JPS63307347A - 絶対湿度センサ - Google Patents
絶対湿度センサInfo
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- JPS63307347A JPS63307347A JP14215987A JP14215987A JPS63307347A JP S63307347 A JPS63307347 A JP S63307347A JP 14215987 A JP14215987 A JP 14215987A JP 14215987 A JP14215987 A JP 14215987A JP S63307347 A JPS63307347 A JP S63307347A
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Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、絶対湿度センサに関する。更に詳しくは、感
湿素子温度を一定に保持せしめることにより、空気中の
絶対湿度を測定し得る湿度センサに関する。
湿素子温度を一定に保持せしめることにより、空気中の
絶対湿度を測定し得る湿度センサに関する。
湿度センサは、一般に温度依存性を有するため、温度補
償を行なう必要がある。例えば、セラミックスタイプの
湿度センサでは、それの温度依存性を表わすβ定数が約
２０００〜４０００であり、高分子タイプの湿度センサ
では、このβ定数が約４０００〜６０００ときわめて大
きい。
償を行なう必要がある。例えば、セラミックスタイプの
湿度センサでは、それの温度依存性を表わすβ定数が約
２０００〜４０００であり、高分子タイプの湿度センサ
では、このβ定数が約４０００〜６０００ときわめて大
きい。
このため、十分な温度補償ができなければ精度が悪くな
り、十分な温度補償を行うためには１回路が複雑で高価
になるという欠点を避けることができなかった。
り、十分な温度補償を行うためには１回路が複雑で高価
になるという欠点を避けることができなかった。
そこで本発明者は、感湿素子自体の温度を一定に保持せ
しめることにより、温度補償を必要とはしないで、空気
中の絶対湿度を測定し得る方法を検討し、絶縁性基板の
裏面側に金ａ薄膜よりなるヒーターを設けることにより
、かかる課題の解決を図った。
しめることにより、温度補償を必要とはしないで、空気
中の絶対湿度を測定し得る方法を検討し、絶縁性基板の
裏面側に金ａ薄膜よりなるヒーターを設けることにより
、かかる課題の解決を図った。
従って１本発明は絶対湿度センサに係り、この絶対湿度
センサは、表面側に電極部分を覆うプラズマ重合感湿薄
膜を形成させた絶縁性基板の裏面側に、金属薄膜よりな
るヒーターを設け、感湿素子自体の温度を一定に保持せ
しめるように構成される。
センサは、表面側に電極部分を覆うプラズマ重合感湿薄
膜を形成させた絶縁性基板の裏面側に、金属薄膜よりな
るヒーターを設け、感湿素子自体の温度を一定に保持せ
しめるように構成される。
かかる絶対湿度センサの一態様が第１図に示されており
、アルミナ基板、石英基板、ガラスプレートなどの絶縁
性基板１の表面側（ａ）に金／クロム（約１００〜１０
０００人／約１００〜１０００人）くシ形電極２が形成
されており、そのくし形部分にはプラズマ重合感湿薄膜
３が被覆されており、また基板裏面側（ｂ）には、金／
クロム電極４，４′に接続された同材質の薄膜ヒーター
５が設けられている。
、アルミナ基板、石英基板、ガラスプレートなどの絶縁
性基板１の表面側（ａ）に金／クロム（約１００〜１０
０００人／約１００〜１０００人）くシ形電極２が形成
されており、そのくし形部分にはプラズマ重合感湿薄膜
３が被覆されており、また基板裏面側（ｂ）には、金／
クロム電極４，４′に接続された同材質の薄膜ヒーター
５が設けられている。
感湿薄膜を形成するプラズマ重合膜としては、塩素含有
高分子、好ましくは塩化ビニリデンのプラズマ重合膜（
特開昭６１−２９０３５１号公報）、ビス（トリメチル
シリル）アセトアミドのプラズマ重合［（特開昭６２−
４９２５０号公報）、含窒素有機けい素化合物とハロゲ
ン化炭化水素との混合物プラズマ重合膜（特願昭６１−
７４４８５号）、含窒素有機けい素化合物とハロゲン化
シランとの混合物プラズマ重合膜（特願昭６１−９８３
１８号）、有機アミン化合物とハロゲン化炭化水素また
はハロゲン化シランとの混合物プラズマ重合膜（特願昭
６１−１０４６７８号）あるいは含窒素有機けい素化合
物のプラズマ重合膜をハロゲン化アルキルで表面処理し
たもの（特願昭６０−２２０３２８号）などが用いられ
る。
高分子、好ましくは塩化ビニリデンのプラズマ重合膜（
特開昭６１−２９０３５１号公報）、ビス（トリメチル
シリル）アセトアミドのプラズマ重合［（特開昭６２−
４９２５０号公報）、含窒素有機けい素化合物とハロゲ
