JPS6346831Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6346831Y2 JPS6346831Y2 JP4243382U JP4243382U JPS6346831Y2 JP S6346831 Y2 JPS6346831 Y2 JP S6346831Y2 JP 4243382 U JP4243382 U JP 4243382U JP 4243382 U JP4243382 U JP 4243382U JP S6346831 Y2 JPS6346831 Y2 JP S6346831Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- receiving surface
- base
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力変換器に関するものであつて、
詳しくは、ダイヤフラムの共振周波数の変化に基
づいてダイヤフラムの受圧面に加えられる圧力を
検出するように構成された装置の改良に関するも
のである。
詳しくは、ダイヤフラムの共振周波数の変化に基
づいてダイヤフラムの受圧面に加えられる圧力を
検出するように構成された装置の改良に関するも
のである。
この種の圧力変換器としては、たとえば特公昭
50−39392号に記載されたものがある。
50−39392号に記載されたものがある。
しかし、この装置は、ダイヤフラムの平板状の
受圧面に圧力が加えられることによつて受圧面が
たわむことを利用したものであつて、加えられる
圧力の正負にかかわらず共振周波数が同一方向に
変化することになり、共振周波数の変化からは加
えられた圧力の正負を識別することはできない。
また、このような装置では、加えられる圧力が零
の近傍では第３図の曲線Ａに示すように共振周波
数の変極点が存在するので共振周波数の変化量も
少なく、精度よく検出できないという欠点があ
る。
受圧面に圧力が加えられることによつて受圧面が
たわむことを利用したものであつて、加えられる
圧力の正負にかかわらず共振周波数が同一方向に
変化することになり、共振周波数の変化からは加
えられた圧力の正負を識別することはできない。
また、このような装置では、加えられる圧力が零
の近傍では第３図の曲線Ａに示すように共振周波
数の変極点が存在するので共振周波数の変化量も
少なく、精度よく検出できないという欠点があ
る。
本考案は、これらの欠点を解決するために、ダ
イヤフラムとして、受圧面にたわみが形成された
ものを用いるようにしたものである。
イヤフラムとして、受圧面にたわみが形成された
ものを用いるようにしたものである。
以下、図面を用いて詳細に説明する。
第１図は、本考案の一実施例を示す構成説明図
であつて、１０はダイヤフラム、２０はベース、
３０はケースである。
であつて、１０はダイヤフラム、２０はベース、
３０はケースである。
ダイヤフラム１０は、平板状の受圧面１１、こ
の受圧面１１の外周を固定支持する環状の支持部
１２を共通の部材を所定の形状に削り出すことに
より一体成形するとともに、油圧成形あるいは球
状の鋼球を押圧すること等により受圧面１１に所
定のたわみを形成したものである。このようにし
て形成されたダイヤフラム１０の受圧面１１に
は、励振および検出のための圧電素子P1，P2が
取り付けられている。また、支持部１２の一方の
面にはベース２０と嵌め合う環状の段付部１３が
形成され、他方の面にはケース３０と嵌め合う環
状の段付部１４が形成されている。
の受圧面１１の外周を固定支持する環状の支持部
１２を共通の部材を所定の形状に削り出すことに
より一体成形するとともに、油圧成形あるいは球
状の鋼球を押圧すること等により受圧面１１に所
定のたわみを形成したものである。このようにし
て形成されたダイヤフラム１０の受圧面１１に
は、励振および検出のための圧電素子P1，P2が
取り付けられている。また、支持部１２の一方の
面にはベース２０と嵌め合う環状の段付部１３が
形成され、他方の面にはケース３０と嵌め合う環
状の段付部１４が形成されている。
ベース２０は、ダイヤフラム１０の支持部１２
