JPS633470B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633470B2 JPS633470B2 JP53159522A JP15952278A JPS633470B2 JP S633470 B2 JPS633470 B2 JP S633470B2 JP 53159522 A JP53159522 A JP 53159522A JP 15952278 A JP15952278 A JP 15952278A JP S633470 B2 JPS633470 B2 JP S633470B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- laser beam
- photodetector
- prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、イオンレーザ装置に関し、特にレー
ザ出力モニタ方式に改良を図つたイオンレーザ装
置に関する。
ザ出力モニタ方式に改良を図つたイオンレーザ装
置に関する。
従来、イオンレーザ装置ではレーザ出力のモニ
タをするため、レーザ出力の一部を検出して増幅
し、メータを振らす方式が用いられている。すな
わち、第１図に示すように、レーザ電源１の一つ
の出力端をレーザ管２のカソード３に接続し、他
端をレーザ管２のアノード４に接続する。そし
て、レーザ光７の一部のレーザ光８の光検出器９
で検出し、出力抵抗１０の両端に現われる出力電
圧（Vs）を入力抵抗１１（Rin）を通して増幅器
１５で次式の通り増幅し、メータ１７を振らすメ
ータ電圧（Vm）を得る。
タをするため、レーザ出力の一部を検出して増幅
し、メータを振らす方式が用いられている。すな
わち、第１図に示すように、レーザ電源１の一つ
の出力端をレーザ管２のカソード３に接続し、他
端をレーザ管２のアノード４に接続する。そし
て、レーザ光７の一部のレーザ光８の光検出器９
で検出し、出力抵抗１０の両端に現われる出力電
圧（Vs）を入力抵抗１１（Rin）を通して増幅器
１５で次式の通り増幅し、メータ１７を振らすメ
ータ電圧（Vm）を得る。
Vm＝Vs×負帰還抵抗（Rf）／Rin
しかし、イオンレーザはプリズム２２とミラー
５とを一体にして傾けプリズム２２へのレーザ光
７の入射角を調節することにより数本の発振波長
が得られるため、レーザ光７の１部のレーザ光８
を検出している光検出器９の波長感度に応じて、
増幅器１５の増幅率を調節する必要がある。この
ため、スイツチ１６により負帰還抵抗１２，１
３，１４を切換しなければならない。すなわちス
イツチ１６を規定のレンジに切換えないでレーザ
光７をモニターした場合には光検出器９の波長感
度分の誤差を生じるという欠点がある。
５とを一体にして傾けプリズム２２へのレーザ光
７の入射角を調節することにより数本の発振波長
が得られるため、レーザ光７の１部のレーザ光８
を検出している光検出器９の波長感度に応じて、
増幅器１５の増幅率を調節する必要がある。この
ため、スイツチ１６により負帰還抵抗１２，１
３，１４を切換しなければならない。すなわちス
イツチ１６を規定のレンジに切換えないでレーザ
光７をモニターした場合には光検出器９の波長感
度分の誤差を生じるという欠点がある。
本発明の目的はレーザ光の波長が変化しても自
動的に、レーザ光を正確にモニターすることがで
きるイオンレーザ装置を提供することにある。
動的に、レーザ光を正確にモニターすることがで
きるイオンレーザ装置を提供することにある。
本発明によれば、複数波長のレーザ出力光が得
られるイオンレーザ装置において、レーザ出力光
の一部を受け分散させるプリズムと、この分散し
た各波長毎のレーザ光を検出する複数の光検出器
と、各光検出器と組合せて波長感度をそれぞれ補
正することができる複数の抵抗と、これらの検出
出力を指示するメータとを設けたことを特徴とす
るイオンレーザ装置が得られる。
られるイオンレーザ装置において、レーザ出力光
の一部を受け分散させるプリズムと、この分散し
た各波長毎のレーザ光を検出する複数の光検出器
と、各光検出器と組合せて波長感度をそれぞれ補
正することができる複数の抵抗と、これらの検出
出力を指示するメータとを設けたことを特徴とす
るイオンレーザ装置が得られる。
次に第２図に示した実施例について本発明を具
体的に説明する。
体的に説明する。
レーザ電源１の一つの出力端をレーザ管２のカ
ソード３に接続し、他端をレーザ管２のアノード
４に接続すると、レーザ管２は放電し、ミラー
５，５′とプリズム２２が構成する光共振器との
相互作用でレーザ光７が発振する。そしてレーザ
光７の一部のレーザ光８はプリズム２１で屈折
し、光検出器９で検出され出力抵抗１８，１０に
光検出電流が流れ出力抵抗１０の両端に現われる
出力電圧（Vs）を入力抵抗１１（Rin）を通して
増幅器１５で次式の通り増幅し、メータ１７を振
らすメータ電圧（Vm）を得る。
ソード３に接続し、他端をレーザ管２のアノード
４に接続すると、レーザ管２は放電し、ミラー
５，５′とプリズム２２が構成する光共振器との
相互作用でレーザ光７が発振する。そしてレーザ
光７の一部のレーザ光８はプリズム２１で屈折
し、光検出器９で検出され出力抵抗１８，１０に
光検出電流が流れ出力抵抗１０の両端に現われる
出力電圧（Vs）を入力抵抗１１（Rin）を通して
増幅器１５で次式の通り増幅し、メータ１７を振
らすメータ電圧（Vm）を得る。
Vm＝Vs×負帰還抵抗１２（Rf）／Rin
そこでプリズム２２とミラー５とを一体にして
傾けプリズム２２へのレーザ光７の入射角を調節
し、レーザ光７の発振波長を短かい方向に移行さ
せると、レーザ光７の一部のレーザ光８はプリズ
ム２１により屈折し、屈折率が小さくなるため、
レーザ光８′となり光検出器９′で検出され出力抵
抗１９，１０に光検出電流が流れ出力抵抗１０の
