JPS633143U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633143U JPS633143U JP9701186U JP9701186U JPS633143U JP S633143 U JPS633143 U JP S633143U JP 9701186 U JP9701186 U JP 9701186U JP 9701186 U JP9701186 U JP 9701186U JP S633143 U JPS633143 U JP S633143U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer section
- section
- semiconductor manufacturing
- gas
- manufacturing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの発明の一実施例による半導体製造
装置を示す断面図、第２図は従来の半導体製造装
置を示す断面図である。 １はウエハー移送部、２は半導体製造用ガス供
給部、３はヒーター部、４は回転ブラシ、５はガ
スノズル。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
装置を示す断面図、第２図は従来の半導体製造装
置を示す断面図である。 １はウエハー移送部、２は半導体製造用ガス供
給部、３はヒーター部、４は回転ブラシ、５はガ
スノズル。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- シリコンウエハーを移送する無限軌道状の移送
部と、この移送部の上部に半導体製造用ガスを供
給するガス供給部と、このガス供給部に対向する
前記移送部の内部に設けられ移送中の前記シリコ
ンウエハーを加熱するヒーター部と、前記移送部
の側部または下部に接して設けられた回転ブラシ
および前記移送部冷却用ガスノズルを備えた半導
体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9701186U JPS633143U (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9701186U JPS633143U (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS633143U true JPS633143U (ja) | 1988-01-11 |
Family
ID=30963476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9701186U Pending JPS633143U (ja) | 1986-06-24 | 1986-06-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS633143U (ja) |
-
1986
- 1986-06-24 JP JP9701186U patent/JPS633143U/ja active Pending