JPS633280A - 半導体集積回路試験評価装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体集積回路（以下ＩＣと呼ぶ）の電気的
特性を辿１定する試験評価装置（以下ＩＣテスタと呼ぶ
）に係９、特に測定開始時期に対するＩＣテスタの待ち
時間回路に関する。

〔従来の技術〕

近年、ＩＣ選別作業においては、ＩＣテスタに２台以上
の自動選別装置（以下オート・）・ンドラと呼ぶ）を具
備し、しかも１台のオート・ハンドラで、多数個のＩＣ
が袋層可能でちυ、且つ２台以上の前記のオート・ハン
ドラが、同時に動作することによシ、ＩＣ１個当個当側
定時間を短縮して、作業効率の向上を図っている。この
様な測定検収を多数個同時並列測定と称し、今後もなお
、この傾向は続くであろうと考えられる。

第２図は、現在最も一般的な１台のＩＣテスタに２台の
オート・ハンドラ２．３を具備して、同時並列１ｊ１１
．１定を行なっている状態を示すブロック図である。同
図の従来のＩＣテスタ１とオート・ノ・ンドラ２．３と
の関係は、例えばオート・・・ンドラ２にオートハンド
ラ３よ）も早くＩＣが測定部内にセットされた場合、オ
ート・ノ・ンドラ２のスタート回路１０から測定準備完
了の信号がテスタ・スタート回路７に伝達されて、ノ・
ンドラの種類ごとに設定されているタイマー１５がカウ
ントされる。タイマー１５の時間内にオート・ハンドラ
３内のＩＣが測定部にセットされて御］定スタート回路
１２からテスタ・スタート回路７に測定準備完了の信号
が送られれば、その時にＩＣの電気的特性試験を開始す
る。しかし、もし設定されているタイマー１５の時間内
にオート・ハンドラ３から測定準備完了の信号がこない
場合には、タイマー１５の時間経過後に、テスタ・スタ
ート回路７からＩＣ測定回路５に信号が送ら炸て、オー
ト・ハンドラ２だけのＩＣの電気的特性試験を開始する
。オート・ハンドラ内のＩＣの測定が終シ、工Ｃテスタ
１のＩＣ判定回路６からそれぞれのオート・ハンドラ２
及び３に同時にＩＣの電気的特性試験の判定結果の情報
が伝達されて、ハンドラの収納動作回路９．１１が動作
し、測定法ＩＣは収納され、また新してＩＣがオート・
ハンドラ２及び３の測定部にセットされる。この繰シ返
しに二って、同時並列測定が行なわれる。

〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、多数個同時並列測定するには、オート・ハンド
ラの種類によシ、ＩＣの供給収納する時間にばらつきが
ある為に、オート・ハンドラごとに待ち時間を設定して
おかなければならないが、同時に動作している２台以上
のオート・ハンドラのうち１台もしくはそれ以上のオー
ト・ハンドラがトラブル等により停止した場合には、現
在動作しているオート・ハンドラは、トラブル等で停止
しているオート・ハンドラのトラブルが解除されるまで
設定した待ち時間の分だけは、毎回測定を開始せずに待
っておかなければならず、効率低下をもたらす要因とな
る等多大な欠点を有している。

本発明の目的は、前記欠点を解決し、オート・ハンドラ
の停止時にそのオート・ハンドラの待ち時間を変更し、
作業効率を向上させｒ、ＩＣ製造の工期短縮を可能にし
た半導体集積回路試験評価装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の構成は、半導体集積回路の電気的特性を評価す
る試験評価装置と、２台以上の自動選別装置とを具備し
、前記半導体集積回路の良品、不良品の選別を行う半導
体集積回路試験評価装置において、前記一台の自動選別
装置の停止信号を前記試験評価装置の動作制御部に送る
手段と、前記停止信号に基いて前記他の一台の自動選別
装置の待ち時間を変更する手段とを備えていることを特
徴とする。

〔実施例〕

次に図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例の半導体集積回路試験評価装
置を示すブロック図である。同図において、本装置は、
アラーム・タワー１３．１４からの信号をアンド回路１
９に入力し、この出力を信号反転回路２０．リレー１７
に入力する。信号反転回路２０の出力は、さらにリレー
１８に入力される。その他の回路ブロックは、第１図と
同様である。

今、オート・ハンドラ３がトラブルを発生した場合を考
えてみると、従来の第２図ではトラブルが解消するまで
毎回設定されたタイマー１５の分だけはオート・ハンド
ラ２は測定を開始できずに待っていなければならないの
に対して、本実施例では、トラブル時に点燈するアラー
ム・タワー１３．１４を利用してその信号をタイマ回路
に送ることによ）、リレー１７をオン、且つリレー１８
をオフとして（トラブルが発生していない時はリレー１
７オフ、且つリレー１８オン）、待チ時間タイマー部４
をテスタ・スタート回路５から切シ離し、待ち時間をＯ
にすることができる。これによシ、オート・ハンドラ２
は、ＩＣがセットされ次第、測定を開始することが可能
となる。オート・ハンドラ３のトラブルが解除すれば、
アラーム・タワー１４の清澄によシ、リレー１７オフ、
且つリレー１８オンの初期状態にもどり、もとの設定さ
れたタイマーになる。

以上により、オート・ハンドラのトラブル発生時の待ち
時間を短く変更することによシ、作業効率を向上して生
産設備の効率の向上と共に、ＩＣ製造の工期短縮を図る
ことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、ＩＣテスタの待
ち時間の制御部にオート・ハンドラからの停止信号を受
けることのできる機能を加えて、その停止信号によ、９
）ラブルの発生したオート・ハンドラの待ち時間を短く
変更し、トラブルが解消してスタート信号が出た場合に
は、もとの待ち時間にもどる機能を有することでオート
・ハンドラのインデックスが大幅に短縮され、作業効率
の向上が期待できるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

笛１図は本発明の一実施例の半導体集積回路試験評価装
置を示すブロック図、第２図は従来の半導体集積回路試
験評価装置を示すブロック図である。 １・・・・・・ＩＣテスタ、２．３・旧・・オート・ハ
ンドラ、４・・・・・・待ち時間タイマー部、５・・川
・ＩＣ測定回路、６・・・・・・ＩＣ判定回路、７・旧
・・テスタ・スタート回路、８・・・・・・ＩＣ，９，
１１・・・・・・収納動作回路、１０．１２・・・・・
・測定スタート回路、１３．１４・・・・・・アラーム
・タワー、１５・・・・・・タイマー、１６・・・・・
・グラウンド、１７．１８・−・・・・リレー、１９・
・・・・・アンド回路、２０・・・・・・信号反転回路
。 ＼−−−ン゛ 第？　区

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体集積回路の電気的特性を評価する試験評価装置と
   、２台以上の自動選別装置とを具備し、前記半導体集積
   回路の良品、不良品の選別を行う半導体集積回路試験評
   価装置において、前記一台の自動選別装置の停止信号を
   前記試験評価装置の動作制御部に送る手段と、前記停止
   信号に基づいて前記他の一台の自動選別装置の待ち時間
   を変更する手段とをそなえていることを特徴とする半導
   体集積回路試験評価装置。