JPS63282576A (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=14717455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62117673A Pending JPS63282576A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63282576A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55119782A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-13 | Daihen Corp | Pattern automatic inspection method |
-
1987
- 1987-05-14 JP JP62117673A patent/JPS63282576A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55119782A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-13 | Daihen Corp | Pattern automatic inspection method |
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