JPS6335577B2 - - Google Patents
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- JPS6335577B2 JPS6335577B2 JP58132083A JP13208383A JPS6335577B2 JP S6335577 B2 JPS6335577 B2 JP S6335577B2 JP 58132083 A JP58132083 A JP 58132083A JP 13208383 A JP13208383 A JP 13208383A JP S6335577 B2 JPS6335577 B2 JP S6335577B2
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
- C03B37/0124—Means for reducing the diameter of rods or tubes by drawing, e.g. for preform draw-down
- C03B37/01242—Controlling or regulating the down-draw process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/0253—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2205/00—Fibre drawing or extruding details
- C03B2205/40—Monitoring or regulating the draw tension or draw rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2205/00—Fibre drawing or extruding details
- C03B2205/60—Optical fibre draw furnaces
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、光フアイバの製造装置、特に光フ
アイバの各種特性値を計測しつつ製造時の各種制
御パラメータを制御して所望の特性をもつ光フア
イバを精度よく製造することが可能な製造装置に
関する。 従来技術および発明が解決しようとする問題点 光フアイバの従来の製造方法は通常、母材であ
るプリフオームの製造工程と、プリフオームを加
熱して線引きする線引き工程とに別かれている。
従来の製造方法には代表的なものとして、内付け
法、いわゆるMCVD法及びVAD法がある。 第１図ａ，ｂにMCVD工程を模式的に示し、
第２図にVAD製造工程を模式的に示す。まず、
第１図に示す工程において、製造後の石英系光フ
アイバ内の屈折率分布を制御する為のドーパント
（例えばGe、Ｐ、Ｂ）のハロゲン化物（例えば
GeCl4、POCl3、BBr3）が酸素中に気化される。
これらのガスの流量はキヤリアガスである酸素の
流量をマスクローコントローラーMFCで制御す
ることによつて制御される。気化した気体はガラ
ス旋盤１により一定のスピードで回転している石
英パイプ３の中へ導かれる。この石英パイプ３は
酸水素炎バーナー２により外部から加熱され、そ
の結果ガラスパイプ中でハロゲン化物が酸化し、
Ge、Ｐ、Ｂ等を含む薄い石英ガラス膜がパイプ
３の内面に付着すると共に、不透明な石英ガラス
微粒子が気体下流の石英パイプ３の内面に付着す
る。石英パイプ外部の酸水素炎は気体流と同方向
へゆつくりと動かされ、内面に付着した不透明ガ
ラスを融かし、透明なガラスにする。 光フアイバのコアになるのに十分な量の透明な
石英膜４が石英パイプ内面に堆積された後（第１
図ｂ）、その石英パイプは1900℃程度に加熱され、
熱によりつぶされ、棒状のプリフオーム５にな
る。これを電気炉６で加熱し線引きをすると光フ
アイバ７が得られる。 他方の第２図に示すVAD製造工程は、スート
堆積、脱水、焼結などの工程から成つている。酸
水素トーチ１０による酸水素炎中での酸化及び加
水分解反応によりガラス微粒子１１が生成され、
適当なガラス棒１２の下端に吹き付けられる（第
２図ａ）。そのガラス微粒子１１は、白い粉が固
められたような微粒粉末プリフオーム１３を形成
し、軸方向に成長する。そのプリフオーム１３
は、均一で外径が一定になるよう回転させられな
がら、ゆつくりと上に引き上げられていく。次に
その微粉末プリフオーム１３はカーボン炉１４な
どにより1500℃に加熱され、透明なプリフオーム
１５に焼結される。 以上例示した二つの製造方法において、屈折率
分布は、例えばGeCl4の流量を制御することによ
り変化できるが、複雑な屈折率分布を実現したい
ときは不純物の混入量を時々刻々コンピユータで
制御する必要がある。そうした制御に関しては、
出来上りのフアイバ、すなわち製造ラインからは
ずされたフアイバの特性変化を何らかの形で製造
側にフイードバツクすることは試みられている
が、製造時におけるプリフオーム又はフアイバの
諸特性の情報を逐時プリフオーム及びフアイバの
製造側の種々の製造制御パラメータにフイードバ
ツクさせてプリフオーム又はフアイバの諸特性を
より良く制御しようとすることはこれまで行われ
ていなかつた。 最近、光通信に利用される光フアイバの断面寸
法が国際的に標準化された事に伴い、光フアイバ
製造会社及びその関連機関が製造したフアイバの
断面寸法やコア内屈折率分布等の種々の特性値を
精密に計測し製造時の各種制御パラメータの制御
に反映させて高精度な諸特性をもつフアイバを製
造することが重要となつてきている。 第３図に光フアイバの構造を示す。石英のコア
２１とクラツド２２及びプラスチツクの被覆材２
３から構成される光フアイバはコア２１内の屈折
率分布やその他の量によつて伝送特性が異なる。
その他の量としては、コア径、クラツド径、コア
やクラツドの非円率、偏心率等があり、以下これ
らをまとめて断面寸法と書く。 さて、光フアイバの断面寸法を計測する方法と
しては大別して次の二つが知られている。 (a) フアイバの端面よりレーザ光又は通常の光を
照射し、他の端面から伝搬して来た光を顕微鏡
又は相当する光学手段を用いて観測し、それで
得られた情報を信号処理した後TVモニタ又は
プロツタ上に表示させて計測する方法。 (b) コア内に屈折率増大物質としてGe原子をド
ープした光フアイバプリフオームに紫外線レー
ザ光を照射し、Geが光を吸収して蛍光を発す
る現象を利用して、コア径、クラツド径及び屈
