JPS6333660Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はスピナー装置の改良に関する。

試料に液状物質を塗布又は吹き付ける方法とし
て、回転する試料例えばガラス基板や半導体ウエ
ハーの表面に液状物質例えばレジストや現像液を
滴下又は噴霧して、試料の全面に液状物質を均一
に施す方法が知られている。この方法を実施する
ための装置として、第１図に示すようなスピナー
装置がある。

即ち、第１図に示すスピナー装置は、被塗布体
１が載置される回転チヤツク台２と、底面におい
て回転チヤツク台２との間に〓間６を保ちながら
回転チヤツク台を収容するインナーカツプ３と、
インナーカツプ３の上部開口部に取付られたイン
ナーリング４とから構成される。回転チヤツク台
２の回転軸はインナーカツプ３の底面中央を貫通
して導出され、図示しない真空装置に接続されて
いる。インナーカツプ３の底面周辺部には排気口
５が設けられており、この排気口５も図示しない
真空装置と接続されている。

以上説明したスピナー装置を用いて被塗布体１
表面へのコート剤の塗布を行なうに際しては、ま
ず真空装置を作動させて被塗布体１を回転チヤツ
ク台２の上面に吸引固定する。次いで回転チヤツ
ク台２を回転させ、排気口５からインナーカツプ
３内を排気しつつ、被塗布体１の上面にコート剤
を滴下又は噴霧する。その結果、コート剤は被塗
布体１の全面に均一にコートされる。

しかし、このようなスピナー装置においては、
矢印で示すように、被塗布体１の高速回転のため
コート剤がはねとばされて飛散したり、余剰のコ
ート剤が被塗布体１の周縁部から飛散し、ミスト
となる現象が生ずる。このミストは、ある程度は
排気口５から排出されるが、１部は被塗布体１の
裏面に付着してしまう。この被塗布体１の裏面へ
の付着は、恐らく破線矢印で示すような気流によ
るものと考えられる。このように裏面に付着した
コート剤は、汚れの原因となるため後に除去しな
ければならないが、コート剤の種類によつては除
去は非常に困難であり、また被塗布体１のキズの
発生にもつながり、収率および生産効率に大きな
影響を与えてしまう。

このような裏面へのコート剤の付着を防止する
ため、第２図に示すように、インナーカツプ５の
底面に円筒２１をチヤツク台２の回転軸と同軸状
に取付けることが考えられる。これは、第１図に
おけるインナーカツプ３内の破線矢印で示す気流
の発生を防止することを意図している。しかし、
本発明者らが実験を行なつたところによると、第
２図に示すスピナー装置によつても、依然とし
て、被塗布体１の裏面へのコート剤の付着はなく
ならなかつた。これは、円筒２１内の領域の圧力
が円筒２１外の領域の圧力よりも低く、ミストを
円筒２１内に巻き込む形となつてしまうため、お
よび円筒２１内に乱流や空気の淀みが起き易いた
めと考えられる。

本考案の目的は、被塗布体裏面への液状物質の
付着を防止したスピナー装置を提供することにあ
る。

即ち、本考案のスピナー装置は、被処理体が吸
引載置される回転チヤツク台と、底面において回
転チヤツク台との間に〓間を保ちながら回転チヤ
ツク台を収容するかつ吸引手段に連結された排気
口を有するインナーリング付インナーカツプとを
具備し、インナーカツプ内には内側円筒とこれよ
り径の大きい外側円筒とが回転チヤツク台の回転
軸と同軸にかつそれら円筒の上端と前記被処理体
の下面とが所定の間隔をなすように配置されてお
り、かつ前記被処理体と前記インナーリングの内
側端とが５mm以下の開口距離を有することを特徴
とする。

以下、図面を参照して、本考案のスピナー装置
について詳細に説明する。

第３図は、本考案のスピナー装置の一実施例を
示す断面図である。なお、第３図において、第１
図と同一の部分には同一の参照符号が付されてお
り、その説明は省略する。第３図において、イン
ナーカツプ３内には内側円筒３１と外側円筒３２
とが回転チヤツク台２の回転軸と同軸にかつそれ
らの上端と被塗布体とが所定の間隔をなすように
配置されている。即ち、第２図に示すスピナー装
置では１つの円筒２１のみが設けられているのに
対し、本考案のスピナー装置では、２重の円筒３
１，３２がインナーカツプ３の底面に取付けられ
ている。チヤツク台の上面からインナーカツプ３
の底面までの距離は例えば７〜35mmであるが、も
ちろんこれに限らない。被塗布体１と外側円筒３
２との間の距離は１〜３mm程度が好ましく、例え
ば２mmであり、被塗布体１と内側円筒３１との間
の距離は２〜10mmが好ましく、例えば２mmであ
る。被塗布体１とインナーカツプ３の内側端との
開口距離は４mmである。被塗布体１は直径３〜６
インチの円板であるが、正方形の板体の場合もあ
る。なお、正方形の板体の場合には空気の乱流が
生じ易いので、本考案のスピナー装置を用いてよ
り好ましい効果を得ることができる。

外側円筒３２は、第２図に示す円筒２１と同
様、第１図のスピナー装置において生ずる破線矢
印のような気流によりミストが舞い上り、被塗布
体１の裏面に付着するのを防止する役割を有す
る。一方、内側円筒３１は、被塗布体１の下の気
流の方向を制御し、外側円筒３２と被塗布体１と
の間の間〓における気流の流れを円筒外へと向か
う流れとする役割を有する。従つて、内側および
外側円筒３１，３２の作用により、被塗布体１の
下部における空気流は、第３図において破線矢印
で示すような流れとなり、コート剤のミストが被
塗布体１の裏面に付着することはない。被塗布体
１とインナーカツプ３の内側端との開口距離が５
mm以下であることも、上述の空気流の発生に貢献
している。

以上説明したように、本考案のスピナー装置に
よると、液状物質の被処理体の裏面への付着を防
止することが可能となり、従来のスピナー装置に
比べ収率が約10％向上した。また、付着物を除去
する必要がないため、生産性も著しく向上するこ
とができた。

なお、以上、コート剤の塗布について説明した
が、本発明はこれに限らず、例えば現像液を被現
像体に施して現像処理を行なう場合など、広く液
状物質を被処理体に施す場合に適用可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のスピナー装置の断面図、第２図
は第１図のスピナー装置の改良をなすスピナー装
置の断面図、および第３図は本考案のスピナー装
置の断面図である。 １……被塗布体、２……回転チヤツク台、３…
…インナーカツプ、４……インナーリング、５…
…排気口、２１……円筒、３１……内側円筒、３
２……外側円筒。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被処理体が吸引載置される回転チヤツク台
   と、底面において回転チヤツク台との間に〓間
   を保ちながら回転チヤツク台を収容しかつ吸引
   手段に連結された排気口を有するインナーリン
   グ付インナーカツプとを具備するスピナー装置
   において、前記インナーカツプ内には、内側円
   筒とこれより径の大きい外側円筒とが、前記回
   転チヤツク台の回転軸と同軸に、かつそれら円
   筒の上端が前記被処理体の下面と所定の間隔を
   なすように配置されており、かつ前記被処理体
   と前記インナーリングの内側端とが５mm以下の
   開口距離を有することを特徴とするスピナー装
   置。 (2) 前記内側円筒の上端と前記被処理体の下面と
   の間隔は２〜10mm、前記外側円筒の上端と前記
   被処理体の下面との間隔は１〜３mmである実用
   新案登録請求の範囲第１項記載のスピナー装
   置。