JPS63318046A - 電子線発生装置 - Google Patents
電子線発生装置Info
- Publication number
- JPS63318046A JPS63318046A JP62152756A JP15275687A JPS63318046A JP S63318046 A JPS63318046 A JP S63318046A JP 62152756 A JP62152756 A JP 62152756A JP 15275687 A JP15275687 A JP 15275687A JP S63318046 A JPS63318046 A JP S63318046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- electron gun
- gun chamber
- electron beam
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は超高真空を必要とする電子線発生装置の改良に
関する。
関する。
［従来技術］
近時、電子顕微鏡や電子線描画装置等に使用される電子
線発生装置としては、通常の熱電子放出型電子銃に比べ
て非常に高い輝度が得られることから陰極に１−ａ３６
を使用した電子銃や電界放出型電子銃が組込まれている
。
線発生装置としては、通常の熱電子放出型電子銃に比べ
て非常に高い輝度が得られることから陰極に１−ａ３６
を使用した電子銃や電界放出型電子銃が組込まれている
。
しかしながら、かかる電子銃の実用化にあたっては、電
子銃室内の圧力を例えば１ｏ−ｅ王ｏｒｒ程度以下の超
高真空に保つ必要がある。そのためには、電子銃室の内
壁から放出するガスをできるだけ少なくすることが必須
である。そのため、電子銃室外壁に加熱ヒータを巻き付
けることにより電子銃室側壁を例えば３００℃程度の高
温に加熱しながら電子銃室内を真空ポンプで排気する、
所謂焼き出しを行なう必要がある。
子銃室内の圧力を例えば１ｏ−ｅ王ｏｒｒ程度以下の超
高真空に保つ必要がある。そのためには、電子銃室の内
壁から放出するガスをできるだけ少なくすることが必須
である。そのため、電子銃室外壁に加熱ヒータを巻き付
けることにより電子銃室側壁を例えば３００℃程度の高
温に加熱しながら電子銃室内を真空ポンプで排気する、
所謂焼き出しを行なう必要がある。
このように焼き出し処理用の加熱ヒータを単に電子銃室
の外壁に巻き付ける構造では、この電子銃室側壁が非常
に大きな質量を有しているため、加熱に時間がかかり、
焼ぎ出しに数時間から数十時間かかる。
の外壁に巻き付ける構造では、この電子銃室側壁が非常
に大きな質量を有しているため、加熱に時間がかかり、
焼ぎ出しに数時間から数十時間かかる。
焼ぎ出し時間を短縮するためには、電子銃室側壁の厚さ
をできるだけ薄くシたり、ヒータを大型化することが考
えられる。
をできるだけ薄くシたり、ヒータを大型化することが考
えられる。
［発明が解決しようどする問題点１
しかしながら、電子銃室の側壁には大気圧が加わるため
、その厚さを薄くするのにも限界があるし、ヒータの大
型化にも消費電力や実用面で問題がある。従って、従来
は焼き出し時間を十分に短縮することができなかった。
、その厚さを薄くするのにも限界があるし、ヒータの大
型化にも消費電力や実用面で問題がある。従って、従来
は焼き出し時間を十分に短縮することができなかった。
そこで、本発明は簡単な構成を付加するだけで焼き出し
時間を大幅に短縮することのできる電子線発生装置を提
供することを目的とするものである。
時間を大幅に短縮することのできる電子線発生装置を提
供することを目的とするものである。
１問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明の電子線発生装置は
電子銃室内に置かれた電子線発生源を該電子銃室内壁と
該電子線発生源の間に配置される薄肉の筒状ケースで包
囲し、前記ケースの両端を前記電子銃室内壁に取り付け
ることにより該ケースと電子銃室間に気密に保たれた空
間を形成し、前記ケースを加熱する手段及び前記空間を
抽気する手段を設【プたことを特徴とするものである。
電子銃室内に置かれた電子線発生源を該電子銃室内壁と
該電子線発生源の間に配置される薄肉の筒状ケースで包
囲し、前記ケースの両端を前記電子銃室内壁に取り付け
ることにより該ケースと電子銃室間に気密に保たれた空
間を形成し、前記ケースを加熱する手段及び前記空間を
抽気する手段を設【プたことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
添附図面は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
図において、１は電子銃室で、集束レンズ２の上部に着
脱可能に載置されている。３は前記電子銃室１内の上部
に垂れ下がるように取り付けられた電子線発生源で、こ
の電子線発生源は電子銃室に固定された碍子４．この碍
子の下端に脱着可能に取り付けられた１ａ３６等の陰１
（図示せず）及びウェーネル１〜電ＶｉＡ５から成って
いる。６は前記陰極から発生した電子線を加速するため
の陽極で、前記集束レンズ１の上部に固定されている。
脱可能に載置されている。３は前記電子銃室１内の上部
に垂れ下がるように取り付けられた電子線発生源で、こ
の電子線発生源は電子銃室に固定された碍子４．この碍
子の下端に脱着可能に取り付けられた１ａ３６等の陰１
（図示せず）及びウェーネル１〜電ＶｉＡ５から成って