折率分布を計測する方法。 第４図に、(b)の方法でふれた蛍光現象を利用し
たフアイバ融着装置を示す。この装置ではフアイ
バ３１の側面にHe−Cdレーザからの紫外光線ビ
ーム３２を照射し、その方法から±45°の方向に
互いに90゜の角をなす対物レンズ３３，３３′を設
置した二視野顕微鏡３４を介してテレビカメラ３
５で、フアイバ中の蛍光現象による光とクラツド
からの反射光を受ける。そうした光による信号を
デジタイザ３６で信号処理した後テレビモニタ３
７上にコアの位置を表示させている。この場合、
フアイバとフアイバの融着接続を目的としている
ため、紫外光線ビームは両フアイバの接続点に照
射可能な様に構成され、又放電でフアイバを融着
させる為の電極（図示せず）がフアイバの周囲に
設けられている。ここで挙げた位置検知装置は、
非破壊的にフアイバの種々の特性を計測し得る可
能性があるものの、フアイバ間の接続という限定
した利用を目的としている為にそうして計測した
特性値の情報を逐時製造装置における各種製造パ
ラメータの制御に用いるという思想は生まれなか
つた。また、従来の製造装置による場合、製造後
の測定で所望の規格から外れた特性をもつフアイ
バが作られたことが判明した場合それを棄てるな
どする無駄があつた。 この発明は、光フアイバ製造時にフアイバの各
種特性値を計測しつつ、これらの情報をオンライ
ンで製造側の各種制御パラメータに逐時フイード
バツクさせて制御することにより、精度の高い所
望の特性をもつ光フアイバを製造することが可能
な光フアイバの製造装置及びその製造方法を提供
することを目的とする。このことにより、従来の
装置では達成し得なかつた、諸特性のすぐれた高
精度フアイバを迅速に製造することが可能であ
る。 問題点を解決するための手段 上述の目的を達成する為に、本願で開示する製
造装置は、フアイバのコア内にドープされている
蛍光物質の蛍光現象を利用して該光フアイバの物
理特性を連続的に計測する計測手段とその測定結
果を処理する信号処理手段、さらに該信号処理手
段からの情報をオンライン的にフイードバツクさ
せて製造時の制御パラメータを変化させる制御手
段とを備えたものである。 実施例 第５図に本願の発明に係る光フアイバ製造装置
のブロツクダイヤグラムを示す。プリフオーム製
造部４０で作られたプリフオーム４１が加熱線引
き部４２で加熱され、線引きされて出来るフアイ
バ４３が特性計測部４４に送出される。計測部４
４は、フアイバの断面寸法及び屈折率分布に関す
る物理量を計測し、信号処理の後それらのデータ
をプリフオーム製造部４０及び／又は加熱線引き
部４２にフイードバツクさせて断面寸法及び屈折
率分布に影響を与える製造パラメータを制御す
る。プリフオーム製造部４０と加熱線引き部４２
が一つの製造装置に組込まれていない場合、つま
りあらかじめプリフオーム製造部４４で作られた
プリフオームを加熱線引きする場合には、線引き
工程でのフイードバツク制御のみが可能となる。 またプリフオーム製造の場合には、第６図に示
す様な製造装置を構成するのが望ましい。プリフ
オーム製造部４０で作られたプリフオーム４１は
特性計測部４４′にて計測され、プリフオーム４
１の屈折率分布等に関する物理量が計測され、信
号処理の後、プリフオーム製造部４０にそれらの
データがフイードバツクされて、屈折率分布等に
影響を与える製造パラメータが制御される。 次に、計測部４４，４４′の一例を第７図に示
す。紫外光源Ｓ（例えばHe−Cdレーザ、紫外線
ランプ等）から出た紫外光線を集光レンズL1で
集束させフアイバ５１の軸に垂直に側面から当て
る。この場合、後述する理由で光源の発光効率を
考慮して、フアイバ５１のクラツド５２径より小
さいスポツト径の光を照射するのが望ましい。フ
アイバに照射することにより、その光エネルギー
の一部がコア５３に吸収され、その結果コア５３
内に含まれるGe原子が蛍光を発する。この蛍光
による光とクラツド５２中を通過してくる光とを
対物レンズL2とテレビカメラTVCから成る一視
野系光学システム５４で観測する。テレビカメラ
TVCからの信号はアナログ／デジタル変換器５
５によりデジタル変換され、フレームメモリ５６
に最初に設定した方向からデータが記憶させら
れ、次に駆動手段６０により一視野系光学システ
ム５４が所定角度（例えば90゜）だけ回転させら
れ、再びテレビカメラTVCからの信号がアナロ
グ／デジタル変換器５５によりデイジタル変換さ
れて回転後における方向からのデータがフレーム
メモリ５６に記憶させられる。こうしてフレーム
メモリ５６に記憶させた回転前後の二視野からの
観測データによりそれらのパターンをテレビモニ
タ５８上で重ねて表示させる。 テレビモニタ上のパターンから断面寸法が測定
出来るが、より詳細な計測とコア内屈折率分布の
計測はコンピユータにより信号処理させなければ
ならない。すなわち、パターンの中心を通る一本
の垂直ラインを選び、そのライン上の輝度分布か
らコアとクラツドの境界を知り、その結果コア径
が測定出来るし、またクラツドと空気の境界を知
ることによりクラツド径が測定出来る。非円率と
偏心率については、回転前後の二視野、さらに精
度を上げるには二以上の外視野から観測されるコ
ア径、クラツド径の情報からそれらの程度が知れ
る。 コア内屈折率分布に関しては、コア内及びコア
周辺部の輝度分布をさらに精密に観測することに
より測定出来る。その理由は、コア内Ge原子の
分布が屈折率分布を反映しており、それは蛍光の
コア内空間分布として表われてくるからである。 以上の屈折率分布や断面寸法の計測結果はプリ
ンタ５９に出力させることができる。 第７図に示す計測部は、一視野系の光学システ
ムで多視野系の光学システムと同じ測定効果を得
る為に、上記の様にフアイバは固定しておき、
一視野顕微鏡を回転させるか、光学系は固定し
ておきフアイバ自体を回転可能になる様な構成に
しておく必要がある。 また、上で少し触れ、また下に説明する様に、
計測部の構成の経済性を考慮して、紫外光線を集
光レンズL1でクラツド径（例えば125μｍ）より
小さいスポツト径で被測定フアイバに照射する様
に光学系を構成するのが望ましい。例えば、紫外
光のスポツト径が大きな値の150μｍで紫外光源
のレーザ光のパワーが約４ｍＶ必要とすると、光
パワー密度〔光パワー／〔π×（半径）2〕〕は、約
0.23×10-3ｍＷ／（μｍ）2となる。仮りに同じ光
パワー密度が必要だとすると、紫外光のスポツト
径を小さな値の50μｍとすることにより、必要な
光パワーは0.45ｍＷでよいことになる。光パワー
の減少は紫外光源として低価格のものの使用を可
能とすることになり、経済的であることに加えて
