JPS63285948A - ウエハカセットの載置台 - Google Patents
ウエハカセットの載置台Info
- Publication number
- JPS63285948A JPS63285948A JP62120694A JP12069487A JPS63285948A JP S63285948 A JPS63285948 A JP S63285948A JP 62120694 A JP62120694 A JP 62120694A JP 12069487 A JP12069487 A JP 12069487A JP S63285948 A JPS63285948 A JP S63285948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- mounting table
- main body
- wafer cassette
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体製造装置等に配置され、ウェハカセッ
トが載置されるウェハカセットの載置台に関する。
トが載置されるウェハカセットの載置台に関する。
（従来の技術）
一般に、ウェハカセットの載置台は、半導体製造装置等
に配置され、内部に多数の半導体ウェハを収容したウェ
ハカセットが載置される。
に配置され、内部に多数の半導体ウェハを収容したウェ
ハカセットが載置される。
従来のウェハカセットの載置台は、はぼ水平に配置され
、ウェハカセットが載置される載置台本体と、この載置
台本体を上下動させる駆動機構とから構成されている。
、ウェハカセットが載置される載置台本体と、この載置
台本体を上下動させる駆動機構とから構成されている。
゛（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上述の従来のウェハカセットの載置台で
は、例えば載置台本体にウェハカセットを載置する時等
に、ウェハカセット内に収容された半導体ウェハが飛び
出し、この半導体ウェハがウェハカセットの底部に接触
した状態の所定位置からずれた状態となることがある。
は、例えば載置台本体にウェハカセットを載置する時等
に、ウェハカセット内に収容された半導体ウェハが飛び
出し、この半導体ウェハがウェハカセットの底部に接触
した状態の所定位置からずれた状態となることがある。
このような状態で、例えばウェハ搬送機構による半導体
ウェハの取り出しが行われると、半導体ウェハが所定位
置からずれた状態でウェハ搬送機構に保持されたり、こ
の半導体ウェハとウェハ搬送機構とが接触し半導体ウェ
ハが破損される場合があるという問題がある。
ウェハの取り出しが行われると、半導体ウェハが所定位
置からずれた状態でウェハ搬送機構に保持されたり、こ
の半導体ウェハとウェハ搬送機構とが接触し半導体ウェ
ハが破損される場合があるという問題がある。
本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、ウェハカセット内に収容された多数の半導体ウェハを
、ウェハカセットの底部に接触した状態の所定位置に位
置させることができ、半導体ウェハが所定位置からずれ
た状態でウェハ搬送機構に保持されたり、この半導体ウ
ェハとウェハ搬送機構とが接触し半導体ウェハが破損さ
れることを防止することのできるウェハカセットの載置
台を提供しようとするものである。
、ウェハカセット内に収容された多数の半導体ウェハを
、ウェハカセットの底部に接触した状態の所定位置に位
置させることができ、半導体ウェハが所定位置からずれ
た状態でウェハ搬送機構に保持されたり、この半導体ウ
ェハとウェハ搬送機構とが接触し半導体ウェハが破損さ
れることを防止することのできるウェハカセットの載置
台を提供しようとするものである。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
すなわち本発明は、ウェハカセットが載置される載置台
本体と、この載置台本体を上下動させる駆動機構とを有
するウェハカセットの載置台において、ウェハが前記ウ
ェハカセット底部の所定位置に位置するよう前記載置台
本体を所定の角度に傾斜させ、この後載置台本体を水平
とする傾斜手段を配置したことを特徴とする。
本体と、この載置台本体を上下動させる駆動機構とを有
するウェハカセットの載置台において、ウェハが前記ウ
ェハカセット底部の所定位置に位置するよう前記載置台
本体を所定の角度に傾斜させ、この後載置台本体を水平
とする傾斜手段を配置したことを特徴とする。
（作 用）
本発明のウェハカセットの載置台では、ウェハがウェハ
カセット底部の所定位置に位置するよう載置台本体を所
定の角度に傾斜させ、この後載置台本体を水平とする制
御手段を配置されている。
カセット底部の所定位置に位置するよう載置台本体を所
定の角度に傾斜させ、この後載置台本体を水平とする制
御手段を配置されている。
この傾斜手段は、例えば回転軸を中心に傾斜可能とされ
た載置台本体の端部を、載置台本体の上昇に応じてを押
圧し傾斜させる機構等から構成されている。
た載置台本体の端部を、載置台本体の上昇に応じてを押
圧し傾斜させる機構等から構成されている。
したがって、ウェハカセット内に収容された多数の半導
体ウェハを、これらの半導体ウェハがウェハカセットの
底部に接触した状態の所定位置に位置させることができ
、例えばウェハ搬送機構による半導体ウェハの取り出し
を行う時は、従来と同様に水平とされなウェハカセット
から半導体ウェハの取り出しを行うことができる。
