JPS63309527A - 新規ポリシラザン及びその製造方法 - Google Patents
新規ポリシラザン及びその製造方法Info
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- JPS63309527A JPS63309527A JP62146658A JP14665887A JPS63309527A JP S63309527 A JPS63309527 A JP S63309527A JP 62146658 A JP62146658 A JP 62146658A JP 14665887 A JP14665887 A JP 14665887A JP S63309527 A JPS63309527 A JP S63309527A
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- C08G77/62—Nitrogen atoms
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、Ｓｉ、Ｎ４／ＳｉＣセラミツクス製造に有用
な新規ポリシラザン、該ポリシラザンから製造される成
形品、およびこの様なポリシラザンを製造し、これを熱
分解してセラミック材料とする製造方法に関するもので
ある。
な新規ポリシラザン、該ポリシラザンから製造される成
形品、およびこの様なポリシラザンを製造し、これを熱
分解してセラミック材料とする製造方法に関するもので
ある。
［従来技術及び発明が解決しようとする問題点コ今日、
窒化珪素、炭化珪素およびこれらの混合物がセラミック
材料として大いに注目されており、主鎖が窒素と珪素と
から成るポリシラザンを熱分解してこのようなセラミッ
ク材料を作る方法が特にセラミック繊維等を作る手段と
して研究されている。そこで従来、特開昭６０−２２６
８９０号公報に示されるように、無水アンモニアをＲ８
１ＨＸ、と溶液中で反応させ、これによって環状または
直鎖状の先駆体を形成させ、この先駆体を珪素原子に隣
接する窒素原子から水素を脱プロトン化する能力のある
塩基性触媒の存在下において反応させて、Ｓｉ、Ｎ、橋
を形成させることにより有機シラザン重合体を製造する
ものが知られている。これは例えば、メチルジクロルシ
ランをジエチルエーテル中で冷却しつつアンモニアガス
を吹き込んでアンモノリシスさせ、生成する塩化アンモ
ニウム沈殿を濾過し、濾液を減圧下にてエーテルを留去
して。
窒化珪素、炭化珪素およびこれらの混合物がセラミック
材料として大いに注目されており、主鎖が窒素と珪素と
から成るポリシラザンを熱分解してこのようなセラミッ
ク材料を作る方法が特にセラミック繊維等を作る手段と
して研究されている。そこで従来、特開昭６０−２２６
８９０号公報に示されるように、無水アンモニアをＲ８
１ＨＸ、と溶液中で反応させ、これによって環状または
直鎖状の先駆体を形成させ、この先駆体を珪素原子に隣
接する窒素原子から水素を脱プロトン化する能力のある
塩基性触媒の存在下において反応させて、Ｓｉ、Ｎ、橋
を形成させることにより有機シラザン重合体を製造する
ものが知られている。これは例えば、メチルジクロルシ
ランをジエチルエーテル中で冷却しつつアンモニアガス
を吹き込んでアンモノリシスさせ、生成する塩化アンモ
ニウム沈殿を濾過し、濾液を減圧下にてエーテルを留去
して。
式：
の骨格構造の繰返しで表される先駆体を得る。そしてこ
のものは、分子量が約３００程度であることから、骨格
構造の繰返しが５の環状化合物であると考えられるが、
この先駆体を、水素化カリウム（ＫＨ）を懸濁撹拌して
いるテトラヒドロフラン溶液中に滴下すると、水素ガス
を発生しつつ重合が起こる。この機構は１発明者である
セイファース（Ｓｅｙｆｅｒｔｈ ）らによると。
のものは、分子量が約３００程度であることから、骨格
構造の繰返しが５の環状化合物であると考えられるが、
この先駆体を、水素化カリウム（ＫＨ）を懸濁撹拌して
いるテトラヒドロフラン溶液中に滴下すると、水素ガス
を発生しつつ重合が起こる。この機構は１発明者である
セイファース（Ｓｅｙｆｅｒｔｈ ）らによると。
Ｋ・
の反応で先ずアミド官能基が生成し、次いでこの様な官
能基の一対が結合して４員のＳｉ、Ｎ、環が形成され金
属水素化物が再生される、 −５ｉ−Ｈ＋ ｅ：Ｎ Ｋ・ →−３ｉ−Ｎ ＋２
ＫＨの反応が終了後、ヨウ化メチル（ＣＨｌＩ）を反応
