JPS6345014Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6345014Y2 JPS6345014Y2 JP9160683U JP9160683U JPS6345014Y2 JP S6345014 Y2 JPS6345014 Y2 JP S6345014Y2 JP 9160683 U JP9160683 U JP 9160683U JP 9160683 U JP9160683 U JP 9160683U JP S6345014 Y2 JPS6345014 Y2 JP S6345014Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- laser
- medium gas
- laser medium
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 14
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、例えば炭酸ガスレーザ発振器にお
いて、発生されるレーザビームの品質を均一にす
ることができるレーザ発振器に関するものであ
る。
いて、発生されるレーザビームの品質を均一にす
ることができるレーザ発振器に関するものであ
る。
従来この種のレーザ発振器に適用される電極部
分の構成として、第１図に示すものがあつた。第
１図は従来のレーザ発振器に適用される電極部分
を示す構成図である。図において、１は基板、２
は基板１に固定された陽極板である。また、基板
１には前板３、後板４、仕切り板５が固定され、
これらの前板３、後板４、仕切り板５により取付
け板６が支持されている。取付け板６にはスペー
サ７と陰極板８が取付けられており、この陰極板
８には陰極ピン９が取付けられている。この様に
して構成される構造物が電極部分１０である。
分の構成として、第１図に示すものがあつた。第
１図は従来のレーザ発振器に適用される電極部分
を示す構成図である。図において、１は基板、２
は基板１に固定された陽極板である。また、基板
１には前板３、後板４、仕切り板５が固定され、
これらの前板３、後板４、仕切り板５により取付
け板６が支持されている。取付け板６にはスペー
サ７と陰極板８が取付けられており、この陰極板
８には陰極ピン９が取付けられている。この様に
して構成される構造物が電極部分１０である。
第２図は従来のレーザ発振器において、レーザ
媒質ガスの循環系経路を示すレーザ発振器の筐体
の断面図である。図に示す様に、電極部分１０の
前後には、吸込みダクト支持体１１により吸込み
ダクト１２が、また、基台１３により吐出しダク
ト１４がそれぞれ取付けられている。基台１３の
下部には軸流送風機１５と熱交換器１６が取付け
られており、以上の各構成部品は、筐体１７内に
納められている。
媒質ガスの循環系経路を示すレーザ発振器の筐体
の断面図である。図に示す様に、電極部分１０の
前後には、吸込みダクト支持体１１により吸込み
ダクト１２が、また、基台１３により吐出しダク
ト１４がそれぞれ取付けられている。基台１３の
下部には軸流送風機１５と熱交換器１６が取付け
られており、以上の各構成部品は、筐体１７内に
納められている。
次に、上記第２図の動作について説明する。筐
体１７内にはレーザ媒質ガスが充満されており、
軸流送風機１５を動作させることにより、レーザ
媒質ガスは吸込みダクト１２を通り、整流されて
電極部分１０内に入る。電極部分１０は、第１図
に示す様な構造を有しているから、各ブロツクご
とに陰極ピン９と陽極板２との間でグロー放電が
発生され、これにより、レーザ媒質ガスが励起さ
れ、レーザ発振が発生される。次いで、レーザ媒
質ガスは吐出しダクト１４を通つて熱交換器１６
に入り、ここで、レーザ媒質ガスは冷却され、軸
流送風機１５に吸込まれる。
体１７内にはレーザ媒質ガスが充満されており、
軸流送風機１５を動作させることにより、レーザ
媒質ガスは吸込みダクト１２を通り、整流されて
電極部分１０内に入る。電極部分１０は、第１図
に示す様な構造を有しているから、各ブロツクご
とに陰極ピン９と陽極板２との間でグロー放電が
発生され、これにより、レーザ媒質ガスが励起さ
れ、レーザ発振が発生される。次いで、レーザ媒
質ガスは吐出しダクト１４を通つて熱交換器１６
に入り、ここで、レーザ媒質ガスは冷却され、軸
流送風機１５に吸込まれる。
従来のレーザ発振器は以上の様に構成されてい
るので、レーザ媒質ガスの励起状態で、陽極板２
上等にレーザ媒質ガスの強い励起部分ができ、こ
のため、取出したレーザビームの品質において、