いる。６は前記陰極から発生した電子線を加速するため
の陽極で、前記集束レンズ１の上部に固定されている。
７は前記電子線発生源３を包囲するように置かれた例え
ばステンレスを薄肉状に形成した筒状のケースである。
ばステンレスを薄肉状に形成した筒状のケースである。
このケースは前記電子銃室１内壁から離した状態でその
上端部及び下端部が夫々電子銃室１内壁に溶接等により
固定され、それによってケースと電子銃室との間に気密
に保たれた空間８が形成される。また、このケース７の
内壁部は電界研磨等により鏡面仕上げされ、ケースと電
子線発生源間で放電が発生するのをできるだけ少 ｄ
− なくするようにしである。また、ケースの外周には加熱
ヒータ９が巻回されている。１ｏはこの加熱ヒータ９と
外部に置かれた加熱電源（図示せず）とを接続するため
のハーメチックシールである。
上端部及び下端部が夫々電子銃室１内壁に溶接等により
固定され、それによってケースと電子銃室との間に気密
に保たれた空間８が形成される。また、このケース７の
内壁部は電界研磨等により鏡面仕上げされ、ケースと電
子線発生源間で放電が発生するのをできるだけ少 ｄ
− なくするようにしである。また、ケースの外周には加熱
ヒータ９が巻回されている。１ｏはこの加熱ヒータ９と
外部に置かれた加熱電源（図示せず）とを接続するため
のハーメチックシールである。
１１は前記空間８内を図示外の油回転ポンプ等の真空ポ
ンプに接続するための排気管である。１２は前記電子線
発生源３とケース７との間に形成される空間１３内に連
通された排気管で、この排気管は図示外の弁の切換えに
より油拡散ポンプ、イオンポンプ等に接続される。
ンプに接続するための排気管である。１２は前記電子線
発生源３とケース７との間に形成される空間１３内に連
通された排気管で、この排気管は図示外の弁の切換えに
より油拡散ポンプ、イオンポンプ等に接続される。
尚、図示しないが前記空間１３内は粗引き系を構成する
油回転ポンプにも接続されている。
油回転ポンプにも接続されている。
かかる構成において、電子銃室１内を超高真空にするに
は、先ず、空間８及び１３内を真空ポンプで排気しなが
ら、所望時間にわたって加熱ヒータ９に通電することに
よりケース７を例えば３００℃程度の高温に加熱する、
つまり焼き出し処理を行なう。この焼き出し処理により
実質的に電子銃室の内壁となるケース７に吸蔵されたガ
スが放出されて排気される。この焼き出し処理が終了す
ると、空間１３内をイオンポンプが起動する圧力（例え
ば１０’ Ｔｏｒｒ程麿）まで排気する。このとき、前
記空間８内は油回転ポンプにより排気し、１Ｏ−２Ｔｏ
ｒｒ程度の圧力に保つ。そして、前記ケース７内がイオ
ンポンプが起動する圧力まで排気されると、イオンポン
プに切換えることにより空間１３内を超高真空に保つ。
は、先ず、空間８及び１３内を真空ポンプで排気しなが
ら、所望時間にわたって加熱ヒータ９に通電することに
よりケース７を例えば３００℃程度の高温に加熱する、
つまり焼き出し処理を行なう。この焼き出し処理により
実質的に電子銃室の内壁となるケース７に吸蔵されたガ
スが放出されて排気される。この焼き出し処理が終了す
ると、空間１３内をイオンポンプが起動する圧力（例え
ば１０’ Ｔｏｒｒ程麿）まで排気する。このとき、前
記空間８内は油回転ポンプにより排気し、１Ｏ−２Ｔｏ
ｒｒ程度の圧力に保つ。そして、前記ケース７内がイオ
ンポンプが起動する圧力まで排気されると、イオンポン
プに切換えることにより空間１３内を超高真空に保つ。
このようになせば、ケース７の内側と外側は真空に保た
れるため、このケースの両側の圧力差はほとんど無視す
ることができる。その結果、ケースの厚さを可能な限り
薄くすることができるため、加熱ヒータを大型化するこ
となく焼き出し処理の時間を大幅に短縮することができ
る。また、空間８内を真空に保つことによりケース７の
熱が電子銃室１側壁へ伝達されるのも少なくすることが
できるため、より一層ケースを効率良く加熱することが
できる。さらに、加熱ヒータ１０も真空中に置くことが
できるため、加熱ヒータの酸化を防止でき、加熱ヒータ
の寿命を長くすることができる。
れるため、このケースの両側の圧力差はほとんど無視す
ることができる。その結果、ケースの厚さを可能な限り
薄くすることができるため、加熱ヒータを大型化するこ
となく焼き出し処理の時間を大幅に短縮することができ
る。また、空間８内を真空に保つことによりケース７の
熱が電子銃室１側壁へ伝達されるのも少なくすることが
できるため、より一層ケースを効率良く加熱することが
できる。さらに、加熱ヒータ１０も真空中に置くことが
できるため、加熱ヒータの酸化を防止でき、加熱ヒータ
の寿命を長くすることができる。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば電子銃室１の内壁全
体をケース７で覆ったが、これに限定されることなく、
碍子４の下端部、つまりつ工−ネルト電極部分より下方
部をケースで包囲するようにしても良い。
は幾多の変形が考えられる。例えば電子銃室１の内壁全
体をケース７で覆ったが、これに限定されることなく、
碍子４の下端部、つまりつ工−ネルト電極部分より下方
部をケースで包囲するようにしても良い。
［効果］
以上詳述したように本発明においては、実質的に電子銃
内壁となるケースとその外側に置かれる電子銃室との間
に形成される空間を真空に保つための手段を追加するだ
けで焼き出し時間の大幅な短縮化を図ることができる。
内壁となるケースとその外側に置かれる電子銃室との間