系に加えると、アミド官能基がヨウ化メチルと反応して
ヨウ化カリウムの沈殿が生じ、１
１ ！ ）（ＨＣＨ。
能基の一対が結合して４員のＳｉ、Ｎ、環が形成され金
属水素化物が再生される、 −５ｉ−Ｈ＋ ｅ：Ｎ Ｋ・ →−３ｉ−Ｎ ＋２
ＫＨの反応が終了後、ヨウ化メチル（ＣＨｌＩ）を反応
系に加えると、アミド官能基がヨウ化メチルと反応して
ヨウ化カリウムの沈殿が生じ、１
１ ！ ）（ＨＣＨ。
ヨウ化カリウムを遠心分離で除去し、溶媒を留去すると
白色粉末状のポリマーが得られる。このポリマーは、プ
ロトン型ＮＭＲおよび元素分析の結果から、 （ＣＨｓＳｉＨＮＨ）ｏ ３ｓ（Ｃ１（ａｓｉＨＮｃＨ
ｓ）＋ Ｒ４（ＣＨｓＳｉＮ）ｏ ｓ７の組成をもつこ
とが判明した。このことはほぼ次のようなモデルで表さ
れることを意味している。
白色粉末状のポリマーが得られる。このポリマーは、プ
ロトン型ＮＭＲおよび元素分析の結果から、 （ＣＨｓＳｉＨＮＨ）ｏ ３ｓ（Ｃ１（ａｓｉＨＮｃＨ
ｓ）＋ Ｒ４（ＣＨｓＳｉＮ）ｏ ｓ７の組成をもつこ
とが判明した。このことはほぼ次のようなモデルで表さ
れることを意味している。
しかるにこのプロセスでは、先駆体を金属水素化物を触
媒として重合させる場合、過度に架橋反応が進んで不溶
化してゼリー状にゲル化してしまうことがあり、分子量
のコントロールが難しく再現性に乏しい詐りでなく、得
られるポリマーは不安定で、経時的に架橋が進み、不溶
化するので保存性に乏しく、さらに重合反応を例えばテ
トラヒドロフラン還流温（６６℃）で行うと、極短時間
でゲル化してしまうので、低温（３０℃以下）で注意不
覚行う必要があり、望ましい分子量を得るのに長時間を
要するなどの問題点がある。
媒として重合させる場合、過度に架橋反応が進んで不溶
化してゼリー状にゲル化してしまうことがあり、分子量
のコントロールが難しく再現性に乏しい詐りでなく、得
られるポリマーは不安定で、経時的に架橋が進み、不溶
化するので保存性に乏しく、さらに重合反応を例えばテ
トラヒドロフラン還流温（６６℃）で行うと、極短時間
でゲル化してしまうので、低温（３０℃以下）で注意不
覚行う必要があり、望ましい分子量を得るのに長時間を
要するなどの問題点がある。
゛［問題を解決するための手段］
本発明の発明者らは、これらの問題点を解決することを
目的として鋭意研究を行った結果、先行技術では先駆体
中の架橋反応点が多すぎるため前述した問題点が生じる
ものであり、そこでこれを適当な手段で制限することに
より目的を達し得ることを知り１本発明を完成した。
目的として鋭意研究を行った結果、先行技術では先駆体
中の架橋反応点が多すぎるため前述した問題点が生じる
ものであり、そこでこれを適当な手段で制限することに
より目的を達し得ることを知り１本発明を完成した。
即ち、第一の発明は、式：
％式％
の繰返し単位からなる骨格構造を有し１式：Ｈ
なン単位を有する複数の先駆体残基が、一部は式：なる
構造単位となり、一部は式： 葛 −Ｎ−３ｔ−Ｒ。
構造単位となり、一部は式： 葛 −Ｎ−３ｔ−Ｒ。
なる構造単位により互いに連結していることを特徴とす
る新規のポリシラザンである。
る新規のポリシラザンである。
また、このポリシラザンの製造方法である第二の発明は
、無水アンモニアを、オルガノジハロシランＲ１５ｉＨ
Ｘ、と溶液中で反応させて環状または直鎖状のシラザン
先駆体を形成させ、該先駆体混合物に対し、式： で表されるシラザンまたはシリルアミン化合物を先駆体
中に共存させつつ、珪素原子に隣接する窒素原子から水
素を脱プロトン化する能力のある塩基性触媒の存在下で
反応させ、脱水素環化架橋せしめることにより高分子量
化することを特徴とするものである。
、無水アンモニアを、オルガノジハロシランＲ１５ｉＨ
Ｘ、と溶液中で反応させて環状または直鎖状のシラザン
先駆体を形成させ、該先駆体混合物に対し、式： で表されるシラザンまたはシリルアミン化合物を先駆体
中に共存させつつ、珪素原子に隣接する窒素原子から水
素を脱プロトン化する能力のある塩基性触媒の存在下で
反応させ、脱水素環化架橋せしめることにより高分子量
化することを特徴とするものである。
そして各式中、ＲいＲｓ、Ｒ，、Ｒ，は、水素（但し、
水素はＲ１の場合のみ含むことができ、ＲいＲ１、Ｒ４
は含まない。以下同じ、）、メチル基、エチル基、ｎ−
プロピル基、イソプロピル基等の１から６個までの炭素
原子を有する低級アルキル基、置換または非置換のビニ
