JPH03116558U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03116558U JPH03116558U JP2338590U JP2338590U JPH03116558U JP H03116558 U JPH03116558 U JP H03116558U JP 2338590 U JP2338590 U JP 2338590U JP 2338590 U JP2338590 U JP 2338590U JP H03116558 U JPH03116558 U JP H03116558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- generation chamber
- beam generation
- outer cylinder
- exhaust means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案を電子顕微鏡に使用した場合の
一例を示す構成概略図、第２図は本考案の他の実
施例を示す要部構成概略図、第３図は従来例を説
明するための要部拡大断面図である。 ３……ロー材、４……コバール、５……電子顕
微鏡本体、６……電子銃室、７……電界放出型電
子銃、８……加速管、９ａ，９ｂ……加速電極、
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ……アルミナ碍子、１１
……スパツタイオンポンプ、１２……ターボ分子
ポンプ、１３……排気通路、１４……遮断弁、１
５，２３……油回転ポンプ、１６，２５……リー
ク弁、１７……オーブン外筒、１９……反射板、
２０……加熱ヒータ、２１……排気口、２４……
ゴムホース。
一例を示す構成概略図、第２図は本考案の他の実
施例を示す要部構成概略図、第３図は従来例を説
明するための要部拡大断面図である。 ３……ロー材、４……コバール、５……電子顕
微鏡本体、６……電子銃室、７……電界放出型電
子銃、８……加速管、９ａ，９ｂ……加速電極、
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ……アルミナ碍子、１１
……スパツタイオンポンプ、１２……ターボ分子
ポンプ、１３……排気通路、１４……遮断弁、１
５，２３……油回転ポンプ、１６，２５……リー
ク弁、１７……オーブン外筒、１９……反射板、
２０……加熱ヒータ、２１……排気口、２４……
ゴムホース。
Claims (1)
- 粒子線を発生するための粒子線発生室と、前記
粒子線発生室内を排気するための排気手段と、前
記粒子線発生室外周を気密を保つて囲繞するよう
に置かれた外筒と、該外筒に組み込まれた加熱手
段とを備え、前記粒子線発生室と外筒との間の空
間を排気するための排気手段を設け、該排気手段
により前記空間を排気しながら前記加熱手段によ
り前記粒子線発生室を焼出し処理することを特徴
とする粒子線発生装置用焼出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990023385U JPH0727552Y2 (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | 荷電粒子線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990023385U JPH0727552Y2 (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | 荷電粒子線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03116558U true JPH03116558U (ja) | 1991-12-03 |
| JPH0727552Y2 JPH0727552Y2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=31526372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990023385U Expired - Lifetime JPH0727552Y2 (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | 荷電粒子線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727552Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008289623A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Ban Seisakusho:Kk | 家庭用岩盤浴装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63318046A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Jeol Ltd | 電子線発生装置 |
-
1990
- 1990-03-08 JP JP1990023385U patent/JPH0727552Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63318046A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Jeol Ltd | 電子線発生装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008289623A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Ban Seisakusho:Kk | 家庭用岩盤浴装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0727552Y2 (ja) | 1995-06-21 |
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