JPS63319265A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPS63319265A JPS63319265A JP62154323A JP15432387A JPS63319265A JP S63319265 A JPS63319265 A JP S63319265A JP 62154323 A JP62154323 A JP 62154323A JP 15432387 A JP15432387 A JP 15432387A JP S63319265 A JPS63319265 A JP S63319265A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は高熱伝導性の窒化アルミニウム焼結体の製造方
法に関する。
法に関する。
［従来の技術］
エレクトロニクスの分野における急激な技術の発達は、
半導体デバイスの小型化ばかりでなく、高出力化、高集
積度化をも同時に可能なものとしてきている。また、単
一の基板上に、半導体デバイスの高密度な実装方法も研
究されている。例えばパワーダイオード、パワートラン
ジスタ、半導体レーザー、ＬＳＩさらにはＶＬＳＩなと
である。
半導体デバイスの小型化ばかりでなく、高出力化、高集
積度化をも同時に可能なものとしてきている。また、単
一の基板上に、半導体デバイスの高密度な実装方法も研
究されている。例えばパワーダイオード、パワートラン
ジスタ、半導体レーザー、ＬＳＩさらにはＶＬＳＩなと
である。
高出力化、高集積度化あるいは高密度実装化する半導体
デバイスは、単位面積、単位体積当りの発熱量が大きく
なるという問題がある。現在のところ、半導体デバイス
から発生する熱は、熱伝導率の良いダイヤモンド、立方
晶窒化ホウ素、酸化ベリリウム、絶縁性炭化ケイ素など
を、ヒートシンクやパッケージ材料の一部として用いて
散逸させる方法がとられている。しかし、上記の良熱伝
導性材料には安全性、製造に要するコスト、生産の絶対
値などの観点から見た場合、必ずしも十分とは言えない
。
デバイスは、単位面積、単位体積当りの発熱量が大きく
なるという問題がある。現在のところ、半導体デバイス
から発生する熱は、熱伝導率の良いダイヤモンド、立方
晶窒化ホウ素、酸化ベリリウム、絶縁性炭化ケイ素など
を、ヒートシンクやパッケージ材料の一部として用いて
散逸させる方法がとられている。しかし、上記の良熱伝
導性材料には安全性、製造に要するコスト、生産の絶対
値などの観点から見た場合、必ずしも十分とは言えない
。
発熱量の大きい半導体デバイスの実用化に対して低コス
トで供給量の大きな高熱伝導性材料が必要となってきて
いる。
トで供給量の大きな高熱伝導性材料が必要となってきて
いる。
［発明が解決しようとする問題点］
そこで、本発明者らは低コストで供給量の大きな高熱伝
導性材料として窒化アルミニウムに着目した。
導性材料として窒化アルミニウムに着目した。
素材としての窒化アルミニウムは、その結晶構造から、
サファイヤの８倍近くの熱伝導率を有するものと考えら
れていたが、測定値は５０Ｗ／ｍｋ程度のものであった
。窒化アルミニウムの焼結体の熱伝導率が、理論値（３
２０Δ／ｍｋ）の１７６程度の値を示す。この原因とし
ては、結晶粒界や不純物あるいは格子欠陥が影響するた
めと考えられている。特に窒化アルミニウム結晶粒中の
酸素の存在が、熱伝導率の低下に大きな影響を与えてい
る。この問題を解決する一つの方法として、各種の化合
物を添加し、焼結を行い、主に粉末表面に存在する酸素
を添加剤によりトラップする方法が行われている。しか
しこの方法においても未だ不十分であり、熱伝導率が７
０ＱΔ／ｍｋ程度の焼結体しか得られていないのが現状
である。
サファイヤの８倍近くの熱伝導率を有するものと考えら
れていたが、測定値は５０Ｗ／ｍｋ程度のものであった
。窒化アルミニウムの焼結体の熱伝導率が、理論値（３
２０Δ／ｍｋ）の１７６程度の値を示す。この原因とし
ては、結晶粒界や不純物あるいは格子欠陥が影響するた
めと考えられている。特に窒化アルミニウム結晶粒中の
酸素の存在が、熱伝導率の低下に大きな影響を与えてい
る。この問題を解決する一つの方法として、各種の化合
物を添加し、焼結を行い、主に粉末表面に存在する酸素
を添加剤によりトラップする方法が行われている。しか
しこの方法においても未だ不十分であり、熱伝導率が７
０ＱΔ／ｍｋ程度の焼結体しか得られていないのが現状
である。
本発明は熱伝導率が１００Δ／ｍｋを超える窒化アルミ
ニウム焼結体を得ることを目的とするものて必る。
ニウム焼結体を得ることを目的とするものて必る。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、より高伝導性の窒化アルミニウムを安価に生
産すべく検討した結果なされたもので、周期律表１ａ族
元素およびＨａａ元素のステアリン酸化合物の少くとも
１つを酸化物換算でｏ、ｏｉ〜２０重量パーセント添加
した窒化アルミニウム粉を、１５００’Ｃ〜２２００℃