ル基、置換または非置換のアリル基、フェニル基、トリ
ル基、キシリル基等の６から１０個までの炭素原子を有
する置換または非置換の低級アリール基、トリメチル−
、ジメチル−、メチルエチル−、トリエチル−シリル基
等のトリ（低級）アルキル−またはジ（低級）アルキル
シリル基、若しくはジメチノＣ−、ジエチル−、メチル
エチル−、ジイソプロピル−アミノ基等のジ（低級）ア
ルキルアミノ基であって、しかもＲ□、Ｒ，、Ｒ，、Ｒ
６は同じでも異なっていても良いものである。また、又
は塩素、臭素等のハロゲンである。
水素はＲ１の場合のみ含むことができ、ＲいＲ１、Ｒ４
は含まない。以下同じ、）、メチル基、エチル基、ｎ−
プロピル基、イソプロピル基等の１から６個までの炭素
原子を有する低級アルキル基、置換または非置換のビニ
ル基、置換または非置換のアリル基、フェニル基、トリ
ル基、キシリル基等の６から１０個までの炭素原子を有
する置換または非置換の低級アリール基、トリメチル−
、ジメチル−、メチルエチル−、トリエチル−シリル基
等のトリ（低級）アルキル−またはジ（低級）アルキル
シリル基、若しくはジメチノＣ−、ジエチル−、メチル
エチル−、ジイソプロピル−アミノ基等のジ（低級）ア
ルキルアミノ基であって、しかもＲ□、Ｒ，、Ｒ，、Ｒ
６は同じでも異なっていても良いものである。また、又
は塩素、臭素等のハロゲンである。
さらに先駆体の珪素原子に隣接する窒素原子から水素を
脱プロトン化する能力のある塩基としては１例えば水素
化カリウム、水素化ナトリウム、あるいはリチウムアル
ミニウムハイドライド（ＬｉＡｌＨ４）等の様な金属水
素化物、リチウム、ナトリウム、カリウム等の金属など
が挙げられる。
脱プロトン化する能力のある塩基としては１例えば水素
化カリウム、水素化ナトリウム、あるいはリチウムアル
ミニウムハイドライド（ＬｉＡｌＨ４）等の様な金属水
素化物、リチウム、ナトリウム、カリウム等の金属など
が挙げられる。
そして本発明の新規ポリシラザンは１式：なる単位を有
する複数の先駆体残基が、一部は式：Ｒ４−Ｎ−８ｉ−
Ｒ，（Ｂ） Ｒ３ なる構造単位となり、一部は式： ％式％（） なる構造単位により互いに連結していることが必要であ
るが、その割合は、（Ｂ）の含有量が１〜６０モル％の
範囲であることが好ましい。
する複数の先駆体残基が、一部は式：Ｒ４−Ｎ−８ｉ−
Ｒ，（Ｂ） Ｒ３ なる構造単位となり、一部は式： ％式％（） なる構造単位により互いに連結していることが必要であ
るが、その割合は、（Ｂ）の含有量が１〜６０モル％の
範囲であることが好ましい。
［効果］
そして本発明のポリシラザンは、
（１）シラザンまたはシリルアミン化合物の共存比を変
化させることによりほぼ一義的にポリマーの分子量を決
定できる。
化させることによりほぼ一義的にポリマーの分子量を決
定できる。
（２）反応後の経時変化は殆どなく、そしてポリマーは
、ゲル化することのない状態で長期間保存することがで
きる。
、ゲル化することのない状態で長期間保存することがで
きる。
（３）例えばテトラヒドロフランの還流温度で重合させ
てもゲル化することがなく、従って重合時間を短縮でき
る。
てもゲル化することがなく、従って重合時間を短縮でき
る。
という効果を有している。
本発明の新規ポリシラザンが上述の効果を生み出す理由
は１次の様に推考される。つまり、先行技術の例として
メチルジクロロシランのアンモノリシスによる先駆体の
場合を考えると、前述したように、先駆体は１式： ％式％ の構造単位の約５個よりなる環状体であって、架橋反応
点は５である。従ってこれらが全て反応するとすれば、
三次元的に網目状に架橋したポリマーとなり、不溶ゲル
となる。最も理想的には反応点が２であって、それが架
橋連結して直鎖状ポリマーとなれば可溶性を保ちながら
紡糸に適した高分子量が得られるはずである。しかも反
応点は。
は１次の様に推考される。つまり、先行技術の例として
メチルジクロロシランのアンモノリシスによる先駆体の
場合を考えると、前述したように、先駆体は１式： ％式％ の構造単位の約５個よりなる環状体であって、架橋反応
点は５である。従ってこれらが全て反応するとすれば、
三次元的に網目状に架橋したポリマーとなり、不溶ゲル
となる。最も理想的には反応点が２であって、それが架
橋連結して直鎖状ポリマーとなれば可溶性を保ちながら
紡糸に適した高分子量が得られるはずである。しかも反