局部的に光強度の強い部分が生じるという欠点が
あつた。
るので、レーザ媒質ガスの励起状態で、陽極板２
上等にレーザ媒質ガスの強い励起部分ができ、こ
のため、取出したレーザビームの品質において、
局部的に光強度の強い部分が生じるという欠点が
あつた。
この考案は上記の様な従来のものの欠点を除去
するためになされたもので、レーザ発振器の筐体
を仕切り板により仕切つた各ブロツクごとに、レ
ーザ媒質ガスを励起するためのグロー放電を発生
させる陰極ピンと陽極板との配設位置方向、及び
前記陰極ピンと陽極板間を流れる前記レーザ媒質
ガスの流れ方向を、それぞれ逆方向にして、前記
レーザ媒質ガスの励起状態を均一にする様にして
成る構成を有し、発生されるレーザビームの品質
を均等化することができるレーザ発振器を提供す
ることを目的としている。
するためになされたもので、レーザ発振器の筐体
を仕切り板により仕切つた各ブロツクごとに、レ
ーザ媒質ガスを励起するためのグロー放電を発生
させる陰極ピンと陽極板との配設位置方向、及び
前記陰極ピンと陽極板間を流れる前記レーザ媒質
ガスの流れ方向を、それぞれ逆方向にして、前記
レーザ媒質ガスの励起状態を均一にする様にして
成る構成を有し、発生されるレーザビームの品質
を均等化することができるレーザ発振器を提供す
ることを目的としている。
以下、この考案の実施例を図について説明す
る。第３図はこの考案の一実施例であるレーザ発
振器に適用される電極部分を示す構成図である。
図において、１は基板であり、この基板１には前
板３、後板４、仕切り板５が固定され、これらの
前板３、後板４、仕切り板５により取付け板６が
支持されている。基板１と取付け板６には、仕切
り板５を境として、対称的にそれぞれ陽極板２と
陰極板８が取付けられており、この陰極板８には
陰極ピン９が取付けられている。すなわち、基板
１には仕切り板５を境として、一方には陽極板２
が、他方には陰極板８が取付けられ、同様にし
て、取付け板６には仕切り板５を境として、一方
には陰極板８が、他方には陽極板２が取付けら
れ、それぞれ対抗して配設される陽極板２と陰極
板８とは、配設位置が反対方向となる様にされ
る。なお、７はスペーサである。この様にして構
成される構造物が電極部分１０である。
る。第３図はこの考案の一実施例であるレーザ発
振器に適用される電極部分を示す構成図である。
図において、１は基板であり、この基板１には前
板３、後板４、仕切り板５が固定され、これらの
前板３、後板４、仕切り板５により取付け板６が
支持されている。基板１と取付け板６には、仕切
り板５を境として、対称的にそれぞれ陽極板２と
陰極板８が取付けられており、この陰極板８には
陰極ピン９が取付けられている。すなわち、基板
１には仕切り板５を境として、一方には陽極板２
が、他方には陰極板８が取付けられ、同様にし
て、取付け板６には仕切り板５を境として、一方
には陰極板８が、他方には陽極板２が取付けら
れ、それぞれ対抗して配設される陽極板２と陰極
板８とは、配設位置が反対方向となる様にされ
る。なお、７はスペーサである。この様にして構
成される構造物が電極部分１０である。
第４図はこの考案のレーザ発振器において、レ
ーザ媒質ガスの循環系経路を２ブロツクに分けた
場合を示すレーザ発振器の筐体の断面図である。
図に示す様に、筐体１７を仕切り板１８により２
ブロツクに分割し、各ブロツクごとにレーザ媒質
ガスが互いに逆方向に循環する様に、対称的に組
み立てられた構成を有する。なお、図中、９は陰
極ピン、１１は吸込みダクト支持体、１２は吸込
みダクト、１３は基台、１４は吐出しダクト、１
５は軸流送風機、１６は熱交換器である。
ーザ媒質ガスの循環系経路を２ブロツクに分けた
場合を示すレーザ発振器の筐体の断面図である。
図に示す様に、筐体１７を仕切り板１８により２
ブロツクに分割し、各ブロツクごとにレーザ媒質
ガスが互いに逆方向に循環する様に、対称的に組
み立てられた構成を有する。なお、図中、９は陰
極ピン、１１は吸込みダクト支持体、１２は吸込
みダクト、１３は基台、１４は吐出しダクト、１
５は軸流送風機、１６は熱交換器である。
次に、上記第４図の動作について説明する。筐
体１７内にはレーザ媒質ガスが充満されており、
軸流送風機１５を動作させることにより、レーザ
媒質ガスは吸込みダクト１２を通り、整流されて
第３図に示す電極部分１０に入る。ここでは、陽
極板２と陰極ピン９との間で、仕切り板５を隔て
て対称的にグロー放電を行つてレーザ媒質ガスを
励起し、次いで、レーザ媒質ガスは吐出しダクト
１４を通り、熱交換器１６に入り冷却され、軸流
