JPS6340786A - 被覆セラミツクス工具の製造法 - Google Patents
被覆セラミツクス工具の製造法Info
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- JPS6340786A JPS6340786A JP18005786A JP18005786A JPS6340786A JP S6340786 A JPS6340786 A JP S6340786A JP 18005786 A JP18005786 A JP 18005786A JP 18005786 A JP18005786 A JP 18005786A JP S6340786 A JPS6340786 A JP S6340786A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は被覆セラミックス工具の製造法に関するもので
、特に被覆窒化硅素焼結体工具の製造法に関するもので
ある。
、特に被覆窒化硅素焼結体工具の製造法に関するもので
ある。
窒化硅２（８１３Ｎ４）焼結体は一般のセラミックスの
中で極めて靭性が高いことから、従来使用されている切
削工具用セラミックス焼結体であるｐ、１２０．− Ｔ
ｉｅ焼結体（以下点セラと称す）に較べて著しく信頼性
のある夢のセラミックス工具材料として大きく期待され
友。
中で極めて靭性が高いことから、従来使用されている切
削工具用セラミックス焼結体であるｐ、１２０．− Ｔ
ｉｅ焼結体（以下点セラと称す）に較べて著しく信頼性
のある夢のセラミックス工具材料として大きく期待され
友。
しかしながら、この窒化硅素焼結体は硬さがと７ｆｊ−
ス硬度で１５００〜１７００ｋｔ／１１ｒ１１２ と
黒セラに較べて柔らかいことから、実際に鋳物の高速切
削加工などに使用すると耐摩耗性が黒セラに較べて不足
する等により、その使用領域は極めて限られたものであ
つ之。そこで特公昭５９−１５４７５号公報に開示され
ている如く、この靭性に富む窒化硅素焼結体を母材とし
、この表面にｉｔ摩耗性に富むＡＩ！２ｏ３の薄膜を被
覆した被覆窒化硅素部材が提案されている。
ス硬度で１５００〜１７００ｋｔ／１１ｒ１１２ と
黒セラに較べて柔らかいことから、実際に鋳物の高速切
削加工などに使用すると耐摩耗性が黒セラに較べて不足
する等により、その使用領域は極めて限られたものであ
つ之。そこで特公昭５９−１５４７５号公報に開示され
ている如く、この靭性に富む窒化硅素焼結体を母材とし
、この表面にｉｔ摩耗性に富むＡＩ！２ｏ３の薄膜を被
覆した被覆窒化硅素部材が提案されている。
特公昭５９−１！５４７５号公報で提案され九Ａ／２０
３被覆窒化硅素は確かに従来の窒化硅素の最大欠点であ
った耐摩耗性を大幅に改善したものである。しかしなが
ら、その製造法は化学蒸着法であり、その被覆温度は＋
ｏｏｏｃであり、窒化硅素焼結体と入ｌ！２０３膜との
間では化学結合しないため、接着強度は十分とは云い難
い。これに対し従来の被覆超硬合金には通常化学蒸着法
が適用され超硬合金母材と被覆膜（ＴＩＯが多い）との
間は化学的に結合されているため接着強度が極めて強固
であり、８ま９問題にはならなかった。
３被覆窒化硅素は確かに従来の窒化硅素の最大欠点であ
った耐摩耗性を大幅に改善したものである。しかしなが
ら、その製造法は化学蒸着法であり、その被覆温度は＋
ｏｏｏｃであり、窒化硅素焼結体と入ｌ！２０３膜との