紫外光源の寿命保証時間の点でも低出力の方が有
利である。しかし、紫外光のスポツトがクラツド
径より小さいため、クラツドの外周部からの光が
検知出来ずクラツド径等が計測出来ない可能性が
出てくる。もち論少しは光の回折現象で未照射の
部分にも光が回りこむことが考えられるが、念の
為に以下の対策を講じておく必要がある。 すなわち、スポツトとフアイバが相対的に可動
となる構成にしておく。これには、第８図ａに示
す様にフアイバ６１を固定してスポツト６２が動
く様に構成するか、又は逆に第８図ｂに示す様に
スポツト６２′を固定させてフアイバ６１′が移動
可能となる様構成する。 次に、第７図に示す計測部と同様のものを二視
野系光学システムで構成したものを第９図に示
す。紫外光源Ｓからの光線を集光レンズL1で集
束させ被測定フアイバ５１に軸に垂直に側面から
照射させる。この照射によるGeの蛍光とクラツ
ド中の透過光とを二視野系顕微鏡６５で観測す
る。第９図に示すものは対物レンズL2，L3，L4、
反射ミラーM1，M2、光波合成プリズムＰから成
るものである。顕微鏡６５からの出力光をテレビ
カメラTVC６６に加え、テレビカメラTVC６６
の出力信号をデジタイザ６７で所定の信号処理を
した上でテレビモニタTVM６８上に表示させ
る。コンピユータによる信号処理により表示され
た発光強度分布から屈折率分布及び断面寸法とい
つた情報が得られる。 光フアイバの製造は通常、母材であるプリフオ
ームの製造工程と、プリフオームを加熱して線引
きする線引き工程に別かれている。伝送損失や帯
域、屈折率分布などは前者の工程で決定され、ク
ラツドの形状寸法や強度などの特性は後者の工程
で決定される。第５図、第６図に示すプリフオー
ム製造部４０の一例を、第１０図のプロツクダイ
ヤグラムに従い説明する。 材料ガス量を制御する機構を含むガス供給部Ｇ
からの材料ガスがプリフオーム第１形成部Ｐ１に
送られる。ここで形成された予備プリフオームが
プリフオーム第２形成部Ｐ２に送られて透明プリ
フオームPFが形成される。加熱源Ｈ１，Ｈ２は
夫々第１、第２形成部Ｐ１，Ｐ２を加熱し、第１
の駆動部Ｄ１は夫々必要に応じて加熱源Ｈ１、第
１形成部Ｐ１、第２形成部Ｐ２を所定速度で駆動
させるものである。回転駆動部RDは第１形成部
Ｐ１を所定速度で回転させ、第２駆動部Ｄ２は第
２加熱源を駆動させるものである。 MCVD工程の製造方法を第１０図の各ブロツ
クを用いて説明すると次の様になる。流量を制御
された材料ガスがガス供給部Ｇから供給され、回
転駆動部RDにより回転させられつつ第１加熱源
Ｈ１により加熱されて第１形成部Ｐ１にある石英
パイプに送られる。石英パイプと第１加熱源Ｈ１
は第１駆動手段Ｄ１により相対的に所定速度で動
く様構成されていて、石英パイプ内に堆積層が形
成される。所定厚さの堆積層が形成された後、石
英パイプは第２形成部Ｐ１に送られ、第２加熱源
Ｈ２により加熱され透明なプリフオームPFに形
成される。この際、第２加熱源Ｈ２も必要に応じ
所定速度で第２形成部Ｐ２に沿つて移動させられ
る。また、必要なら第２形成部Ｐ２での石英パイ
プも第１駆動手段Ｄ１により所定速度で移動させ
られる。第２形成部Ｐ２を出たプリフオームPF
に対して第６図に示す計測部４４′により、プリ
フオーム内の屈折率分布等の特性データが計測さ
れ、帰還回路７０を介してフイードバツク制御の
為に逐時ガス供給部Ｇ、第１、第２駆動部Ｄ１，
Ｄ２、第１、第２加熱源Ｈ１，Ｈ２、回転駆動部
RDへ制御信号の形として帰還される。 同様にして、VAD工程の製造方法を第１０図
の各ブロツクを用いて簡単に説明する。第２図に
おける酸水素トーチ１０、カーボン炉１４が夫々
第１、第２の加熱源に対応する。プリフオーム第
１形成部Ｐ１に設けた種棒１２（第２図ａにガラ
ス微粒子が付着し微粉末プリフオームが形成され
る。これが第２加熱源Ｈ２により加熱され第２形
成部Ｐ２で透明プリフオームPFが形成される。 第１１図、第５図に示した加熱線引き部４２の
一例をブロツクダイヤグラムを用いて示す。プリ
フオーム供出部Ｆから送出されるプリフオーム７
２を加熱しつつ線引きし、光フアイバ７３を得
る。線引きには2000℃以上の高温が必要となる
が、線引きに最適な温度は光フアイバの強度、伝
送損失及びフアイバ径等を加味して所定のものに
なる様逐時制御される。プリフオーム表面に傷が
多く存在する場合、線引き後の光フアイバ表面に
残存する恐れがあり、こうした事態を避ける為に
線引き温度は十分に高くしなければならない。し
かし、他方線引き温度が高過ぎると、酸素欠陥に
よる色中心が生じたり、添加物の発泡現象などを
引起こし損失が増加する。 線引きされた後の光フアイバ表面に、外界との
物理的接触などにより傷が生じない様被覆処理部
PCにて５〜100μｍ厚程度のプラスチツクの被膜
が施される。被膜を施され強度が上つた光フアイ
バは巻取り部PDにて巻取られていく。その際、
測定部４４で計測された特性データを活用して帰
還信号を作り、帰還回路７１を介して加熱部Ｈ及
び巻取り部PDへ制御信号として送り、光フアイ
バの線引き時に逐時線引き条件を精密に制御す
る。 以上、第１０図、第１１図において制御システ
ムの構成について記述したが、更に別の制御シス
テムを第１２図に示す。第１２図は、第５図と第
６図に示す制御システムを組合せた構成を採用す
る光フアイバの製造装置のブロツクダイヤグラム
を示す。第１２図において、第５、第６図におけ
るブロツク、部分と同一の又はそれに相当するブ
ロツク、部分には夫々同じ符号を付している。 製造されてきた光フアイバ４３の物理特性が計
測部４４にて連続して計測され、その計測結果に
基づく情報がプリフオーム製造部４０、加熱線引
き部４２へ制御信号の形で帰還される。この制御
に加えて、プリフオーム製造部４０から送出され
てくるプリフオーム４１の物理特性が別の計測部
４４′により連続して計測され、同様に計測結果
に基づく情報がプリフオーム製造部４０へ制御信
号の形で帰還される。第１２図に示す制御システ
ムの構成を採用することにより、プリフオーム及
び光フアイバを一貫して製造する光フアイバの製
造装置において、より精度の高い制御の下で光フ
アイバを製造することが出来る。例えば、プリフ
オーム内の屈折率分布が連続して計測され、その
計測結果がプリフオーム内の不純物量を制御する
材料ガスの流量制御とかプリフオーム製造部の加
熱温度制御に逐時反映され、加えて光フアイバの
コア径、クラツド径等の断面寸法が同じく連続し
て計測され、その計測結果が加熱線引き部の加熱
温度とか線引き速度の制御に逐時反映された形で