送風機１５に吸込まれる。この様なレーザ媒質ガ
スの循環する系の流れは、第４図に示す筐体１７
の仕切り板１８を隔てて２ブロツクに分けられた
各ブロツクごとに、それぞれ対称的に、かつ逆方
向となる様にされる。これにより、陽極板２と陰
極ピン９との間のグロー放電により励起されるレ
ーザ媒質ガスの励起状態を均一にすることができ
る。
体１７内にはレーザ媒質ガスが充満されており、
軸流送風機１５を動作させることにより、レーザ
媒質ガスは吸込みダクト１２を通り、整流されて
第３図に示す電極部分１０に入る。ここでは、陽
極板２と陰極ピン９との間で、仕切り板５を隔て
て対称的にグロー放電を行つてレーザ媒質ガスを
励起し、次いで、レーザ媒質ガスは吐出しダクト
１４を通り、熱交換器１６に入り冷却され、軸流
送風機１５に吸込まれる。この様なレーザ媒質ガ
スの循環する系の流れは、第４図に示す筐体１７
の仕切り板１８を隔てて２ブロツクに分けられた
各ブロツクごとに、それぞれ対称的に、かつ逆方
向となる様にされる。これにより、陽極板２と陰
極ピン９との間のグロー放電により励起されるレ
ーザ媒質ガスの励起状態を均一にすることができ
る。
以上の様に、この考案のレーザ発振器によれ
ば、レーザ発振器の筐体を仕切り板によつて仕切
つた各ブロツクごとに、陰極ピンと陽極板との配
設位置方向、及びレーザ媒質ガスの流れ方向を、
それぞれ逆方向にして、レーザ媒質ガスの励起状
態を均一にする様にして成る構成としたので、発
生されるレーザビームの光強度が均等化でき、こ
の結果、高品質のレーザビームが得られるから、
特に、レーザ加工において最適なレーザビーム光
を得ることができるという優れた効果を奏するも
のである。
ば、レーザ発振器の筐体を仕切り板によつて仕切
つた各ブロツクごとに、陰極ピンと陽極板との配
設位置方向、及びレーザ媒質ガスの流れ方向を、
それぞれ逆方向にして、レーザ媒質ガスの励起状
態を均一にする様にして成る構成としたので、発
生されるレーザビームの光強度が均等化でき、こ
の結果、高品質のレーザビームが得られるから、
特に、レーザ加工において最適なレーザビーム光
を得ることができるという優れた効果を奏するも
のである。
第１図は従来のレーザ発振器に適用される電極
部分を示す構成図、第２図は従来のレーザ発振器
において、レーザ媒質ガスの循環系経路を示すレ
ーザ発振器の筐体の断面図、第３図はこの考案の
一実施例であるレーザ発振器に適用される電極部
分を示す構成図、第４図はこの考案のレーザ発振
器において、レーザ媒質ガスの循環系経路を２ブ
ロツクに分けた場合を示すレーザ発振器の筐体の
断面図である。 図において、１……基板、２……陽極板、３…
…前板、４……後板、５，１８……仕切り板、６
……取付け板、７……スペーサ、８……陰極板、
９……陰極ピン、１０……電極部分、１１……吸
込みダクト支持体、１２……吸込みダクト、１３
……基台、１４……吐出しダクト、１５……軸流
送風機、１６……熱交換器、１７……筐体であ
る。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分
を示す。
部分を示す構成図、第２図は従来のレーザ発振器
において、レーザ媒質ガスの循環系経路を示すレ
ーザ発振器の筐体の断面図、第３図はこの考案の
一実施例であるレーザ発振器に適用される電極部
分を示す構成図、第４図はこの考案のレーザ発振
器において、レーザ媒質ガスの循環系経路を２ブ
ロツクに分けた場合を示すレーザ発振器の筐体の
断面図である。 図において、１……基板、２……陽極板、３…
…前板、４……後板、５，１８……仕切り板、６
……取付け板、７……スペーサ、８……陰極板、
９……陰極ピン、１０……電極部分、１１……吸
込みダクト支持体、１２……吸込みダクト、１３
……基台、１４……吐出しダクト、１５……軸流
送風機、１６……熱交換器、１７……筐体であ
る。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分
を示す。
Claims (1)
- レーザ発振器の筐体を切仕り板により仕切つた
各ブロツクごとに、レーザ媒質ガスを励起するた
めのグロー放電を発生させる陰極ピンと陽極板と
の配設位置方向、及び前記陰極ピンと陽極板間を
流れる前記レーザ媒質ガスの流れ方向を、それぞ
れ逆方向にして、前記レーザ媒質ガスの励起状態