応点は。
隣合った珪素原子と窒素原子にそれぞれ水素が結合して
いることが必須の要件となる。そして例えばメチルジク
ロロシランにより生成した先駆体を脱プトン化により重
合させる場合に、先駆体残基である式： の単位の一部を、テトラメチルジシラザン（ＴＭＤＳ）
： ＣＨ，ＣＨ。
いることが必須の要件となる。そして例えばメチルジク
ロロシランにより生成した先駆体を脱プトン化により重
合させる場合に、先駆体残基である式： の単位の一部を、テトラメチルジシラザン（ＴＭＤＳ）
： ＣＨ，ＣＨ。
ＨＨ
で反応させて、反応点と成り得ない１式：％式％
の単位のものを骨格構造に入れ、かくしてＴＭＤＳの添
加量によって反応点をコントロール出来ることになり、
本発明の効果を生み出すものと推考できる。
加量によって反応点をコントロール出来ることになり、
本発明の効果を生み出すものと推考できる。
次に１本発明の実施例を、比較例と共に説明する。
［実施例１］
予備工程：ＩＱの四つロフラスコに撹拌機、ガス吹込み
管、ドライアイスコンデンサーおよび温度計をセットし
、系内を充分乾燥させ、窒素ガスに置換後、リチウムア
ルミニウムハイドライド（ＬｉＡ１ｆｌＪ存在下で、新
たに蒸溜精製したテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）をｓｏ
ｏｍＩＱ入れ１次いでメチルジクロロシラン１１５ ｇ
（１モル）を加えて均一溶液とし、撹拌下、液温を３
５℃に保ちながら、水酸化ナトリウム塔を通して乾燥し
たアンモニアガスを３−７分の速度で吹き込む、そして
５時間後（アンモニア３．９モル）アンモニアガスの吹
き込みを停止し、−晩撹拌を続け、過剰のアンモニアを
追い出す、生成した塩化アンモニウムの沈殿を濾過後、
濾液からＴＨＦを留去し、シラザンオリゴマー先駆体を
５３ｇ（収率９０％）得た。このもののＧＰＣで求めた
数平均分子量（Ｋｎ）は３３０で、式：においての繰返
し単位ｎはほぼ５．６であった。
管、ドライアイスコンデンサーおよび温度計をセットし
、系内を充分乾燥させ、窒素ガスに置換後、リチウムア
ルミニウムハイドライド（ＬｉＡ１ｆｌＪ存在下で、新
たに蒸溜精製したテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）をｓｏ
ｏｍＩＱ入れ１次いでメチルジクロロシラン１１５ ｇ
（１モル）を加えて均一溶液とし、撹拌下、液温を３
５℃に保ちながら、水酸化ナトリウム塔を通して乾燥し
たアンモニアガスを３−７分の速度で吹き込む、そして
５時間後（アンモニア３．９モル）アンモニアガスの吹
き込みを停止し、−晩撹拌を続け、過剰のアンモニアを
追い出す、生成した塩化アンモニウムの沈殿を濾過後、
濾液からＴＨＦを留去し、シラザンオリゴマー先駆体を
５３ｇ（収率９０％）得た。このもののＧＰＣで求めた
数平均分子量（Ｋｎ）は３３０で、式：においての繰返
し単位ｎはほぼ５．６であった。
本工程： ５００ｄの三ロフラスコに撹拌機１滴下ロ
ート、コンデンサーをセットし、水素化カリウム（ＫＨ
）を１００■（２，５ミリモル）入れ、系内を充分乾燥
し、窒素ガスで置換後、リチウムアルミニウムハイドラ
イド存在下に新たに蒸溜精製したテトラヒドロフラン（
ＴＨＦ）を２００ｍＩ！加え、撹拌懸濁させる。そして
第一工程で得られたシラザンオリゴマー先駆体１１．８
ｇ （＞５ｉＨ−ＮＨ−の単位で０．２モル）と下表に
示す所定量のテトラメチルジシラザンをＴＨＦ４０−に
溶解したものを滴下ロートに入れ、液温３０℃に保ちつ
つ約３０分で滴下後、水素ガスの発生が止んでから２０
時間撹拌を続けたのち、反応液をサンプリングしてＧＰ
Ｃで分子量を測定した。またこれらのあるものについて
は更に液温をＴＨＦ沸点（６６℃）に上げてリフラック
ス（還流）させ、ゲル化傾向について観測し、その結果
を次表に示す。
ート、コンデンサーをセットし、水素化カリウム（ＫＨ
）を１００■（２，５ミリモル）入れ、系内を充分乾燥
し、窒素ガスで置換後、リチウムアルミニウムハイドラ
イド存在下に新たに蒸溜精製したテトラヒドロフラン（
ＴＨＦ）を２００ｍＩ！加え、撹拌懸濁させる。そして
第一工程で得られたシラザンオリゴマー先駆体１１．８
ｇ （＞５ｉＨ−ＮＨ−の単位で０．２モル）と下表に
示す所定量のテトラメチルジシラザンをＴＨＦ４０−に
溶解したものを滴下ロートに入れ、液温３０℃に保ちつ
つ約３０分で滴下後、水素ガスの発生が止んでから２０