光フアイバが製造される。この結果、希望する特
性を持つた光フアイバがさらに高精度に製造出来
る、という利点がある。 以上記述した制御システムの構成をもつ本願に
係る製造装置及び製造方法によれば、従来生じて
いた様な製造時の問題点、例えばコア周辺部
（コアとクラツドとの境界）での低屈折率のすそ
引きの除去、つまりコアとクラツドとの境界で屈
折率が顕著に変化させられない点とか、コア周
辺部の屈折率分布（不純物分布）の不整の除去の
点等が高精度制御による製造により解決される。 なお、第５図等に示す計測部の紫外光源とし
て、レーザ光線源以外の紫外線ランプ等の光源を
用いる場合も、光学システムの簡単な変形により
レーザ光線源を用いる場合と同じ様な測定効果を
得ることが出来る。 発明の効果 この発明に係る光フアイバ製造方法及び装置で
は、フアイバのコア内にドープされた蛍光物質の
蛍光現象を利用して該光フアイバの物理特性を計
測するようにしている。したがつて、重要な特性
であるコア内屈折率分布やコア径が高精度に測定
できるだけでなく、クラツドの外径も測定でき、
これに基づいて製造パラメータを制御することが
できる。その結果、コアの非円率及び偏心率も精
度よく制御可能となり、所望の高性能特性を有す
る光フアイバを製造することができる。
アイバの各種特性値を計測しつつ製造時の各種制
御パラメータを制御して所望の特性をもつ光フア
イバを精度よく製造することが可能な製造装置に
関する。 従来技術および発明が解決しようとする問題点 光フアイバの従来の製造方法は通常、母材であ
るプリフオームの製造工程と、プリフオームを加
熱して線引きする線引き工程とに別かれている。
従来の製造方法には代表的なものとして、内付け
法、いわゆるMCVD法及びVAD法がある。 第１図ａ，ｂにMCVD工程を模式的に示し、
第２図にVAD製造工程を模式的に示す。まず、
第１図に示す工程において、製造後の石英系光フ
アイバ内の屈折率分布を制御する為のドーパント
（例えばGe、Ｐ、Ｂ）のハロゲン化物（例えば
GeCl4、POCl3、BBr3）が酸素中に気化される。
これらのガスの流量はキヤリアガスである酸素の
流量をマスクローコントローラーMFCで制御す
ることによつて制御される。気化した気体はガラ
ス旋盤１により一定のスピードで回転している石
英パイプ３の中へ導かれる。この石英パイプ３は
酸水素炎バーナー２により外部から加熱され、そ
の結果ガラスパイプ中でハロゲン化物が酸化し、
Ge、Ｐ、Ｂ等を含む薄い石英ガラス膜がパイプ
３の内面に付着すると共に、不透明な石英ガラス
微粒子が気体下流の石英パイプ３の内面に付着す
る。石英パイプ外部の酸水素炎は気体流と同方向
へゆつくりと動かされ、内面に付着した不透明ガ
ラスを融かし、透明なガラスにする。 光フアイバのコアになるのに十分な量の透明な
石英膜４が石英パイプ内面に堆積された後（第１
図ｂ）、その石英パイプは1900℃程度に加熱され、
熱によりつぶされ、棒状のプリフオーム５にな
る。これを電気炉６で加熱し線引きをすると光フ
アイバ７が得られる。 他方の第２図に示すVAD製造工程は、スート
堆積、脱水、焼結などの工程から成つている。酸
水素トーチ１０による酸水素炎中での酸化及び加
水分解反応によりガラス微粒子１１が生成され、
適当なガラス棒１２の下端に吹き付けられる（第
２図ａ）。そのガラス微粒子１１は、白い粉が固
められたような微粒粉末プリフオーム１３を形成
し、軸方向に成長する。そのプリフオーム１３
は、均一で外径が一定になるよう回転させられな
がら、ゆつくりと上に引き上げられていく。次に
その微粉末プリフオーム１３はカーボン炉１４な
どにより1500℃に加熱され、透明なプリフオーム
１５に焼結される。 以上例示した二つの製造方法において、屈折率
分布は、例えばGeCl4の流量を制御することによ
り変化できるが、複雑な屈折率分布を実現したい
ときは不純物の混入量を時々刻々コンピユータで
制御する必要がある。そうした制御に関しては、
出来上りのフアイバ、すなわち製造ラインからは
ずされたフアイバの特性変化を何らかの形で製造
側にフイードバツクすることは試みられている
が、製造時におけるプリフオーム又はフアイバの
諸特性の情報を逐時プリフオーム及びフアイバの
製造側の種々の製造制御パラメータにフイードバ
ツクさせてプリフオーム又はフアイバの諸特性を
より良く制御しようとすることはこれまで行われ
ていなかつた。 最近、光通信に利用される光フアイバの断面寸
法が国際的に標準化された事に伴い、光フアイバ
製造会社及びその関連機関が製造したフアイバの
断面寸法やコア内屈折率分布等の種々の特性値を
精密に計測し製造時の各種制御パラメータの制御
に反映させて高精度な諸特性をもつフアイバを製
造することが重要となつてきている。 第３図に光フアイバの構造を示す。石英のコア
２１とクラツド２２及びプラスチツクの被覆材２
３から構成される光フアイバはコア２１内の屈折
率分布やその他の量によつて伝送特性が異なる。
その他の量としては、コア径、クラツド径、コア
やクラツドの非円率、偏心率等があり、以下これ
らをまとめて断面寸法と書く。 さて、光フアイバの断面寸法を計測する方法と
しては大別して次の二つが知られている。 (a) フアイバの端面よりレーザ光又は通常の光を
照射し、他の端面から伝搬して来た光を顕微鏡
又は相当する光学手段を用いて観測し、それで
得られた情報を信号処理した後TVモニタ又は
プロツタ上に表示させて計測する方法。 (b) コア内に屈折率増大物質としてGe原子をド
ープした光フアイバプリフオームに紫外線レー
ザ光を照射し、Geが光を吸収して蛍光を発す
る現象を利用して、コア径、クラツド径及び屈
折率分布を計測する方法。 第４図に、(b)の方法でふれた蛍光現象を利用し
たフアイバ融着装置を示す。この装置ではフアイ
バ３１の側面にHe−Cdレーザからの紫外光線ビ
ーム３２を照射し、その方法から±45°の方向に
互いに90゜の角をなす対物レンズ３３，３３′を設
置した二視野顕微鏡３４を介してテレビカメラ３
５で、フアイバ中の蛍光現象による光とクラツド
からの反射光を受ける。そうした光による信号を
デジタイザ３６で信号処理した後テレビモニタ３
７上にコアの位置を表示させている。この場合、
フアイバとフアイバの融着接続を目的としている
ため、紫外光線ビームは両フアイバの接続点に照
射可能な様に構成され、又放電でフアイバを融着
させる為の電極（図示せず）がフアイバの周囲に
設けられている。ここで挙げた位置検知装置は、
非破壊的にフアイバの種々の特性を計測し得る可
能性があるものの、フアイバ間の接続という限定