間では化学結合しないため、接着強度は十分とは云い難
い。これに対し従来の被覆超硬合金には通常化学蒸着法
が適用され超硬合金母材と被覆膜（ＴＩＯが多い）との
間は化学的に結合されているため接着強度が極めて強固
であり、８ま９問題にはならなかった。
上記の理由で被覆窒化硅素部材においては、Ａｌ２Ｏ３
の膜厚は高々５μが限界で、それよシも厚くすると実際
に切削すると初期の段階でｐＪ２０３膜が剥離してしま
うといり大きな欠点がちつ九このことは自動交換システ
ムが普及している切削加工作業にとって大きな問題であ
る。
の膜厚は高々５μが限界で、それよシも厚くすると実際
に切削すると初期の段階でｐＪ２０３膜が剥離してしま
うといり大きな欠点がちつ九このことは自動交換システ
ムが普及している切削加工作業にとって大きな問題であ
る。
本発明は、この被窒化硅素工具の母材と被覆膜との接着
強度の向上を計るものである。
強度の向上を計るものである。
本発明は、ＳＬ、Ｈ４と、ＴｉＣ０、Ｔｌの炭化物、窒
化物、炭窒化物、入ｔ２ｏ３． ｚｒｏ２． ｙ２ｏ３
及びＷＣからなる群のうちの少なくとも１種以上の成分
全５〜７０重量Ｘ含有してなる焼結母材を、温度１２０
０〜＋９００Ｃの範囲に加熱しつつ、ＮＯガス、 ＮＯ
ガス、 ｃｏガス、Ｃ０２ガス、 ＮＨ。
化物、炭窒化物、入ｔ２ｏ３． ｚｒｏ２． ｙ２ｏ３
及びＷＣからなる群のうちの少なくとも１種以上の成分
全５〜７０重量Ｘ含有してなる焼結母材を、温度１２０
０〜＋９００Ｃの範囲に加熱しつつ、ＮＯガス、 ＮＯ
ガス、 ｃｏガス、Ｃ０２ガス、 ＮＨ。
ガス、Ｎガス及びＯＨ４ガスからなる群のうちの１以上
のガスよりなる雰囲気中に保持して、該母材表面にＳｘ
、Ｔ１及び／又はＺｒの炭化物、炭酸窒化物及び／又は
窒化物を富化せしめた後、温度１２００〜１７００ｔ：
’の範囲で、ＳＩＣ／４． ＴｘＣ１４及びＺｒ０１４
の１種以上を含む入ｚｃｚ３．ｃｏ２及びＨ２の混合気
流中にて、ＡＩ！２０３とＳ工、Ｔｌ及び／又はｚｒの
炭化物、炭窒化物及び／又は窒化物の混合膜もしくは固
溶体膜を厚さ０．５〜２０μｍ生成せしめ、引き続き厚
さ０．５〜２０μｍのＡｌ２Ｏ３を被覆することを特徴
とする被覆セラミックスの製造法である。
のガスよりなる雰囲気中に保持して、該母材表面にＳｘ
、Ｔ１及び／又はＺｒの炭化物、炭酸窒化物及び／又は
窒化物を富化せしめた後、温度１２００〜１７００ｔ：
’の範囲で、ＳＩＣ／４． ＴｘＣ１４及びＺｒ０１４
の１種以上を含む入ｚｃｚ３．ｃｏ２及びＨ２の混合気
流中にて、ＡＩ！２０３とＳ工、Ｔｌ及び／又はｚｒの
炭化物、炭窒化物及び／又は窒化物の混合膜もしくは固
溶体膜を厚さ０．５〜２０μｍ生成せしめ、引き続き厚
さ０．５〜２０μｍのＡｌ２Ｏ３を被覆することを特徴
とする被覆セラミックスの製造法である。
被覆窒化硅素部材の母材と被覆膜との接着強度の向上を
はかる友めには化学蒸着法における被覆処理温度を上昇
すればよいことは一般的に考えられ得る。しかしながら
、本発明者らがこの被覆処理温度を高めて種々検討し九
結果、成膜の際の雰囲気によって母材表面が変質し、必
ずしも期待した効果が得られないことが分つ次。
はかる友めには化学蒸着法における被覆処理温度を上昇
すればよいことは一般的に考えられ得る。しかしながら
、本発明者らがこの被覆処理温度を高めて種々検討し九
結果、成膜の際の雰囲気によって母材表面が変質し、必
ずしも期待した効果が得られないことが分つ次。