時間撹拌を続けたのち、反応液をサンプリングしてＧＰ
Ｃで分子量を測定した。またこれらのあるものについて
は更に液温をＴＨＦ沸点（６６℃）に上げてリフラック
ス（還流）させ、ゲル化傾向について観測し、その結果
を次表に示す。
（本頁、以下余白）
［紡糸の実施例］
上表の各ポリシラザンをヨウ化メチルによりクエンチン
グ処理をして室温で３０日間保存したところ、その何れ
も数平均分子量Ｍｎに変化は認められなかった。また＆
５のポリシラザン（ＭｎＳ５００）を紡糸したところ、
容易にグリーン繊維が得られ、このポリシラザンが極め
て優れた紡糸性能を有していることがわかった。
グ処理をして室温で３０日間保存したところ、その何れ
も数平均分子量Ｍｎに変化は認められなかった。また＆
５のポリシラザン（ＭｎＳ５００）を紡糸したところ、
容易にグリーン繊維が得られ、このポリシラザンが極め
て優れた紡糸性能を有していることがわかった。
［実施例２］
前記実施例１の第一工程で生成したシラザンオリゴマー
先駆体１５ｇ （０，２５モル）をＴＨＦ５（ｌａＱに
溶かし、ＫＨ１５０■（３，７ミリモル）を含むＴＨＦ
溶液の２００−中に滴下する。そして３時間後、数平均
分子量Ｍｎが１７９０に達したが、これにＴＭＤＳを７
ｇ（５０ミリモル）加え、３０℃で撹拌を続け、添加２
１時間後、数平均分子量Ｍｎが２４００のポリマーを得
た。この反応において、ＴＭＤＳの消費量はガスクロマ
トグラフィによる測定で、添加１時間後では４０％、２
１時間後では８３％であった。
先駆体１５ｇ （０，２５モル）をＴＨＦ５（ｌａＱに
溶かし、ＫＨ１５０■（３，７ミリモル）を含むＴＨＦ
溶液の２００−中に滴下する。そして３時間後、数平均
分子量Ｍｎが１７９０に達したが、これにＴＭＤＳを７
ｇ（５０ミリモル）加え、３０℃で撹拌を続け、添加２
１時間後、数平均分子量Ｍｎが２４００のポリマーを得
た。この反応において、ＴＭＤＳの消費量はガスクロマ
トグラフィによる測定で、添加１時間後では４０％、２
１時間後では８３％であった。
さらに液温をＴＨＦの沸点（６６℃）まで上げて２０時
間還流したものの数平均分子量Ｍｎは２６００でゲル化
は全く見られなかった。これを紡糸したところ、容易に
グリーン繊維が得られ、紡糸性能に優れてたポリシラザ
ンであることが確認された。
間還流したものの数平均分子量Ｍｎは２６００でゲル化
は全く見られなかった。これを紡糸したところ、容易に
グリーン繊維が得られ、紡糸性能に優れてたポリシラザ
ンであることが確認された。
［実施例３］
前記実施例１の第一高低で作ったシラザンオリゴマー先
駆体１１．８ｇ （＞５ｉＨ−ＮＨ−）単位テ０．２モ
ル）とジフェニルシリルフェニルアミンの９．２ｇ（０
，０３３５モル）をＴＨＦ４０ｍＦＱに溶かし、水素化
カリラム１５０■（３，７＋ｍモル）を含むＴＨＦ溶液
の２００１１Ｑ中に滴下する。１時間後、数平均分子量
Ｍｎは８５０に達し、さらに４５時間撹拌した後も、数
平均分子量Ｍｎの変化は認められなかった。そしてジフ
ェニルシリルフェニルアミンの消費量は、ガスクロマト
グラフィーを用いた測定によると、１時間後で９２％で
あった。
駆体１１．８ｇ （＞５ｉＨ−ＮＨ−）単位テ０．２モ
ル）とジフェニルシリルフェニルアミンの９．２ｇ（０
，０３３５モル）をＴＨＦ４０ｍＦＱに溶かし、水素化
カリラム１５０■（３，７＋ｍモル）を含むＴＨＦ溶液
の２００１１Ｑ中に滴下する。１時間後、数平均分子量
Ｍｎは８５０に達し、さらに４５時間撹拌した後も、数
平均分子量Ｍｎの変化は認められなかった。そしてジフ
ェニルシリルフェニルアミンの消費量は、ガスクロマト
グラフィーを用いた測定によると、１時間後で９２％で
あった。
［比較例］
実施例１の第一工程で作ったシラザンオリゴマー先駆体
のみを第二工程の方法に準じて３０℃で重合させると、
３時間後、数平均分子量Ｍｎは５０００となるが、その
まま反応させると１６時間抜ゲル化した。また３時間後
、ヨウ化メチルでクエンチングさせたものを室温で１０
日間保存し、紡糸しようとしたが、部分的に不溶物が生
成していて糸切れが頻発した。
のみを第二工程の方法に準じて３０℃で重合させると、
３時間後、数平均分子量Ｍｎは５０００となるが、その
まま反応させると１６時間抜ゲル化した。また３時間後
、ヨウ化メチルでクエンチングさせたものを室温で１０
日間保存し、紡糸しようとしたが、部分的に不溶物が生
成していて糸切れが頻発した。