の非酸化雰囲気で焼結することを特徴とする窒化アルミ
ニウム焼結体の製造方法である。
産すべく検討した結果なされたもので、周期律表１ａ族
元素およびＨａａ元素のステアリン酸化合物の少くとも
１つを酸化物換算でｏ、ｏｉ〜２０重量パーセント添加
した窒化アルミニウム粉を、１５００’Ｃ〜２２００℃
の非酸化雰囲気で焼結することを特徴とする窒化アルミ
ニウム焼結体の製造方法である。
ここでＩ［ａ族元素はＢｅ、ＭＣＩ、Ｑａ、、３ｒ、３
ａ、Ｒａの中の少くとも１つである。又、ｌＩａ族元素
はＹ、Ｓｃ、Ｃｅ、Ｐｒ５５ｍ、Ｇｄの中の少くとも１
つで必る。
ａ、Ｒａの中の少くとも１つである。又、ｌＩａ族元素
はＹ、Ｓｃ、Ｃｅ、Ｐｒ５５ｍ、Ｇｄの中の少くとも１
つで必る。
これら［ａ族、［［ａ族元素は、窒化アルミニウム表面
の酸化アルミニウムと結合し、複合酸化物を形成すると
ともに、窒化アルミニウムの脱酸素と焼結促進を達成す
ると考えられる。
の酸化アルミニウムと結合し、複合酸化物を形成すると
ともに、窒化アルミニウムの脱酸素と焼結促進を達成す
ると考えられる。
本発明で用いる窒化アルミニウム粉末では、できるだけ
高純度の微粒であることが望ましく、たとえば金属不純
物０．５重量パーセント以下、酸素含有Ｍ１．５重量パ
ーセント以下、比表面積１ｍ２／ｇの粉末を用いる。好
ましくはざらに高純度の、金属不純物０．２重量パーセ
ント以下、駿素含有量０．７重量パーセント以下のもの
を用いる。特に１６００’Ｃ以上の窒素ガス下で加熱処
理した高純度ＡＩＮ粉が望ましい。
高純度の微粒であることが望ましく、たとえば金属不純
物０．５重量パーセント以下、酸素含有Ｍ１．５重量パ
ーセント以下、比表面積１ｍ２／ｇの粉末を用いる。好
ましくはざらに高純度の、金属不純物０．２重量パーセ
ント以下、駿素含有量０．７重量パーセント以下のもの
を用いる。特に１６００’Ｃ以上の窒素ガス下で加熱処
理した高純度ＡＩＮ粉が望ましい。
□添加物としてのｍａ族、ｌＩａ族のステアリン酸１ヒ
合物は、［ＣＨ３（ＣＨ２） １６ ＣＯＯ］ ｎＭで
必られされ、ここでＭは上記のＲａ族、■ａ族元元素あ
る。ステアリン酸化合物はアルコールに溶解あるいは粉
末状態で用いる。ステアリン酸化合物の添加量は、ｌＩ
ａ族およびｍａ族酸酸化物換算して、０，０１〜２０重
量パーセントとする。０．０１重量パーセント未満では
緻密な焼結体が得難く、２０重量パーセントを越えると
ＡＩＮの熱伝導率の低下が著しいからである。ここで公
知のｌＩａ族、［ｌａａ元素の酸化物、フッ化物等を添
加する場合とステアリン酸化合物として添加する場合と
の差異は、理由は明らかではないが、ステアリン酸化合
物が均一に分散し、少量で焼結助剤として作用し、さら
にＡＩＮの酸素を効果的に吸着すること、またステアリ
ン酸中の炭素が脱酸に作用することも考えられる。
合物は、［ＣＨ３（ＣＨ２） １６ ＣＯＯ］ ｎＭで
必られされ、ここでＭは上記のＲａ族、■ａ族元元素あ
る。ステアリン酸化合物はアルコールに溶解あるいは粉
末状態で用いる。ステアリン酸化合物の添加量は、ｌＩ
ａ族およびｍａ族酸酸化物換算して、０，０１〜２０重
量パーセントとする。０．０１重量パーセント未満では
緻密な焼結体が得難く、２０重量パーセントを越えると
ＡＩＮの熱伝導率の低下が著しいからである。ここで公
知のｌＩａ族、［ｌａａ元素の酸化物、フッ化物等を添
加する場合とステアリン酸化合物として添加する場合と
の差異は、理由は明らかではないが、ステアリン酸化合
物が均一に分散し、少量で焼結助剤として作用し、さら
にＡＩＮの酸素を効果的に吸着すること、またステアリ
ン酸中の炭素が脱酸に作用することも考えられる。
なお、得られた混合物は乾式プレス、ドクターブレード
、押出し等の常法により成形したのち、非酸化性雰囲気
で１５００〜２２００℃で焼結、緻密化される。
、押出し等の常法により成形したのち、非酸化性雰囲気
で１５００〜２２００℃で焼結、緻密化される。
［実施例］
実施例１
酸素含量が１．０重量パーセントの高純度窒化アルミニ
ウム粉末（比表面積和２／ｇ）に、酸化物換算で３０重
量パーセント以下のＣａ−ステアリン酸を表１のＮｏ、
１〜１０に示す各割合で添加し、エタノール中に１０時
間ボールミルにて混合したのち乾燥の後、１９００℃で
窒素気流中で２時間焼結した。得られた焼結体の相対密
度と熱伝導率を表１に示す。なお表１中Ｎ Ｏ，８〜１
０は比較例である。
ウム粉末（比表面積和２／ｇ）に、酸化物換算で３０重
量パーセント以下のＣａ−ステアリン酸を表１のＮｏ、
１〜１０に示す各割合で添加し、エタノール中に１０時
間ボールミルにて混合したのち乾燥の後、１９００℃で
窒素気流中で２時間焼結した。得られた焼結体の相対密
度と熱伝導率を表１に示す。なお表１中Ｎ Ｏ，８〜１
０は比較例である。
表１
実施例２
酸素含量が０．５重量パーセントの高純度窒化アルミニ
ウム粉末（比表面積２ｍ２／ｃ＋）に酸化物換算で２重
量パーセントのＢｅ、ＭＱ、Ｂａ。
ウム粉末（比表面積２ｍ２／ｃ＋）に酸化物換算で２重
量パーセントのＢｅ、ＭＱ、Ｂａ。