体ウェハを、これらの半導体ウェハがウェハカセットの
底部に接触した状態の所定位置に位置させることができ
、例えばウェハ搬送機構による半導体ウェハの取り出し
を行う時は、従来と同様に水平とされなウェハカセット
から半導体ウェハの取り出しを行うことができる。
（実施例）
以下本発明のウェハカセットの載置台を第１図を参照し
て実施例について説明する。
て実施例について説明する。
載置台本体１は、板状に形成されており、その′上面に
は、内部に多数の半導体ウェハ２を収容するウェハカセ
ット３側面の形状に合わせて図示しない凹凸等が形成さ
れており、ウェハカセット３を、所定位置に位置決めで
きるよう構成されている。
は、内部に多数の半導体ウェハ２を収容するウェハカセ
ット３側面の形状に合わせて図示しない凹凸等が形成さ
れており、ウェハカセット３を、所定位置に位置決めで
きるよう構成されている。
上記載置台本体１の側面後部には、載置台本体１を貫通
する如く回転軸４が配置されている。そして、この回転
軸４が、台座５の軸受け６に挿入されて、載置台本体１
が台座５に係止されている。
する如く回転軸４が配置されている。そして、この回転
軸４が、台座５の軸受け６に挿入されて、載置台本体１
が台座５に係止されている。
なお、台座５は、載置台本体１とほぼ同様な幅を有し、
上面がほぼ水平に形成された板状部材からなり、側面の
後部から上方に突出して一対の軸受け６が形成されてい
る。そして、載置台本体１は、台座５の上面にほぼ水平
に保持され、載置台本体１後部上面を押圧することによ
り、載置台本体１の前部が上昇する方向に載置台本体１
を傾斜させることができるよう構成されている。
上面がほぼ水平に形成された板状部材からなり、側面の
後部から上方に突出して一対の軸受け６が形成されてい
る。そして、載置台本体１は、台座５の上面にほぼ水平
に保持され、載置台本体１後部上面を押圧することによ
り、載置台本体１の前部が上昇する方向に載置台本体１
を傾斜させることができるよう構成されている。
また、台座５は、図示しないモータ等からなる駆動機構
の駆動アーム７に固定されており、上下動可能とされて
いる。そして、この駆動機構による上下動において、駆
動アーム７が最上部に上昇され、載置台本体１が最上部
に位置した時に、載置台本体１の回転軸４より後部の上
面を押圧し、置台本体１を所定角度例えば３０度に傾斜
させるように、押圧部材８が配設されている。
の駆動アーム７に固定されており、上下動可能とされて
いる。そして、この駆動機構による上下動において、駆
動アーム７が最上部に上昇され、載置台本体１が最上部
に位置した時に、載置台本体１の回転軸４より後部の上
面を押圧し、置台本体１を所定角度例えば３０度に傾斜
させるように、押圧部材８が配設されている。
なお、上記押圧部材８は、置台本体１の回転軸４より後
部の上面と当接され、置台本体１の上昇によってこの部
位を押圧し、置台本体１を所定角度に傾斜させる押圧部
８ａと、この押圧部８ａの上部から前方に突出し、置台
本体１が所定角度に傾斜した時に、この置台本体１の回
転軸４より前部の上面と当接され、置台本体１の過度の
傾斜を防止する係止部８ｂとを備えている。
部の上面と当接され、置台本体１の上昇によってこの部
位を押圧し、置台本体１を所定角度に傾斜させる押圧部
８ａと、この押圧部８ａの上部から前方に突出し、置台
本体１が所定角度に傾斜した時に、この置台本体１の回
転軸４より前部の上面と当接され、置台本体１の過度の
傾斜を防止する係止部８ｂとを備えている。
上記構成のこの実施例のウェハカセットの載置台は、例
えば半導体製造装置等に配置される。そして、第１図（
ａ）に示すように、駆動機構により、載置台本体１が最
上部に上昇され、作業員等によりウェハカセット３の載
置が行われる時は、押圧部材８により、置台本体１が所
定角度例えば３０度に傾斜される。そして、第１図（ｂ
）に示すように、置台本体１が降下すると、置台本体１
が押圧部材８から離れ、水平とされる。
えば半導体製造装置等に配置される。そして、第１図（
ａ）に示すように、駆動機構により、載置台本体１が最
上部に上昇され、作業員等によりウェハカセット３の載
置が行われる時は、押圧部材８により、置台本体１が所
定角度例えば３０度に傾斜される。そして、第１図（ｂ
）に示すように、置台本体１が降下すると、置台本体１
が押圧部材８から離れ、水平とされる。
したがって、ウェハカセット３の載置時に、このウェハ
カセット３内の多数の半導体ウェハ２を、これらの半導
体ウェハ２がウェハカセット３の底部に接触した状態の
所定位置に位置させることができ、例えばウェハ搬送Ｉ
！構による半導体ウェハ２の取り出しを行う時は、従来
と同様に水平とされたウェハカセット３から半導体ウェ
ハ２の取り出しを行うことができる。
カセット３内の多数の半導体ウェハ２を、これらの半導
体ウェハ２がウェハカセット３の底部に接触した状態の
所定位置に位置させることができ、例えばウェハ搬送Ｉ
！構による半導体ウェハ２の取り出しを行う時は、従来
と同様に水平とされたウェハカセット３から半導体ウェ
ハ２の取り出しを行うことができる。
［発明の効果］
上述のように、本発明のウェハカセットの載置台では、
ウェハカセット内に収容された多数の半導体ウェハを、
これらの半導体ウェハがウェハカセットの底部に接触し
た状態の所定位置に位置させることができ、半導体ウェ
ハが所定位置からずれた状態でウェハ搬送機構に保持さ
れたり、この半導体ウェハとウェハ搬送機構とが接触し
半導体ウェハが破損されることを防止することができる
。