手続補正書３．え、
昭和６２年０７月２８日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）式： ▲数式、化学式、表等があります▼ の繰返し単位からなる骨格構造を有し、式：▲数式、化
学式、表等があります▼（Ａ） なる単位を有する複数の先駆体残基が、一部は式：▲数
式、化学式、表等があります▼（Ｂ） なる構造単位となり、一部は式： ▲数式、化学式、表等があります▼ ［各式中、Ｒ＿１、Ｒ＿２、Ｒ＿３、Ｒ＿４は、水素（
但し、水素はＲ＿１のみ含むことができ、Ｒ＿２、Ｒ＿
３、Ｒ＿４は含まない。以下同じ。）、１から６個まで
の炭素原子を有する低級アルキル基、置換または非置換
のビニル基、置換または非置換のアリル基、６から１０
個までの炭素原子を有する置換または非置換の低級アリ
ール基、トリ（低級）アルキル−またはジ（低級）アル
キルシリル基、若しくはジ（低級）アルキルアミノ基で
あつて、Ｒ＿１、Ｒ＿２、Ｒ＿３、Ｒ＿４は同じでも異
なつていても良い。］なる構造単位により互いに連結し
ていることを特徴とするポリシラザン。 ２）前記ポリシラザン中、単位（Ｂ）の含有量が１〜６
０モル％であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のポリシラザン。 ３）無水アンモニアを、オルガノジハロシランＲ＿１Ｓ
ｉＨＸ＿２と溶液中で反応させて環状または直鎖状のシ
ラザン先駆体を形成させ、該先駆体混合物に対し、式： ▲数式、化学式、表等があります▼ ［各式中、Ｒ＿１、Ｒ＿２、Ｒ＿３、Ｒ＿４は、水素（
但し、水素はＲ＿１のみ含むことができ、Ｒ＿２、Ｒ＿
３、Ｒ＿４は含まない。以下同じ。）、１から６個まで
の炭素原子を有する低級アルキル基、置換または非置換
のビニル基、置換または非置換のアリル基、６から１０
個までの炭素原子を有する置換または非置換の低級アリ
ール基、トリ（低級）アルキル−またはジ（低級）アル
キルシリル基、若しくはジ（低級）アルキルアミノ基で
あつて、Ｒ＿１、Ｒ＿２、Ｒ＿３Ｒ＿４は同じでも異な
つていても良い。］で表されるシラザンまたはシリルア
ミン化合物を先駆体中に共存させつつ、珪素原子に隣接
する窒素原子から水素を脱プロトン化する能力のある塩
基性触媒の存在下で反応させ、脱水素環化架橋せしめる
ことにより高分子量化することを特徴とするポリシラザ
ンの製造方法。 ４）前記シラザンまたはシリルアミン化合物は、式： ▲数式、化学式、表等があります▼ なる単位当たり１〜６０モル％共存させたことを特徴と
する特許請求の範囲第３項記載のポリシラザンの製造方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62146658A JP2544928B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 新規ポリシラザン及びその製造方法 |
| DE3852150T DE3852150T2 (de) | 1987-06-12 | 1988-06-10 | Polysilazan und Verfahren zu dessen Herstellung. |
| EP88109318A EP0296433B1 (en) | 1987-06-12 | 1988-06-10 | New polysilazane and process for production of the same |
| US07/205,278 US4937304A (en) | 1987-06-12 | 1988-06-10 | New polysilazane and process for production of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62146658A JP2544928B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 新規ポリシラザン及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63309527A true JPS63309527A (ja) | 1988-12-16 |
