JPS6337614A - プラズマ電極 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、プラズマＣＶＤ装置等の半導体製造装置に利
用されるプラズマ電極に関する。

（従来の技術） 一般にプラズマＣＶＤ装置等の半導体製造装置に用いら
れるプラズマ電極は、円板状の電極板を多数平行に並べ
、これらの電極板列に添って平行に配置さ゛れた２本の
棒状のリード電極によって電極板を支持するよう構成さ
れている。

これらの電極板は、一つおきに異なる側の一方のリード
電極に溶接により固着され、他方のリード電極には絶縁
体部を介して係止されるよう構成されている。

そして、例えばプラズマＣＶＤ装置では、これらの電極
板間に半導体ウェハを配置して、処理室内へ挿入し、所
定の反応ガス雰囲気下でリード電極から電極板間に高周
波電力を供給して電極板間にプラズマを発生させ、ＣＶ
Ｄを行なう。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら上記説明の従来のプラズマ電極では、処理
条件の変更等により電極板の間隔を変更したり、半導体
ウェハの処理枚数によって電極板数を増減させたりする
ためには、これらの条件に合わけて多数のプラズマ電極
が必要となり、コストの増大を招いたり、処理条件か制
限される等の問題があった。

本発明は、係る従来の事情に対処してなされたもので、
電極板の間隔、電極板枚数等を任意に変えることができ
、一つのプラズマ電極で広範囲な条件で処理を行なうこ
とのできるプラズマ電極を提供しようとするものである
。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、互いに平行して同軸的に複数配列さ
れた電極板と、これらの電極板列に添って平行に少なく
とも２本配置され前記電極板を支持する棒状のリード電
極とを備え、対向する前記電極板がそれぞれ異なった前
記リード電極に電気的に接続されたプラズマ電極におい
て、前記電極板と前記リード電極との接続部に、前記電
極板間隔を前記リード電極上に沿って移動、固定可能と
する接続機構を配置したことを特徴とする。

（作用） 本発明のプラズマ電極では、電極板とリード電極との接
続部に、電極板をリード電極上に移動、固定可能とする
接続機構か配置されており、電極板間の間隔および電極
板枚数等を任意に変えることができる。

（実施例） 以下本発明の詳細を図面を参照して一実施例について説
明する。

第１図ないし第３図は本発明の一実施例のプラズマ電極
を示すもので、この実施例のプラズマ電極では、例えば
アルマイト処理を施されたアルミ等からなる２本の直径
例えば７ｍｍ　、長さ１ｍ８０ｃｍの棒状リード電極１
ａ、１ｂが平行に配置され、これらのリード電極１ａ、
ｌｂ間には、例えばアルマイト処理を施されたアルミ等
からなり、板状、例えば直径１７５ｍｍ程度の円板状の
電極板２が、電極１８１１ｂと交差、例えば直行する如
く多数平行に配列されている。なお、電極板２と電極板
２との間隔は、１ｃｍ以上、例えば２ｃｍとされている
。

これらの電極板２円周側縁の上記リード電極１ａ、１ｂ
との対接部には、第２図にも示すように一方に例えばア
ルマイト処理を施されたアルミ等からなりリード電極１
ａ、１ｂよりやや径大な例えば７．１ｍｍ程度の内径を
有し、側壁を貫通して配置された固定用のネジ３ａを備
えた円筒状のスライダ３が溶接され、他方にリード電極
１ａ、１ｂの外径に合わせて例えば直径１６ｍｍの円弧
状切欠部４が形成されている。なお、電極板２の側縁上
部には、例えば深さ１ｍｍ、幅３０ｍｍのピンセットさ
しこみ溝２ａ、板面下方には、間隔を設けて２つの半導
体ウェハ支持用石英製治具２ｂが配置されている。この
治具２ｂは、円板状の半導体ウェハ６をフックする構造
になっており、電極板２面に沿って上方から半導体ウェ
ハ６を挿入載置する構造となっている。

そして第３図にも示すように、電極板２に固着されたス
ライダ３にリード電極１ａ、１ｂの一方を挿入し、固定
用ネジ３ａによって固定してリード電１ｉ１ａ、１ｂと
電極板２との電気的接続を行ない、電極板２の切欠部４
を石英等から成る円筒状の絶縁体部５を介して他方のリ
ード電極１ｂ、１ａに係止させ、電極板２をウェハボー
ト７上でリード電極１ａ、１ｂ間に固定する。なお、上
記した電極板２のリード電極１ａ、１ｂに対する電気的
接続は、１枚おきに異なった側のリード電極１ａ、１ｂ
に接続されるよう配列される。これは対向する電極板２
間にプラズマを生起するための電界を形成するためであ
る。

すなわち、電極板２に設けられた治具２ｂに半導体ウェ
ハ６がＭ、置され、この半導体ウェハ６を支持する電極
板２を石英からなるウェハボート７とリード電極１ａ、
１ｂとで固定配置する構造になっている。この時、ウェ
ハボート７に電極板２の間隔毎にｖ字状溝を設けること
も必要に応じて行なわれる。

このような状態のウェハボート７は、例えばプラズマＣ
ＶＤ装置等の処理室内に挿入配置され、リード電極１ａ
、’１ｂが上記プラズマＣＶＤ装置のドアフランジ７の
端子７ａに電気的に接続される。そして、このプラズマ
ＣＶＤ装霜内に所定の反応ガス、例えばＳ＋　ＨａとＮ
Ｈ３等の反応ガスを流動させ、この反応ガス雰囲気下で
、端子７ａからリード電極１ａ、１ｂを介して電極板２
間に高周波電力例えば１３．７５）ｆＨ２を印加し、各
電極板２間にプラズマを発生させ、ＣＶＤ等の処理を行
う。

上記構成のこの実施例のプラズマ電極では、電極板２の
間隔は、処理条件等によりスライダ３上の固定用ネジ３
ａを緩め、スライダ３をリード電極１ａ、１ｂ上をスラ
イドさせることにより任意に変えることができ、電極２
の着脱も可能とされているので、半導体ウェハ６の処理
枚数等により電極板２の枚数も任意に変えることができ
る。従って、一つのプラズマ電極で広範囲な処理条件に
より処理を行うことができる。

［発明の効果］ 上述のように本発明のプラズマ電極では、電極板間の間
隔、電極板の枚数等を任意に変えることができ、一つの
プラズマ電極で広範囲な処理条件で処理を行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のプラズマ電極を示す斜視図
、第２図は第１図の要部を拡大して示す斜視図、第３図
は第１図の上面図である。 １ａ、１ｂ・・・リード電極、２・・・・・・電極板、
３・・・・・・スライダ、３ａ・・・・・・固定用ネジ
、４・・・・・・切欠部、５・・・・・・絶縁体部、６
・・・・・・半導体ウェハ。 出願人−東京エレクトロン株式会社 代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第１図 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに平行して複数同軸的に配列された電極板と
   、これらの電極板列に添って平行に少なくとも２本配置
   され前記電極板を支持する棒状のリード電極とを備え、
   対向する前記電極板がそれぞれ異なつた前記リード電極
   に電気的に接続されたプラズマ電極において、前記電極
   板と前記リード電極との接続部に、前記電極板間隔を前
   記リード電極上に沿って移動、固定可能とする接続機構
   を配置したことを特徴とするプラズマ電極。