した利用を目的としている為にそうして計測した
特性値の情報を逐時製造装置における各種製造パ
ラメータの制御に用いるという思想は生まれなか
つた。また、従来の製造装置による場合、製造後
の測定で所望の規格から外れた特性をもつフアイ
バが作られたことが判明した場合それを棄てるな
どする無駄があつた。 この発明は、光フアイバ製造時にフアイバの各
種特性値を計測しつつ、これらの情報をオンライ
ンで製造側の各種制御パラメータに逐時フイード
バツクさせて制御することにより、精度の高い所
望の特性をもつ光フアイバを製造することが可能
な光フアイバの製造装置及びその製造方法を提供
することを目的とする。このことにより、従来の
装置では達成し得なかつた、諸特性のすぐれた高
精度フアイバを迅速に製造することが可能であ
る。 問題点を解決するための手段 上述の目的を達成する為に、本願で開示する製
造装置は、フアイバのコア内にドープされている
蛍光物質の蛍光現象を利用して該光フアイバの物
理特性を連続的に計測する計測手段とその測定結
果を処理する信号処理手段、さらに該信号処理手
段からの情報をオンライン的にフイードバツクさ
せて製造時の制御パラメータを変化させる制御手
段とを備えたものである。 実施例 第５図に本願の発明に係る光フアイバ製造装置
のブロツクダイヤグラムを示す。プリフオーム製
造部４０で作られたプリフオーム４１が加熱線引
き部４２で加熱され、線引きされて出来るフアイ
バ４３が特性計測部４４に送出される。計測部４
４は、フアイバの断面寸法及び屈折率分布に関す
る物理量を計測し、信号処理の後それらのデータ
をプリフオーム製造部４０及び／又は加熱線引き
部４２にフイードバツクさせて断面寸法及び屈折
率分布に影響を与える製造パラメータを制御す
る。プリフオーム製造部４０と加熱線引き部４２
が一つの製造装置に組込まれていない場合、つま
りあらかじめプリフオーム製造部４４で作られた
プリフオームを加熱線引きする場合には、線引き
工程でのフイードバツク制御のみが可能となる。 またプリフオーム製造の場合には、第６図に示
す様な製造装置を構成するのが望ましい。プリフ
オーム製造部４０で作られたプリフオーム４１は
特性計測部４４′にて計測され、プリフオーム４
１の屈折率分布等に関する物理量が計測され、信
号処理の後、プリフオーム製造部４０にそれらの
データがフイードバツクされて、屈折率分布等に
影響を与える製造パラメータが制御される。 次に、計測部４４，４４′の一例を第７図に示
す。紫外光源Ｓ（例えばHe−Cdレーザ、紫外線
ランプ等）から出た紫外光線を集光レンズL1で
集束させフアイバ５１の軸に垂直に側面から当て
る。この場合、後述する理由で光源の発光効率を
考慮して、フアイバ５１のクラツド５２径より小
さいスポツト径の光を照射するのが望ましい。フ
アイバに照射することにより、その光エネルギー
の一部がコア５３に吸収され、その結果コア５３
内に含まれるGe原子が蛍光を発する。この蛍光
による光とクラツド５２中を通過してくる光とを
対物レンズL2とテレビカメラTVCから成る一視
野系光学システム５４で観測する。テレビカメラ
TVCからの信号はアナログ／デジタル変換器５
５によりデジタル変換され、フレームメモリ５６
に最初に設定した方向からデータが記憶させら
れ、次に駆動手段６０により一視野系光学システ
ム５４が所定角度（例えば90゜）だけ回転させら
れ、再びテレビカメラTVCからの信号がアナロ
グ／デジタル変換器５５によりデイジタル変換さ
れて回転後における方向からのデータがフレーム
メモリ５６に記憶させられる。こうしてフレーム
メモリ５６に記憶させた回転前後の二視野からの
観測データによりそれらのパターンをテレビモニ
タ５８上で重ねて表示させる。 テレビモニタ上のパターンから断面寸法が測定
出来るが、より詳細な計測とコア内屈折率分布の
計測はコンピユータにより信号処理させなければ
ならない。すなわち、パターンの中心を通る一本
の垂直ラインを選び、そのライン上の輝度分布か
らコアとクラツドの境界を知り、その結果コア径
が測定出来るし、またクラツドと空気の境界を知
ることによりクラツド径が測定出来る。非円率と
偏心率については、回転前後の二視野、さらに精
度を上げるには二以上の外視野から観測されるコ
ア径、クラツド径の情報からそれらの程度が知れ
る。 コア内屈折率分布に関しては、コア内及びコア
周辺部の輝度分布をさらに精密に観測することに
より測定出来る。その理由は、コア内Ge原子の
分布が屈折率分布を反映しており、それは蛍光の
コア内空間分布として表われてくるからである。 以上の屈折率分布や断面寸法の計測結果はプリ
ンタ５９に出力させることができる。 第７図に示す計測部は、一視野系の光学システ
ムで多視野系の光学システムと同じ測定効果を得
る為に、上記の様にフアイバは固定しておき、
一視野顕微鏡を回転させるか、光学系は固定し
ておきフアイバ自体を回転可能になる様な構成に
しておく必要がある。 また、上で少し触れ、また下に説明する様に、
計測部の構成の経済性を考慮して、紫外光線を集
光レンズL1でクラツド径（例えば125μｍ）より
小さいスポツト径で被測定フアイバに照射する様
に光学系を構成するのが望ましい。例えば、紫外
光のスポツト径が大きな値の150μｍで紫外光源
のレーザ光のパワーが約４ｍＶ必要とすると、光
パワー密度〔光パワー／〔π×（半径）2〕〕は、約
0.23×10-3ｍＷ／（μｍ）2となる。仮りに同じ光
パワー密度が必要だとすると、紫外光のスポツト
径を小さな値の50μｍとすることにより、必要な
光パワーは0.45ｍＷでよいことになる。光パワー
の減少は紫外光源として低価格のものの使用を可
能とすることになり、経済的であることに加えて
紫外光源の寿命保証時間の点でも低出力の方が有
利である。しかし、紫外光のスポツトがクラツド
径より小さいため、クラツドの外周部からの光が
検知出来ずクラツド径等が計測出来ない可能性が
出てくる。もち論少しは光の回折現象で未照射の
部分にも光が回りこむことが考えられるが、念の
為に以下の対策を講じておく必要がある。 すなわち、スポツトとフアイバが相対的に可動
となる構成にしておく。これには、第８図ａに示
す様にフアイバ６１を固定してスポツト６２が動
く様に構成するか、又は逆に第８図ｂに示す様に
スポツト６２′を固定させてフアイバ６１′が移動
可能となる様構成する。 次に、第７図に示す計測部と同様のものを二視
野系光学システムで構成したものを第９図に示
す。紫外光源Ｓからの光線を集光レンズL1で集
束させ被測定フアイバ５１に軸に垂直に側面から