| JP2544928B2 JP2544928B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=15412702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62146658A Expired - Lifetime JP2544928B2 (ja) | 1987-06-12 | 1987-06-12 | 新規ポリシラザン及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4937304A (ja) |
| EP (1) | EP0296433B1 (ja) |
| JP (1) | JP2544928B2 (ja) |
| DE (1) | DE3852150T2 (ja) |
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| US8766411B2 (en) | 2011-07-15 | 2014-07-01 | Cheil Industries, Inc. | Filler for filling a gap, method of preparing the same and method of manufacturing semiconductor capacitor using the same |
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| DE4114217A1 (de) * | 1991-05-01 | 1992-11-05 | Bayer Ag | Organische silazanpolymere, verfahren zu ihrer herstellung, sowie ein verfahren zur herstellung von keramikmaterialien daraus |
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| DE2834027A1 (de) * | 1978-08-03 | 1980-02-14 | Henkel Kgaa | Verfahren zur herstellung kondensationsfaehiger, filmbildender organosilazane |
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1987
- 1987-06-12 JP JP62146658A patent/JP2544928B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
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- 1988-06-10 EP EP88109318A patent/EP0296433B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0376183A1 (en) * | 1988-12-28 | 1990-07-04 | Chisso Corporation | Ceramic composition and method for producing the same |
| US8766411B2 (en) | 2011-07-15 | 2014-07-01 | Cheil Industries, Inc. | Filler for filling a gap, method of preparing the same and method of manufacturing semiconductor capacitor using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0296433B1 (en) | 1994-11-23 |
| DE3852150T2 (de) | 1995-05-04 |
| JP2544928B2 (ja) | 1996-10-16 |
| DE3852150D1 (de) | 1995-01-05 |
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| US4937304A (en) | 1990-06-26 |
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