３ｒ、Ｒａの各ステアリン酸化合物をそれぞれ添加し、
実施例１と同様の焼結体を得た。焼結体はいずれも相対
密度９８％以上、熱伝導率１５０Ｗ／ｍｋ以上を得た。
実施例１と同様の焼結体を得た。焼結体はいずれも相対
密度９８％以上、熱伝導率１５０Ｗ／ｍｋ以上を得た。
実施例３
酸素含量が１．０重量パーセントの高純度窒化アルミニ
ウム粉末（比表面積２ｍ２／ｇ）に、酸化物換算で２重
量パーセント以下のＹ−ステアリン酸を表２のＮＯ，’
１１〜２０に示す各割合で添加し、エタノール中に１０
時間ボールミルにて混合したのち乾燥の後、１９００℃
で窒素気流中で２時間焼結した。得られた焼結体の相対
密度と熱伝導率を表２に示す。なお表２中Ｎ０．１８〜
２０は比較例でおる。
ウム粉末（比表面積２ｍ２／ｇ）に、酸化物換算で２重
量パーセント以下のＹ−ステアリン酸を表２のＮＯ，’
１１〜２０に示す各割合で添加し、エタノール中に１０
時間ボールミルにて混合したのち乾燥の後、１９００℃
で窒素気流中で２時間焼結した。得られた焼結体の相対
密度と熱伝導率を表２に示す。なお表２中Ｎ０．１８〜
２０は比較例でおる。
表２
実施例４
酸素含量が０．５重量パーセントの高純度窒化アルミニ
ウム粉末（比表面積２ｍ２／（］）に酸化物換算で２重
量パーセントのＳｃ、Ｃｅ、Ｐｒ。
ウム粉末（比表面積２ｍ２／（］）に酸化物換算で２重
量パーセントのＳｃ、Ｃｅ、Ｐｒ。
３ｍ、Ｑｄの各ステアリン酸化合物をそれぞれ添加し、
実施例１と同様の焼結体を得た。焼結 ９一 体はいずれも相対密度９８％以上、熱伝導率１５０Ｗ／
ｍｋ以上を得た。
実施例１と同様の焼結体を得た。焼結 ９一 体はいずれも相対密度９８％以上、熱伝導率１５０Ｗ／
ｍｋ以上を得た。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は高純度の窒化アルミニウ
ム粉末に、周期律表１ａ族、ｌｌａ族のステアリン酸化
合物を添加し、焼結することによって、高熱伝導性の窒
化アルミニウム焼結体が得られる。この窒化アルミニウ
ム焼結体は、ＩＣ基板、放熱板、構造材料等に秀れた性
能をもち、実用性の高いものである。
ム粉末に、周期律表１ａ族、ｌｌａ族のステアリン酸化
合物を添加し、焼結することによって、高熱伝導性の窒
化アルミニウム焼結体が得られる。この窒化アルミニウ
ム焼結体は、ＩＣ基板、放熱板、構造材料等に秀れた性
能をもち、実用性の高いものである。
Claims (1)
- 周期律表IIａ族元素およびIIIａ族元素のステアリン酸
化合物の少くとも１つを酸化物換算で０．０１〜２０重
量パーセント添加した窒化アルミニウム粉を、１５００
℃〜２２００℃の非酸化雰囲気で焼結することを特徴と
する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62154323A JPS63319265A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62154323A JPS63319265A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63319265A true JPS63319265A (ja) | 1988-12-27 |
| JPH0566904B2 JPH0566904B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=15581626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62154323A Granted JPS63319265A (ja) | 1987-06-23 | 1987-06-23 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63319265A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6317263A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | 旭硝子株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
-
1987
- 1987-06-23 JP JP62154323A patent/JPS63319265A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6317263A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | 旭硝子株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0566904B2 (ja) | 1993-09-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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