ン化炭化水素との混合物プラズマ重合膜（特願昭６１−
７４４８５号）、含窒素有機けい素化合物とハロゲン化
シランとの混合物プラズマ重合膜（特願昭６１−９８３
１８号）、有機アミン化合物とハロゲン化炭化水素また
はハロゲン化シランとの混合物プラズマ重合膜（特願昭
６１−１０４６７８号）あるいは含窒素有機けい素化合
物のプラズマ重合膜をハロゲン化アルキルで表面処理し
たもの（特願昭６０−２２０３２８号）などが用いられ
る。
このようにして構成される絶対湿度センサは、例えば第
２図に示されるような態様でセンサヘッドに取付けられ
、即ちくし形電極２の端子部分６． ６′に電極用
端子７，７′が、また薄膜ヒーター５の電極部分４，４
′にヒーター用端子８，８′がそれぞれ結線されて用い
られる。
２図に示されるような態様でセンサヘッドに取付けられ
、即ちくし形電極２の端子部分６． ６′に電極用
端子７，７′が、また薄膜ヒーター５の電極部分４，４
′にヒーター用端子８，８′がそれぞれ結線されて用い
られる。
かかる絶対湿度センサを用いての測定は、薄膜ヒーター
自体の抵抗値で温度検出および通電することにより、素
子温度を一定に保持しながら、それ以下の温度の外気に
ついて行われ、絶対湿度と素子抵抗値との関係がそこに
求められる。
自体の抵抗値で温度検出および通電することにより、素
子温度を一定に保持しながら、それ以下の温度の外気に
ついて行われ、絶対湿度と素子抵抗値との関係がそこに
求められる。
第３図のグラフに示された結果は、第１図の絶対湿度セ
ンサにおいて、感湿薄膜としてビスジメチルアミノジメ
チルシラン（０，０６Ｔｏｒｒ）と臭化メチレン（０，
０２Ｔｏｒｒ）との混合物プラズマ重合膜（膜厚５００
０人）を形成させたものについて、素子温度を４０℃、
３０℃、２０℃または１０℃の一定温度に保持しながら
、それ以下の温度についての測定結果を示すものであり
、外気温度は通常４０℃以下であるので、素子温度を４
０℃の一定温度として測定を行なえば、絶対温度約１５
〜４５ｇ ／ ｍの範囲内で精度の良い測定が行なわれ
、外気温度の影響を受けないことが分る。
ンサにおいて、感湿薄膜としてビスジメチルアミノジメ
チルシラン（０，０６Ｔｏｒｒ）と臭化メチレン（０，
０２Ｔｏｒｒ）との混合物プラズマ重合膜（膜厚５００
０人）を形成させたものについて、素子温度を４０℃、
３０℃、２０℃または１０℃の一定温度に保持しながら
、それ以下の温度についての測定結果を示すものであり
、外気温度は通常４０℃以下であるので、素子温度を４
０℃の一定温度として測定を行なえば、絶対温度約１５
〜４５ｇ ／ ｍの範囲内で精度の良い測定が行なわれ
、外気温度の影響を受けないことが分る。
絶縁性基板上に電極部分およびプラズマ重合感湿薄膜を
順次形成させた湿度センサにおいて、絶縁性基板の裏面
側に金属薄膜よりなるヒーターを設けて直接素子温度を
制御し、これを一定に保持せしめることにより、外気温
度の影響を受けることなく、しかも迅速に絶対湿度を検
知し、測定することができる。
順次形成させた湿度センサにおいて、絶縁性基板の裏面
側に金属薄膜よりなるヒーターを設けて直接素子温度を
制御し、これを一定に保持せしめることにより、外気温
度の影響を受けることなく、しかも迅速に絶対湿度を検
知し、測定することができる。
第１図は１本発明に係る絶対湿度センサの一態様を示す
表面図（ａ）および裏面図（ｂ）であり、第２図はこの
絶対湿度センサを用いたセンサヘッドの斜視図である。 また、第３図は一定の素子温度における絶対湿度と素子
抵抗値との関係を示すグラフである。 （符号の説明） １・・・・・絶縁性基板 ２・・・・・くし形電極 ３・・・・・プラズマ重合薄膜 ５・・・・・薄膜ヒーター
表面図（ａ）および裏面図（ｂ）であり、第２図はこの
絶対湿度センサを用いたセンサヘッドの斜視図である。 また、第３図は一定の素子温度における絶対湿度と素子
抵抗値との関係を示すグラフである。 （符号の説明） １・・・・・絶縁性基板 ２・・・・・くし形電極 ３・・・・・プラズマ重合薄膜 ５・・・・・薄膜ヒーター
Claims (2)
- １．表面側に電極部分を覆うプラズマ重合感湿薄膜を形
成させた絶縁性基板の裏面側に、金属薄膜よりなるヒー
ターを設け、感湿素子自体の温度を一定に保持せしめる
ようにした絶対湿度センサ。 - ２．ヒーターが金／クロム積層薄膜よりなる特許請求の