そこで成膜雰囲気による母材表面部の変質を防止する方
法についてさらに研究を進めて、本発明の方法に到達し
た。以下に本発明を工程順に詳しく説明する。■Ｓｌ
ｓ Ｎ ａ焼結体母材１１２００〜１９００Ｃの温度域
に加熱し、被覆処理に入る前工程として、ＮＯガス、
ＮＯ□ガス、 ＣＯガス。
法についてさらに研究を進めて、本発明の方法に到達し
た。以下に本発明を工程順に詳しく説明する。■Ｓｌ
ｓ Ｎ ａ焼結体母材１１２００〜１９００Ｃの温度域
に加熱し、被覆処理に入る前工程として、ＮＯガス、
ＮＯ□ガス、 ＣＯガス。
ＣＯ２ガス、 ＮＨ３ガス及びＣＨ４ガスからなる群の
うちの１以上のガスよりなる雰囲気中に保持し、それに
より母材表面にＳＬ 、 Ｔｌ及び／又はＺｒ の炭窒
化物、炭酸窒化物及び／又は窒化物を富化せしめる。
うちの１以上のガスよりなる雰囲気中に保持し、それに
より母材表面にＳＬ 、 Ｔｌ及び／又はＺｒ の炭窒
化物、炭酸窒化物及び／又は窒化物を富化せしめる。
なお本発明における３１．Ｈ４焼結体母材としては、Ｓ
ｉ３Ｎ４と、Ｔｉｃｏ 、 Ｔ１の炭化物、窒化物、炭
窒化物、 Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２，Ｙ２Ｏ３及びｗｅか
らなる群のうちの少なくとも１種以上の成分を５〜７０
重量％含有するものが好ましい。
ｉ３Ｎ４と、Ｔｉｃｏ 、 Ｔ１の炭化物、窒化物、炭
窒化物、 Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２，Ｙ２Ｏ３及びｗｅか
らなる群のうちの少なくとも１種以上の成分を５〜７０
重量％含有するものが好ましい。
５ＩＮ４ 焼結体母材を、真空中にて１２００〜＋９
ＱＯＣに昇温もしくは加熱保持すると、窒素ガスを分解
放出し、又、焼結助剤等の不純相が粒界に析出したシ、
あるいは５１３Ｎ４． Ａｌ２Ｏ，。
ＱＯＣに昇温もしくは加熱保持すると、窒素ガスを分解
放出し、又、焼結助剤等の不純相が粒界に析出したシ、
あるいは５１３Ｎ４． Ａｌ２Ｏ，。
ＺｒＯ２，Ｙ２Ｏ３又はｗＣとの相互反応を生じる結果
、表面部にボアを発生したり、表面組織が不均一となる
。このような表面ではＡＩ！２０３被覆を行っても、ム
１２０３が均一に核生成することができず、この几めに
ＡＪ！２０３膜の接着性が劣る。
、表面部にボアを発生したり、表面組織が不均一となる
。このような表面ではＡＩ！２０３被覆を行っても、ム
１２０３が均一に核生成することができず、この几めに
ＡＪ！２０３膜の接着性が劣る。
本発明においては真空中ではなく、ＣＯガス。
Ｃ０２ガス、 ＮＯガス、Ｎ０２ガス、 ＮＨ３，Ｎ２
及びＯＨ４ガスからなる群のうちの１以上のガスよシな
る雰囲気中にて１２００〜＋９０００に昇温又は加熱保
持することによって、母材表面にＳ１Ｔ１ 及び／又
はＺｒの炭窒化物、炭酸窒化物及び／又は窒化物を富化
せしめ、これにより母材表面組成を均一化できる。ここ
で富化とは、８１３Ｎ４を主成分とする焼結体表面にお
いて、表面中の３１ 、 Ｔｉ及び／又ｉＺｒの炭窒化
物、炭酸窒化物及び／又は窒化物の割合が内部における
よりも多くなる、あるいはＳＬ、Ｎ４相が消失してなる
ことをいう。■、上記■の工程後引き続き温度１２００
〜ｔ７００ｃにおいて、該母材表面にＦ３ｘＣ１４゜Ｔ
ＩＧ／ 及びＺｒＣｌ４のうちの１種以上をドーパン
トとして含むｋ１２Ｇ／３． ｃｏ□及びＮ２からなる
混合気流を導入し、厚さＤｉ 〜５ μｍのｋｌ！２０