照射させる。この照射によるGeの蛍光とクラツ
ド中の透過光とを二視野系顕微鏡６５で観測す
る。第９図に示すものは対物レンズL2，L3，L4、
反射ミラーM1，M2、光波合成プリズムＰから成
るものである。顕微鏡６５からの出力光をテレビ
カメラTVC６６に加え、テレビカメラTVC６６
の出力信号をデジタイザ６７で所定の信号処理を
した上でテレビモニタTVM６８上に表示させ
る。コンピユータによる信号処理により表示され
た発光強度分布から屈折率分布及び断面寸法とい
つた情報が得られる。 光フアイバの製造は通常、母材であるプリフオ
ームの製造工程と、プリフオームを加熱して線引
きする線引き工程に別かれている。伝送損失や帯
域、屈折率分布などは前者の工程で決定され、ク
ラツドの形状寸法や強度などの特性は後者の工程
で決定される。第５図、第６図に示すプリフオー
ム製造部４０の一例を、第１０図のプロツクダイ
ヤグラムに従い説明する。 材料ガス量を制御する機構を含むガス供給部Ｇ
からの材料ガスがプリフオーム第１形成部Ｐ１に
送られる。ここで形成された予備プリフオームが
プリフオーム第２形成部Ｐ２に送られて透明プリ
フオームPFが形成される。加熱源Ｈ１，Ｈ２は
夫々第１、第２形成部Ｐ１，Ｐ２を加熱し、第１
の駆動部Ｄ１は夫々必要に応じて加熱源Ｈ１、第
１形成部Ｐ１、第２形成部Ｐ２を所定速度で駆動
させるものである。回転駆動部RDは第１形成部
Ｐ１を所定速度で回転させ、第２駆動部Ｄ２は第
２加熱源を駆動させるものである。 MCVD工程の製造方法を第１０図の各ブロツ
クを用いて説明すると次の様になる。流量を制御
された材料ガスがガス供給部Ｇから供給され、回
転駆動部RDにより回転させられつつ第１加熱源
Ｈ１により加熱されて第１形成部Ｐ１にある石英
パイプに送られる。石英パイプと第１加熱源Ｈ１
は第１駆動手段Ｄ１により相対的に所定速度で動
く様構成されていて、石英パイプ内に堆積層が形
成される。所定厚さの堆積層が形成された後、石
英パイプは第２形成部Ｐ１に送られ、第２加熱源
Ｈ２により加熱され透明なプリフオームPFに形
成される。この際、第２加熱源Ｈ２も必要に応じ
所定速度で第２形成部Ｐ２に沿つて移動させられ
る。また、必要なら第２形成部Ｐ２での石英パイ
プも第１駆動手段Ｄ１により所定速度で移動させ
られる。第２形成部Ｐ２を出たプリフオームPF
に対して第６図に示す計測部４４′により、プリ
フオーム内の屈折率分布等の特性データが計測さ
れ、帰還回路７０を介してフイードバツク制御の
為に逐時ガス供給部Ｇ、第１、第２駆動部Ｄ１，
Ｄ２、第１、第２加熱源Ｈ１，Ｈ２、回転駆動部
RDへ制御信号の形として帰還される。 同様にして、VAD工程の製造方法を第１０図
の各ブロツクを用いて簡単に説明する。第２図に
おける酸水素トーチ１０、カーボン炉１４が夫々
第１、第２の加熱源に対応する。プリフオーム第
１形成部Ｐ１に設けた種棒１２（第２図ａにガラ
ス微粒子が付着し微粉末プリフオームが形成され
る。これが第２加熱源Ｈ２により加熱され第２形
成部Ｐ２で透明プリフオームPFが形成される。 第１１図、第５図に示した加熱線引き部４２の
一例をブロツクダイヤグラムを用いて示す。プリ
フオーム供出部Ｆから送出されるプリフオーム７
２を加熱しつつ線引きし、光フアイバ７３を得
る。線引きには2000℃以上の高温が必要となる
が、線引きに最適な温度は光フアイバの強度、伝
送損失及びフアイバ径等を加味して所定のものに
なる様逐時制御される。プリフオーム表面に傷が
多く存在する場合、線引き後の光フアイバ表面に
残存する恐れがあり、こうした事態を避ける為に
線引き温度は十分に高くしなければならない。し
かし、他方線引き温度が高過ぎると、酸素欠陥に
よる色中心が生じたり、添加物の発泡現象などを
引起こし損失が増加する。 線引きされた後の光フアイバ表面に、外界との
物理的接触などにより傷が生じない様被覆処理部
PCにて５〜100μｍ厚程度のプラスチツクの被膜
が施される。被膜を施され強度が上つた光フアイ
バは巻取り部PDにて巻取られていく。その際、
測定部４４で計測された特性データを活用して帰
還信号を作り、帰還回路７１を介して加熱部Ｈ及
び巻取り部PDへ制御信号として送り、光フアイ
バの線引き時に逐時線引き条件を精密に制御す
る。 以上、第１０図、第１１図において制御システ
ムの構成について記述したが、更に別の制御シス
テムを第１２図に示す。第１２図は、第５図と第
６図に示す制御システムを組合せた構成を採用す
る光フアイバの製造装置のブロツクダイヤグラム
を示す。第１２図において、第５、第６図におけ
るブロツク、部分と同一の又はそれに相当するブ
ロツク、部分には夫々同じ符号を付している。 製造されてきた光フアイバ４３の物理特性が計
測部４４にて連続して計測され、その計測結果に
基づく情報がプリフオーム製造部４０、加熱線引
き部４２へ制御信号の形で帰還される。この制御
に加えて、プリフオーム製造部４０から送出され
てくるプリフオーム４１の物理特性が別の計測部
４４′により連続して計測され、同様に計測結果
に基づく情報がプリフオーム製造部４０へ制御信
号の形で帰還される。第１２図に示す制御システ
ムの構成を採用することにより、プリフオーム及
び光フアイバを一貫して製造する光フアイバの製
造装置において、より精度の高い制御の下で光フ
アイバを製造することが出来る。例えば、プリフ
オーム内の屈折率分布が連続して計測され、その
計測結果がプリフオーム内の不純物量を制御する
材料ガスの流量制御とかプリフオーム製造部の加
熱温度制御に逐時反映され、加えて光フアイバの
コア径、クラツド径等の断面寸法が同じく連続し
て計測され、その計測結果が加熱線引き部の加熱
温度とか線引き速度の制御に逐時反映された形で
光フアイバが製造される。この結果、希望する特
性を持つた光フアイバがさらに高精度に製造出来
る、という利点がある。 以上記述した制御システムの構成をもつ本願に
係る製造装置及び製造方法によれば、従来生じて
いた様な製造時の問題点、例えばコア周辺部
（コアとクラツドとの境界）での低屈折率のすそ
引きの除去、つまりコアとクラツドとの境界で屈
折率が顕著に変化させられない点とか、コア周
辺部の屈折率分布（不純物分布）の不整の除去の
点等が高精度制御による製造により解決される。 なお、第５図等に示す計測部の紫外光源とし
て、レーザ光線源以外の紫外線ランプ等の光源を
用いる場合も、光学システムの簡単な変形により
レーザ光線源を用いる場合と同じ様な測定効果を
得ることが出来る。 発明の効果 この発明に係る光フアイバ製造方法及び装置で
は、フアイバのコア内にドープされた蛍光物質の