に形成される空間を真空に保つための手段を追加するだ
けで焼き出し時間の大幅な短縮化を図ることができる。
添附図面は本発明の一実施例を示す縦断面図である。
１：電子銃室 ２：集束レンズ３：電子線発生
源 ４：碍子 ５：ウェーネルト電極 ６：陽極 ７：ケース ８，１３：空間９：加熱ヒータ １０：ハーメチックシール １１１２：排気管
源 ４：碍子 ５：ウェーネルト電極 ６：陽極 ７：ケース ８，１３：空間９：加熱ヒータ １０：ハーメチックシール １１１２：排気管
Claims (1)
- 電子銃室内に置かれた電子線発生源を該電子銃室内壁と
該電子線発生源の間に配置される薄肉の筒状ケースで包
囲し、前記ケースの両端を前記電子銃室内壁に取り付け
ることにより該ケースと電子銃室間に気密に保たれた空
間を形成し、前記ケースを加熱する手段及び前記空間を
排気する手段を設けたことを特徴とする電子線発生装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62152756A JPS63318046A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 電子線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62152756A JPS63318046A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 電子線発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63318046A true JPS63318046A (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=15547472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62152756A Pending JPS63318046A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 電子線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63318046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03116558U (ja) * | 1990-03-08 | 1991-12-03 |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP62152756A patent/JPS63318046A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03116558U (ja) * | 1990-03-08 | 1991-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5342233A (en) | Methods for removing contaminants from arc discharge lamps | |
| JPS63318046A (ja) | 電子線発生装置 | |
| JPS6338818B2 (ja) | ||
| US4295072A (en) | Field emission electron gun with anode heater and plural exhausts | |
| JPS61291965A (ja) | 超高真空チヤンバ− | |
| JPH0315297B2 (ja) | ||
| JPH0765762A (ja) | 電子銃 | |
| US1861637A (en) | Production of alkali metal tubes | |
| JP2538590B2 (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JPH0715352B2 (ja) | 真空加熱装置 | |
| JP2002279937A (ja) | 無電極放電管及びその製造方法 | |
| JPS5956342A (ja) | ホロ−陰極放電装置 | |
| JPS62113488A (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JPH0727552Y2 (ja) | 荷電粒子線発生装置 | |
| JPH0368111B2 (ja) | ||
| JPS6226878A (ja) | 金属蒸気レ−ザ発振管 | |
| JPS6261240A (ja) | 陰極線管の製造方法 | |
| JPH0520854B2 (ja) | ||
| JP3369210B2 (ja) | 金属蒸気レーザ発振管 | |
| JPH04137685A (ja) | 金属蒸気レーザー装置の起動方法 | |
| US1685326A (en) | Thermionic vacuum tube | |
| RU2420844C2 (ru) | Активный элемент лазера на парах галогенида металла | |
| JPS5837942B2 (ja) | けい光ランプ | |
| CN121054452A (zh) | 一种可维持高真空度的x射线管 | |
| JPH1116489A (ja) | 画像表示装置及びその製造方法 |