３と３１゜Ｔ１及びＺｒのうちの１種以上の炭化物、炭
窒化物及び／又は窒化物との混合物もしくは固溶膜を生
成せしめる。
及びＯＨ４ガスからなる群のうちの１以上のガスよシな
る雰囲気中にて１２００〜＋９０００に昇温又は加熱保
持することによって、母材表面にＳ１Ｔ１ 及び／又
はＺｒの炭窒化物、炭酸窒化物及び／又は窒化物を富化
せしめ、これにより母材表面組成を均一化できる。ここ
で富化とは、８１３Ｎ４を主成分とする焼結体表面にお
いて、表面中の３１ 、 Ｔｉ及び／又ｉＺｒの炭窒化
物、炭酸窒化物及び／又は窒化物の割合が内部における
よりも多くなる、あるいはＳＬ、Ｎ４相が消失してなる
ことをいう。■、上記■の工程後引き続き温度１２００
〜ｔ７００ｃにおいて、該母材表面にＦ３ｘＣ１４゜Ｔ
ＩＧ／ 及びＺｒＣｌ４のうちの１種以上をドーパン
トとして含むｋ１２Ｇ／３． ｃｏ□及びＮ２からなる
混合気流を導入し、厚さＤｉ 〜５ μｍのｋｌ！２０
３と３１゜Ｔ１及びＺｒのうちの１種以上の炭化物、炭
窒化物及び／又は窒化物との混合物もしくは固溶膜を生
成せしめる。
ＡＩ！２０３コーティング用原料ガス中に、Ｓｌ（ｌ！
４゜ＴＩＣ／４及びＺｒＣｌ４のドーパントガスのうち
の１種以上を添加し、これと前記■の工程により母材表
面に形成され７ｊＴｌ、８１及び／又はＺｒの炭窒化物
、炭酸窒化物及び／又は窒化物の富化層から拡散してく
るＣ、Ｎとが反応してＳｌ 、 Ｔｘ及び／又はＺｒの
炭化物、炭窒化物及び／又は窒化物が得られ、この膜と
ＡＩ！２０３膜 が膜相互で反応してＡｔ２ｏｚとの混合膜、固溶体膜を
生成するのである。これにより該母材表面に極めて強固
に接着した中間層が形成される。
４゜ＴＩＣ／４及びＺｒＣｌ４のドーパントガスのうち
の１種以上を添加し、これと前記■の工程により母材表
面に形成され７ｊＴｌ、８１及び／又はＺｒの炭窒化物
、炭酸窒化物及び／又は窒化物の富化層から拡散してく
るＣ、Ｎとが反応してＳｌ 、 Ｔｘ及び／又はＺｒの
炭化物、炭窒化物及び／又は窒化物が得られ、この膜と
ＡＩ！２０３膜 が膜相互で反応してＡｔ２ｏｚとの混合膜、固溶体膜を
生成するのである。これにより該母材表面に極めて強固
に接着した中間層が形成される。
該中間層膜厚は１１〜５μｍの範囲が好ましい。膜厚が
α１μｍ未満ては接着効果が十分でなく、５μｍを越え
ると膜中の歪量が大きくなり剥離しやすくなるからであ
る。
α１μｍ未満ては接着効果が十分でなく、５μｍを越え
ると膜中の歪量が大きくなり剥離しやすくなるからであ
る。
■、さらに最終工程として、上記■の工程で得た中間層
にムｔａｔ３． ｃｏ、及びＮ２からなる混合気流を導
入し、 Ａｔ２０３を被覆する。該Ａｚｚｏ３層は厚さ
ｌ１５〜２０μｍの範囲が好ましく、膜厚がα５μｍ未
満では耐摩耗性同上の効果が得られず、また２０μｍｆ
越えても耐摩耗性が低下するからである。
にムｔａｔ３． ｃｏ、及びＮ２からなる混合気流を導
入し、 Ａｔ２０３を被覆する。該Ａｚｚｏ３層は厚さ
ｌ１５〜２０μｍの範囲が好ましく、膜厚がα５μｍ未
満では耐摩耗性同上の効果が得られず、また２０μｍｆ
越えても耐摩耗性が低下するからである。
かかるＡｚ４ｏ３の製造工程としては、上記■の工程の
条件から、ＳｉＣ！ｔ４ 、 ＴｉＣｌ２ 、 Ｚｒ０
４を順次減少でぜていってもよい。
条件から、ＳｉＣ！ｔ４ 、 ＴｉＣｌ２ 、 Ｚｒ０
４を順次減少でぜていってもよい。