ウェハカセット内に収容された多数の半導体ウェハを、
これらの半導体ウェハがウェハカセットの底部に接触し
た状態の所定位置に位置させることができ、半導体ウェ
ハが所定位置からずれた状態でウェハ搬送機構に保持さ
れたり、この半導体ウェハとウェハ搬送機構とが接触し
半導体ウェハが破損されることを防止することができる
。
第１図（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施例のウェハ
カセットの載置台を示す側面図である。 １・・・・・・載置台本体、２・・・・・・半導体ウェ
ハ、３・・・・・・ウェハカセット、４・・・・・・回
転軸、５・・・・・・台座、６・・・・・・軸受け、７
・・・・・・駆動アーム、８・・・・・・押圧部材。
カセットの載置台を示す側面図である。 １・・・・・・載置台本体、２・・・・・・半導体ウェ
ハ、３・・・・・・ウェハカセット、４・・・・・・回
転軸、５・・・・・・台座、６・・・・・・軸受け、７
・・・・・・駆動アーム、８・・・・・・押圧部材。
Claims (2)
- （１）ウエハカセットが載置される載置台本体と、この
載置台本体を上下動させる駆動機構とを有するウエハカ
セットの載置台において、ウエハが前記ウエハカセット
底部の所定位置に位置するよう前記載置台本体を所定の
角度に傾斜させ、この後該載置台本体を水平とする制御
手段を配置したことを特徴とするウエハカセットの載置
台。 - （２）前記制御手段は、回転軸を中心に傾斜可能とされ
た前記載置台本体の端部を、該載置台本体の上昇に応じ
て押圧し傾斜させるものである特許請求の範囲第１項記
載のウエハカセットの載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62120694A JPS63285948A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | ウエハカセットの載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62120694A JPS63285948A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | ウエハカセットの載置台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63285948A true JPS63285948A (ja) | 1988-11-22 |
Family
ID=14792657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62120694A Pending JPS63285948A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | ウエハカセットの載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63285948A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0657053A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-01 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 遮光性フィルム |
| US5664926A (en) * | 1995-07-11 | 1997-09-09 | Progressive System Technologies, Inc. | Stage assembly for a substrate processing system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5933247B2 (ja) * | 1979-08-29 | 1984-08-14 | ティーディーケイ株式会社 | 積層複合部品 |
| JPS622533B2 (ja) * | 1982-02-10 | 1987-01-20 | Uni Charm Corp |
-
1987
- 1987-05-18 JP JP62120694A patent/JPS63285948A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5933247B2 (ja) * | 1979-08-29 | 1984-08-14 | ティーディーケイ株式会社 | 積層複合部品 |
| JPS622533B2 (ja) * | 1982-02-10 | 1987-01-20 | Uni Charm Corp |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0657053A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-01 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 遮光性フィルム |
| US5664926A (en) * | 1995-07-11 | 1997-09-09 | Progressive System Technologies, Inc. | Stage assembly for a substrate processing system |
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