蛍光現象を利用して該光フアイバの物理特性を計
測するようにしている。したがつて、重要な特性
であるコア内屈折率分布やコア径が高精度に測定
できるだけでなく、クラツドの外径も測定でき、
これに基づいて製造パラメータを制御することが
できる。その結果、コアの非円率及び偏心率も精
度よく制御可能となり、所望の高性能特性を有す
る光フアイバを製造することができる。
第１図ａ、第１図ｂは従来のMCVD工程を模
式的に示す図、第２図は一般的にAD工程を模式
的に示す図、第３図は一般的に光フアイバの構造
を示す斜視図、第４図は従来のフアイバ融着装置
を示す模式図、第５図は本発明に係る光フアイバ
製造装置のブロツクタイヤグラム、第６図は本発
明に係るプリフオーム製造装置、第７図は本発明
に係る製造装置の計測部の一実施例を示す図、第
８図ａ、第８図ｂはフアイバと紫外光線ビームス
ポート径との相対関係を示す模式図、第９図は本
発明の計測部を二視野系光学システムで構成した
ことを示す図、第１０図は本発明のプリフオーム
製造部のブロツクダイヤグラム、第１１図は本発
明の加熱線引き部のブロツクダイヤグラム、第１
２図は本発明に係る製造装置の更に別の実施例の
ブロツクダイヤグラムである。 図において１……ガラス旋盤、２……酸水素炎
バーナー、３……石英パイプ、４……堆積層、５
……プリフオーム、６……電気炉、７……光フア
イバ、１０……酸水素トーチ、１１……ガラス微
粒子、１２……ガラス棒、１３……微粉末プリフ
オーム、１４……カーボン炉、１５……透明プリ
フオーム、２１……コア、２２……クラツド、２
３……被覆材、３１……フアイバ、３２……紫外
光線ビーム、３３，３３′……対物レンズ、３４
……二視野顕微鏡、３５……テレビカメラ、３６
……デジタイザ、３７……テレビモニタ、４０…
…プリフオーム製造部、４１……プリフオーム、
４２……加熱線引き部、４３……フアイバ、４
４，４４′……特性計測部、L1……集光レンズ、
Ｓ……紫外光源、５１……フアイバ、５２……ク
ラツド、５３……コア、５４……一視野系光学シ
ステム、５５……アナログ／デジタル変換器、５
６……フレームメモリ、５７……コンピユータ、
５８……テレビモニタ、５９……プリンタ、６０
……駆動手段、６１，６１′……フアイバ、６２，
６２′……スポツト、６５……二視野系顕微鏡、
６６……テレビカメラ、６７……デジタイザ、６
８……テレビモニタ、Ｄ１，Ｄ２……駆動部、Ｇ
……ガス供給部、Ｈ１，Ｈ２……加熱源、Ｐ……
透明プリフオーム、Ｐ１，Ｐ２……形成部、RD
……回転駆動部、７０……帰還回路、Ｆ……プリ
フオーム供出部、Ｈ……加熱部、PC……被覆処
理部、PD……巻取り部、７１……帰還回路、７
２……プリフオーム、７３……光フアイバであ
る。なお各図中同一符号は同一または相当部分を
示すものとする。
式的に示す図、第２図は一般的にAD工程を模式
的に示す図、第３図は一般的に光フアイバの構造
を示す斜視図、第４図は従来のフアイバ融着装置
を示す模式図、第５図は本発明に係る光フアイバ
製造装置のブロツクタイヤグラム、第６図は本発
明に係るプリフオーム製造装置、第７図は本発明
に係る製造装置の計測部の一実施例を示す図、第
８図ａ、第８図ｂはフアイバと紫外光線ビームス
ポート径との相対関係を示す模式図、第９図は本
発明の計測部を二視野系光学システムで構成した
ことを示す図、第１０図は本発明のプリフオーム
製造部のブロツクダイヤグラム、第１１図は本発
明の加熱線引き部のブロツクダイヤグラム、第１
２図は本発明に係る製造装置の更に別の実施例の
ブロツクダイヤグラムである。 図において１……ガラス旋盤、２……酸水素炎
バーナー、３……石英パイプ、４……堆積層、５
……プリフオーム、６……電気炉、７……光フア
イバ、１０……酸水素トーチ、１１……ガラス微
粒子、１２……ガラス棒、１３……微粉末プリフ
オーム、１４……カーボン炉、１５……透明プリ
フオーム、２１……コア、２２……クラツド、２
３……被覆材、３１……フアイバ、３２……紫外
光線ビーム、３３，３３′……対物レンズ、３４
……二視野顕微鏡、３５……テレビカメラ、３６
……デジタイザ、３７……テレビモニタ、４０…
…プリフオーム製造部、４１……プリフオーム、
４２……加熱線引き部、４３……フアイバ、４
４，４４′……特性計測部、L1……集光レンズ、
Ｓ……紫外光源、５１……フアイバ、５２……ク
ラツド、５３……コア、５４……一視野系光学シ
ステム、５５……アナログ／デジタル変換器、５
６……フレームメモリ、５７……コンピユータ、
５８……テレビモニタ、５９……プリンタ、６０
……駆動手段、６１，６１′……フアイバ、６２，
６２′……スポツト、６５……二視野系顕微鏡、
６６……テレビカメラ、６７……デジタイザ、６
８……テレビモニタ、Ｄ１，Ｄ２……駆動部、Ｇ
……ガス供給部、Ｈ１，Ｈ２……加熱源、Ｐ……
透明プリフオーム、Ｐ１，Ｐ２……形成部、RD
……回転駆動部、７０……帰還回路、Ｆ……プリ
フオーム供出部、Ｈ……加熱部、PC……被覆処
理部、PD……巻取り部、７１……帰還回路、７
２……プリフオーム、７３……光フアイバであ
る。なお各図中同一符号は同一または相当部分を
示すものとする。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光フアイバの母材であるプリフオームを所定
の制御下で加熱する加熱手段と、光フアイバを制
御下の線引き速度で線引する線引手段とを具備す
る光フアイバの製造装置において、前記光フアイ
バの線引き時にフアイバのコア内にドープされて
いる蛍光物質の蛍光現象を利用して該光フアイバ
の物理特性を計測する計測手段と、その測定結果
を演算処理する信号演算処理手段と、前記信号演
算処理手段からの情報信号を前記加熱手段と前記
線引手段の少なくとも１つにフイードバツクさせ
る帰還回路とを具備する事を特徴とする光フアイ
バの製造装置。 ２ 回転する石英パイプに材料気体とキヤリヤガ
スを流し、第１の温度で該パイプ外壁面を走行す
る第２の加熱手段で加熱しガラスの堆積層を該パ
イプ内壁面に形成させ、その後前記第１の温度よ
り高温の第２の温度で前記石英パイプを加熱しプ
リフオームを形成するよう構成した堆積法プリフ
オーム製造部を更に具備し、前記信号演算処理手
段からの情報信号を前記プリフオーム製造部にフ
イードバツクさせる第２の帰還回路を更に備え、
前記情報信号に基づき、前記石英パイプの回転速
度、前記材料気体の量、前記キヤリヤガスの量、
前記第１の温度、前記第２の加熱手段の走行速度