なお以上の工程■〜■において富化層形成の温度は１２
００〜１９００℃が好ましく、又被覆温度、加熱保持す
る温度は１２００〜１７００℃の範囲が好ましい。後者
において１２００℃未満では膜相互の反応が起り難く、
また１７００℃を越えると１反応時間の長い場合は母材
中の粒子の粗粒化が起こり強度低下をきたすので好まし
くない。
００〜１９００℃が好ましく、又被覆温度、加熱保持す
る温度は１２００〜１７００℃の範囲が好ましい。後者
において１２００℃未満では膜相互の反応が起り難く、
また１７００℃を越えると１反応時間の長い場合は母材
中の粒子の粗粒化が起こり強度低下をきたすので好まし
くない。
以下、実施例により具体的に説明する。
実施例１
ＴｉＣＯ２％、Ｔｉ（！Ｎ ３’ｊ、 Ａｚ＝ｏ３
１０％、ＺｒＯ２ｓ％。
１０％、ＺｒＯ２ｓ％。
ｗｅ １％、 ｙ、ｏ３１覧残部Ｂ １ｓＮ４（以上型
１ｔｓ）からなる焼結体（型番５ＮＧ１２０４０Ｂ）
ｔ″、内熱型の化学蒸着装置内に置いたカーボンリアク
ター中で、室温より１２００℃までは真空雰囲気にて、
また１２００℃より１８００℃までは、ＯＨ４雰囲気（
１００Ｔｏｒｒ）中で昇温し、１８００℃にて０Ｈ４５
チ、ＮＯ５％、残部Ｎ２ガス（以上容ｆｌ ％ 、
１００ Ｔｏｒｒ）中で３０分間加熱した。さらに１５
００℃にて、ＡＬｃ３ＬＢ ５％、 Ｃｏ、 １０
％。
１ｔｓ）からなる焼結体（型番５ＮＧ１２０４０Ｂ）
ｔ″、内熱型の化学蒸着装置内に置いたカーボンリアク
ター中で、室温より１２００℃までは真空雰囲気にて、
また１２００℃より１８００℃までは、ＯＨ４雰囲気（
１００Ｔｏｒｒ）中で昇温し、１８００℃にて０Ｈ４５
チ、ＮＯ５％、残部Ｎ２ガス（以上容ｆｌ ％ 、
１００ Ｔｏｒｒ）中で３０分間加熱した。さらに１５
００℃にて、ＡＬｃ３ＬＢ ５％、 Ｃｏ、 １０
％。
ＴｉＣ２，５％、残部Ｈ２のガス（以上答ｔチ〕中で、
３０ ＴｏｒｒにてＴ１を含むＡｔ、０３を厚さＩ ｐ
ｍ生成させた。次にＴｉ０ｔ４′ｊ？ｃＯ％としてＡｔ
、０３を厚さ２μｍ被覆し次。以上により本発明の被覆
焼結体（Ｎが得られ友。
３０ ＴｏｒｒにてＴ１を含むＡｔ、０３を厚さＩ ｐ
ｍ生成させた。次にＴｉ０ｔ４′ｊ？ｃＯ％としてＡｔ
、０３を厚さ２μｍ被覆し次。以上により本発明の被覆
焼結体（Ｎが得られ友。
比較のためをて、上記実流例において真空雰囲気にて１
５００′Ｃまで昇温後、Ａｔ２０．のみを３μｍ被覆し
たものを得、比較品（Ｂ）とした。
５００′Ｃまで昇温後、Ａｔ２０．のみを３μｍ被覆し
たものを得、比較品（Ｂ）とした。
（Ａ）及び（Ｂ）について、以下の条件で切削テストを
行った。なお両者の断面組織を観察し文ところ、（Ｎで
は母材表面部にＴｉｃ！Ｎが富化しており、一方の（Ｂ
）では多数のボアが存在していた。
行った。なお両者の断面組織を観察し文ところ、（Ｎで
は母材表面部にＴｉｃ！Ｎが富化しており、一方の（Ｂ
）では多数のボアが存在していた。
切削条件 被削材 ：Ｆｅ１２
切削速度（Ｖ） ： ５００ ｍｌｍｉｎ送 り（
ｆ） ： ［１３６ｍｌ ｒｅｖ切り込み（ｄン：２
＝ 切削時間 ：１０分間 乾 式 上記テストの結果、本発明品（ＡＩはフランク摩耗量（
ＶＢ ）がｃＬ２３ｍであったに対し、比較品（Ｂ）は
３分間で摩耗により切削不能となった。
ｆ） ： ［１３６ｍｌ ｒｅｖ切り込み（ｄン：２
＝ 切削時間 ：１０分間 乾 式 上記テストの結果、本発明品（ＡＩはフランク摩耗量（
ＶＢ ）がｃＬ２３ｍであったに対し、比較品（Ｂ）は