両端に現われる出力電圧（Vs）となり前記同様
に増幅器１５で増幅されメータ１７を振らす。こ
こで前もつて出力抵抗１９を光検出器９′の波長
感度に合せて調節しておくことにより、自動的に
レーザ光８′を正確にモニターすることができる。
また前記と同様にしてレーザ光７の発振波長をさ
らに短かい方向に移行させると、レーザ光７の一
部のレーザ光８はプリズム２１により屈折し、屈
折率がさらに小さくなり、レーザ光８″となり光
検出器９″で検出され、出力抵抗２０，１０に光
検出電流が流れ出力抵抗１０の両端に現われる出
力電圧（Vs）となり前記同様に増幅器１５で増
幅されメータ１７を振らす。また、前もつて出力
抵抗２０を調節しておくことにより自動的にレー
ザ光８″を正確にモニターすることができる。
傾けプリズム２２へのレーザ光７の入射角を調節
し、レーザ光７の発振波長を短かい方向に移行さ
せると、レーザ光７の一部のレーザ光８はプリズ
ム２１により屈折し、屈折率が小さくなるため、
レーザ光８′となり光検出器９′で検出され出力抵
抗１９，１０に光検出電流が流れ出力抵抗１０の
両端に現われる出力電圧（Vs）となり前記同様
に増幅器１５で増幅されメータ１７を振らす。こ
こで前もつて出力抵抗１９を光検出器９′の波長
感度に合せて調節しておくことにより、自動的に
レーザ光８′を正確にモニターすることができる。
また前記と同様にしてレーザ光７の発振波長をさ
らに短かい方向に移行させると、レーザ光７の一
部のレーザ光８はプリズム２１により屈折し、屈
折率がさらに小さくなり、レーザ光８″となり光
検出器９″で検出され、出力抵抗２０，１０に光
検出電流が流れ出力抵抗１０の両端に現われる出
力電圧（Vs）となり前記同様に増幅器１５で増
幅されメータ１７を振らす。また、前もつて出力
抵抗２０を調節しておくことにより自動的にレー
ザ光８″を正確にモニターすることができる。
第１図は従来のイオンレーザ装置を示すブロツ
ク図、第２図は本発明のイオンレーザ装置を示す
ブロツク図である。 １……レーザ電源、２……レーザ管、３……カ
ソード、４……アノード、５，５′……ミラー、
６……ビームスプリツタ、７，８，８′，８″……
レーザ光、９，９′，９″……光検出器、１０，１
８，１９，２０……出力抵抗、１１……入力抵
抗、１２，１３，１４……負帰還抵抗、１５……
増幅器、１６……スイツチ、１７……メータ、２
１，２２……プリズム。
ク図、第２図は本発明のイオンレーザ装置を示す
ブロツク図である。 １……レーザ電源、２……レーザ管、３……カ
ソード、４……アノード、５，５′……ミラー、
６……ビームスプリツタ、７，８，８′，８″……
レーザ光、９，９′，９″……光検出器、１０，１
８，１９，２０……出力抵抗、１１……入力抵
抗、１２，１３，１４……負帰還抵抗、１５……
増幅器、１６……スイツチ、１７……メータ、２
１，２２……プリズム。
Claims (1)
- １ 複数波長のレーザ光を放出するイオンレーザ
装置において、レーザ出力光の一部を分散させる
プリズムと、分散した各波長毎のレーザ光を検出
する複数の光検出器と、前記光検出器と組合せて
波長感度を補正する複数の抵抗と、前記光検出器
の出力を指示するメータとを具備したことを特徴
とするイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15952278A JPS5585089A (en) | 1978-12-21 | 1978-12-21 | Ion laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15952278A JPS5585089A (en) | 1978-12-21 | 1978-12-21 | Ion laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5585089A JPS5585089A (en) | 1980-06-26 |
| JPS633470B2 true JPS633470B2 (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15695597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15952278A Granted JPS5585089A (en) | 1978-12-21 | 1978-12-21 | Ion laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5585089A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06101603B2 (ja) * | 1986-11-06 | 1994-12-12 | 三菱電機株式会社 | レ−ザ発振器 |
| JPH05308164A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-19 | Nec Corp | レーザミラーの評価装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5248994A (en) * | 1975-10-17 | 1977-04-19 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for measuring laser light output |
-
1978
- 1978-12-21 JP JP15952278A patent/JPS5585089A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5585089A (en) | 1980-06-26 |
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