を均一にする様にして成る構成としたレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9160683U JPS60952U (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9160683U JPS60952U (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60952U JPS60952U (ja) | 1985-01-07 |
| JPS6345014Y2 true JPS6345014Y2 (ja) | 1988-11-22 |
Family
ID=30221634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9160683U Granted JPS60952U (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60952U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6650847B2 (ja) * | 2016-08-22 | 2020-02-19 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器 |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP9160683U patent/JPS60952U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60952U (ja) | 1985-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6345014Y2 (ja) | ||
| JPS6340388A (ja) | レ−ザ発振器におけるフロ−コントロ−ル装置 | |
| US4771436A (en) | Gas laser oscillator having a gas flow smoothing device to smooth gas flow in the electrical discharge region | |
| GB2145274A (en) | Gas laser system | |
| JPS61284984A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2989284B2 (ja) | 三軸直交形炭酸ガスレーザの高周波放電電極 | |
| JPH1126840A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS60254680A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPS6295884A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS59163881A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPS6310232Y2 (ja) | ||
| JP3259161B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS6342533Y2 (ja) | ||
| JPH05251802A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH04305986A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS6112695Y2 (ja) | ||
| JPH1079539A (ja) | 炭酸ガスレーザ発振器 | |
| US5058125A (en) | Laser oscillator | |
| JPH01111387A (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH1130464A (ja) | 機械室の部品配置構造 | |
| JPS60254683A (ja) | レ−ザ−発振装置 | |
| JPS5840353B2 (ja) | 縦流炭酸ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS58182450U (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS58182451U (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS5873119A (ja) | 電子ビ−ム描画装置 |