３分間で摩耗により切削不能となった。
実施例２
実施例１と同様の母材を用いて表１して示す条件で１６
００℃に昇温加熱し、被覆を形成し足。
００℃に昇温加熱し、被覆を形成し足。
表 １
以上で得られた被覆焼結体について、実施例１と同じ条
件で切削テストを行った結果、（Ｃ）。
件で切削テストを行った結果、（Ｃ）。
（ｑ、（理及びＣＦ）のフラ／り摩耗量（ＶＢ）は、そ
れぞれ［１２０，α２４．［１２７及び［１２５ｍであ
つ友・ 実施例３ 実施例２のＣの条件にて、昇温・加熱を行い、第１眉の
Ａｔ２０．被覆中に、Ｓｉ（、ｔ４を入れ膜厚３μｍと
し友ものを（Ｇ） 、 、ま次ＺｒＣＬ４１チを入れ膜
厚３μｍとしたものを（句とし、それぞれにさらに第２
層としてＡｔ２０９層を４μｍ厚に被覆した。
れぞれ［１２０，α２４．［１２７及び［１２５ｍであ
つ友・ 実施例３ 実施例２のＣの条件にて、昇温・加熱を行い、第１眉の
Ａｔ２０．被覆中に、Ｓｉ（、ｔ４を入れ膜厚３μｍと
し友ものを（Ｇ） 、 、ま次ＺｒＣＬ４１チを入れ膜
厚３μｍとしたものを（句とし、それぞれにさらに第２
層としてＡｔ２０９層を４μｍ厚に被覆した。
得られた被覆焼結体について、実施例１と同条件、で切
削テストを行った結果、 （ＧＪ及び（司の’７Ｂは１
１２９及び（１３１ｍであった。
削テストを行った結果、 （ＧＪ及び（司の’７Ｂは１
１２９及び（１３１ｍであった。
以上から本発明品はいずれも靭性及び耐摩耗性共に優れ
たＡｔ、 ｏ３被良Ｓ ｉ３Ｎ４焼結体工具であること
がわかる。本発明品は最外層のＡｔ２０３を４μｍ厚と
しても切削中の剥離をきたさないことも明らかである。
たＡｔ、 ｏ３被良Ｓ ｉ３Ｎ４焼結体工具であること
がわかる。本発明品は最外層のＡｔ２０３を４μｍ厚と
しても切削中の剥離をきたさないことも明らかである。
この事実は中間層の存在によジ被覆と焼結母材が強固に
結合していることを示す。
結合していることを示す。
本発明の方法は、靭性に優れ九５ｉｓＮ４焼結体に耐摩
耗性に優れるｈｔ、ｏ、を主成分とする被覆を強固に接
着しｔ核種セラミックス工具を提供しりるものである。
耗性に優れるｈｔ、ｏ、を主成分とする被覆を強固に接
着しｔ核種セラミックス工具を提供しりるものである。
Claims (1)
- Ｓｉ＿３Ｎ＿４と、ＴｉＣＯ、Ｔｉの炭化物、窒化物
、炭窒化物、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＺｒＯ＿２、Ｙ＿２Ｏ＿
３及びＷＣからなる群のうちの少なくとも１種以上の成
分を５〜７０重量％含有してなる焼結母材を、温度１２
００〜１９００℃の範囲に加熱しつつ、ＮＯガス、ＮＯ
＿２ガス、ＣＯガス、ＣＯ＿２ガス、ＮＨ＿３ガス、Ｎ
＿２ガス及びＣＨ＿４ガスからなる群のうちの１以上の
ガスよりなる雰囲気中に保持して、該母材表面にＳｉ、
Ｔｉ及び／又はＺｒの炭化物、炭酸窒化物及び／又は窒
化物を富化せしめた後、温度１２００〜１７００℃の範
囲で、ＳｉＣｌ＿４、ＴｉＣｌ＿４及びＺｒＣｌ＿４の
１種以上を含むＡｌＣｌ＿３、ＣＯ＿２及びＨ＿２の混
合気流中にて、Ａｌ＿２Ｏ＿３とＳｉ、Ｔｉ及び／又は
Ｚｒの炭化物、炭窒化物及び／又は窒化物の混合膜もし
くは固溶体膜を厚さ０．５〜２０μｍ生成せしめ、引き
続き厚さ０．５〜２０μｍのＡｌ＿２Ｏ＿３を被覆する