範囲第１項記載の絶対湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14215987A JPS63307347A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 絶対湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14215987A JPS63307347A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 絶対湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63307347A true JPS63307347A (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=15308734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14215987A Pending JPS63307347A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | 絶対湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63307347A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0599877A (ja) * | 1991-06-25 | 1993-04-23 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 感湿装置 |
| DE19917717A1 (de) * | 1999-04-20 | 2000-11-23 | Joerg Mueller | Kapazitiver Feuchtesensor |
| KR100486496B1 (ko) * | 2002-05-23 | 2005-04-29 | 엘지전자 주식회사 | 박막형 습도센서 및 그 제조방법 |
| US10175133B2 (en) | 2013-06-07 | 2019-01-08 | Entegris, Inc. | Sensor with protective layer |
| EP4417968A1 (en) * | 2023-02-17 | 2024-08-21 | TE Connectivity Sensors France | Humidity sensor |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS589054A (ja) * | 1981-07-10 | 1983-01-19 | Hitachi Ltd | 湿度検出装置 |
| JPS5837554B2 (ja) * | 1974-03-04 | 1983-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置 |
| JPS6142122U (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-18 | キンセキ株式会社 | 圧電体 |
| JPS6193945A (ja) * | 1984-10-13 | 1986-05-12 | Nippon Denso Co Ltd | 窒素酸化物検出素子 |
| JPS61117444A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-04 | Hitachi Ltd | ガス検知素子 |
-
1987
- 1987-06-09 JP JP14215987A patent/JPS63307347A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5837554B2 (ja) * | 1974-03-04 | 1983-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置 |
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| DE19917717A1 (de) * | 1999-04-20 | 2000-11-23 | Joerg Mueller | Kapazitiver Feuchtesensor |
| DE19917717C2 (de) * | 1999-04-20 | 2002-10-17 | Joerg Mueller | Kapazitiver Feuchtesensor |
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| US10175133B2 (en) | 2013-06-07 | 2019-01-08 | Entegris, Inc. | Sensor with protective layer |
| EP4417968A1 (en) * | 2023-02-17 | 2024-08-21 | TE Connectivity Sensors France | Humidity sensor |
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