の少なくとも１つを制御するよう構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフアイバ
製造装置。 ３ 回転する種棒を第１の温度で加熱し、材料ガ
スの酸化及び加水分解反応によりガラス微粒子を
前記種棒の下端に吹き付け微粉末プリフオームを
形成し、前記微粉末プリフオームを第２の温度で
掃引される第２の加熱手段で加熱・焼結し透明プ
リフオームを形成するよう構成した軸付け法プリ
フオーム製造部を更に具備し、前記信号演算処理
手段からの情報信号を前記プリフオーム製造部に
フイードバツクさせる第２の帰還回路を更に備
え、前記情報信号に基づき、前記種棒の回転速
度、前記第１の温度、前記材料ガスの量、前記第
２の温度、前記第２の加熱手段の掃引速度のうち
少なくとも１つを制御する様構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光フアイバの
製造装置。 ４ 前記計測手段が一視野顕微鏡とテレビカメラ
から構成され、前記信号演算処理手段はデジタイ
ザ、テレビモニタ及びコンピユータから構成され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１〜第
３項のいずれかに記載の光フアイバの製造装置。 ５ 前記計測手段が二視野顕微鏡とテレビカメラ
から構成され、前記信号演算処理手段はデジタイ
ザ、テレビモニタ及びコンピユータから構成され
ている事を特徴とする特許請求の範囲第１〜第３
項のいずれかに記載の光フアイバの製造装置。 ６ 光フアイバの母材であるプリフオームを加熱
手段により加熱し、引張制御手段で可変の線引速
度でプリフオームを線引して光フアイバを製造す
る光フアイバの製造方法において、前記光フアイ
バの線引き中にフアイバのコア内にドープされて
いる蛍光物質の蛍光現象を利用して該光フアイバ
の物理特性を計測手段により連続的に計測し、そ
の測定結果を信号演算処理手段により演算処理
し、前記信号演算処理手段からの情報信号を帰還
回路を介して前記加熱制御手段及び前記引張制御
手段に帰還させて前記加熱制御手段の加熱制御及
び前記引張制御手段の引張制御を行わせる事を特
徴とする光フアイバの製造方法。 ７ 前記プリフオームは、回転する石英パイプに
材料気体とキヤリアガスが流され、第１の温度で
走行する加熱手段で該パイプ外壁面が加熱され、
ガラスの堆積層が該パイプ内壁面に形成させら
れ、その後前記第１の温度より高温の第２の温度
で前記石英パイプが加熱されプリフオーム形成部
にて形成され、前記信号演算処理手段からの情報
信号を第２の帰還回路を介して前記プリフオーム
形成部に帰還し、前記情報信号に基づき、前記石
英パイプの回転速度、前記材料気体の量、前記キ
ヤリヤガスの量、前記第１、第２の温度、前記第
２の加熱手段の走行速度のうち少なくとも１つを
制御する事を特徴とする特許請求の範囲第６項に
記載の光フアイバの製造方法。 ８ 回転する種棒を第１の温度で加熱し、材料ガ
スの酸化及び加水分解反応によりガラス微粒子を
前記種棒の下端に吹き付け微粉末プリフオームを
形成し、前記微粉末プリフオームを第２の温度で
掃引される第２の加熱手段で加熱・焼結するプリ
フオーム製造部にて透明プリフオームを形成し、
前記信号演算処理手段からの情報信号を第３の帰
還回路を介して前記プリフオーム製造部に帰還さ
せ、前記情報信号に基づき、前記種棒の回転速
度、前記第１、第２の温度、前記材料ガスの量、
前記加熱手段の掃引速度のうち少なくとも１つを
制御することを特徴とする特許請求の範囲第６項
に記載の光フアイバの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13208383A JPS6027616A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 光フアイバの製造装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13208383A JPS6027616A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 光フアイバの製造装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6027616A JPS6027616A (ja) | 1985-02-12 |
| JPS6335577B2 true JPS6335577B2 (ja) | 1988-07-15 |
Family
ID=15073099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13208383A Granted JPS6027616A (ja) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | 光フアイバの製造装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6027616A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2809386B1 (fr) * | 2000-05-25 | 2003-01-17 | Cit Alcatel | Procede de fabrication d'une fibre optique avec controle des caracteristiques de transmission |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52122134A (en) * | 1976-04-09 | 1977-10-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Production of optical fibers |
| JPS52129532A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-31 | Hitachi Ltd | Wire drawing for optical fibers |
-
1983
- 1983-07-20 JP JP13208383A patent/JPS6027616A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6027616A (ja) | 1985-02-12 |
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