ことを特徴とする被覆セラミックスの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61180057A JPH0699197B2 (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 被覆セラミツクス工具の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61180057A JPH0699197B2 (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 被覆セラミツクス工具の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340786A true JPS6340786A (ja) | 1988-02-22 |
| JPH0699197B2 JPH0699197B2 (ja) | 1994-12-07 |
Family
ID=16076729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61180057A Expired - Lifetime JPH0699197B2 (ja) | 1986-08-01 | 1986-08-01 | 被覆セラミツクス工具の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0699197B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5585481A (en) * | 1978-12-19 | 1980-06-27 | Ngk Spark Plug Co | Ceramic throwwaway tip and its manufacture |
| JPS56155079A (en) * | 1980-04-30 | 1981-12-01 | Sumitomo Electric Industries | Coated cutting tool |
| JPS58145676A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削工具用表面被覆サイアロン基焼結部材 |
-
1986
- 1986-08-01 JP JP61180057A patent/JPH0699197B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5585481A (en) * | 1978-12-19 | 1980-06-27 | Ngk Spark Plug Co | Ceramic throwwaway tip and its manufacture |
| JPS56155079A (en) * | 1980-04-30 | 1981-12-01 | Sumitomo Electric Industries | Coated cutting tool |
| JPS58145676A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削工具用表面被覆サイアロン基焼結部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0699197B2 (ja) | 1994-12-07 |
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