JPS6338330U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338330U JPS6338330U JP1986130531U JP13053186U JPS6338330U JP S6338330 U JPS6338330 U JP S6338330U JP 1986130531 U JP1986130531 U JP 1986130531U JP 13053186 U JP13053186 U JP 13053186U JP S6338330 U JPS6338330 U JP S6338330U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing jig
- semiconductor
- arrangement direction
- wafer arrangement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図乃至第４図は、本考案に係る半導体製造
治具の一実施例を示す図面で、第１図は、一部断
面を含む側面図、第２図は、第１図の正面図、第
３図は機能を説明するための一部断面を含む側面
図、第４図は第３図の部分拡大平面図である。第
５図並びに第６図は、夫々、上記半導体製造治具
の半導体製造工程における利用例を説明するため
の図面である。第７図および第８図は半導体製造
治具を収容した状態のコンテナを搭載した搬送車
の正面図および側面図、第９図は半導体ウエーハ
を整列収納する半導体製造治具の一部断面図を含
む側面図、第１０図は第９図のＡ―Ａ線に沿う断
面図、第１１図は第９図の半導体製造治具の部分
拡大平面図である。 ６ａ……側板、７……半導体ウエーハ、８……
保持溝、１０……半導体製造治具（キヤリア）。
治具の一実施例を示す図面で、第１図は、一部断
面を含む側面図、第２図は、第１図の正面図、第
３図は機能を説明するための一部断面を含む側面
図、第４図は第３図の部分拡大平面図である。第
５図並びに第６図は、夫々、上記半導体製造治具
の半導体製造工程における利用例を説明するため
の図面である。第７図および第８図は半導体製造
治具を収容した状態のコンテナを搭載した搬送車
の正面図および側面図、第９図は半導体ウエーハ
を整列収納する半導体製造治具の一部断面図を含
む側面図、第１０図は第９図のＡ―Ａ線に沿う断
面図、第１１図は第９図の半導体製造治具の部分
拡大平面図である。 ６ａ……側板、７……半導体ウエーハ、８……
保持溝、１０……半導体製造治具（キヤリア）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 所定の間隔でもつて連結した対向する側板の内
面に、半導体ウエーハを整列保持する多数の保持
溝を互いに対向させて定ピツチで形成した半導体
製造治具において、 上記両側板の半導体ウエーハ配列方向の一端側
を、上記半導体製造治具を半導体ウエーハ配列方
向に傾斜させるために、他端側よりも所定高さ高
く形成したことを特徴とする半導体製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986130531U JPS6338330U (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986130531U JPS6338330U (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338330U true JPS6338330U (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=31028120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986130531U Pending JPS6338330U (ja) | 1986-08-27 | 1986-08-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338330U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111557A (ja) * | 1984-11-06 | 1986-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハの移し替え装置 |
-
1986
- 1986-08-27 JP JP1986130531U patent/JPS6338330U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111557A (ja) * | 1984-11-06 | 1986-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハの移し替え装置 |
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