の段付部１３に嵌め合わされ、支持部１２とベー
ス２０との接合端面を気密的に封着（たとえば溶
接）する。これにより、ダイヤフラム１０とベー
ス２０との間には第１の圧力室R1が形成される
ことになる。なお、ベース２０には、必要に応じ
て基準圧力PSを導入するための導入孔２１を設け
ておく。
の段付部１３に嵌め合わされ、支持部１２とベー
ス２０との接合端面を気密的に封着（たとえば溶
接）する。これにより、ダイヤフラム１０とベー
ス２０との間には第１の圧力室R1が形成される
ことになる。なお、ベース２０には、必要に応じ
て基準圧力PSを導入するための導入孔２１を設け
ておく。
ケース３０は、ダイヤフラム１０の支持部１２
の段付部１４に嵌め合わされ、支持部１２とケー
ス３０との接合側面を気密的に封着（たとえば溶
接）する。これにより、ダイヤフラム１０とケー
ス３０との間には第２の圧力室R2が形成される
ことになる。なお、ケース３０には、被測定圧力
RXを導入するための導入孔３１を設けておく。
の段付部１４に嵌め合わされ、支持部１２とケー
ス３０との接合側面を気密的に封着（たとえば溶
接）する。これにより、ダイヤフラム１０とケー
ス３０との間には第２の圧力室R2が形成される
ことになる。なお、ケース３０には、被測定圧力
RXを導入するための導入孔３１を設けておく。
このように構成される装置の動作について説明
する。
する。
被測定圧力PXがPX＝０の初期状態でのダイヤ
フラム１０の受圧面１１のたわみ量をhoとする。
このような状態から、被測定圧力PXがPX＜０に
なるとたわみ量h1はh1＜hoとなり、PX＞０にな
るとたわみ量h2はh2＞hoとなる。なお、基準圧力
Psは一定に保たれているものとする。このよう
なたわみ量の増減に応じてダイヤフラム１０の共
振周波数も増減することになり、被測定圧力PX
の正負を識別することができ、圧力PXの零近傍
値も精度よく検出することができる。第３図の曲
線Ｂはこのような構成の実測値例である。
フラム１０の受圧面１１のたわみ量をhoとする。
このような状態から、被測定圧力PXがPX＜０に
なるとたわみ量h1はh1＜hoとなり、PX＞０にな
るとたわみ量h2はh2＞hoとなる。なお、基準圧力
Psは一定に保たれているものとする。このよう
なたわみ量の増減に応じてダイヤフラム１０の共
振周波数も増減することになり、被測定圧力PX
の正負を識別することができ、圧力PXの零近傍
値も精度よく検出することができる。第３図の曲
線Ｂはこのような構成の実測値例である。
なお、第１図では圧力室R1に基準圧力PSを導
入して圧力室R2に被測定圧力PXを導入する例を
示したが、両者を入れかえてもよい。また、基準
圧力PSは真空、大気圧その他任意の圧力であつて
もよい。
入して圧力室R2に被測定圧力PXを導入する例を
示したが、両者を入れかえてもよい。また、基準
圧力PSは真空、大気圧その他任意の圧力であつて
もよい。
第２図は、本考案の他の実施例を示す構成説明
図であつて、第１図と同等部分には同一符号を付
している。第２図において、圧電素子P1，P2は
ダイヤフラム１０の受圧面１１の外表面にそれぞ
れ取り付けられている。このような構成におい
て、圧力室R1内を真空にすることにより、ゲー
ジ圧を検出することができる。
図であつて、第１図と同等部分には同一符号を付
している。第２図において、圧電素子P1，P2は
ダイヤフラム１０の受圧面１１の外表面にそれぞ
れ取り付けられている。このような構成におい
て、圧力室R1内を真空にすることにより、ゲー
ジ圧を検出することができる。
なお、上記実施例では、いずれもダイヤフラム
の受圧面に圧電素子を取り付けて直接励振する例
について説明したが、受圧面以外の部分に圧電素
子を取り付けて励振するようにしてもよいし、電
磁機構を用いて励振するようにしてもよい。
の受圧面に圧電素子を取り付けて直接励振する例
について説明したが、受圧面以外の部分に圧電素
子を取り付けて励振するようにしてもよいし、電
磁機構を用いて励振するようにしてもよい。
また、振動モードは基本モードであつても高次
モードであつてもよく、複数モードで共振周波数
を測定して被測定圧力を演算するようにしてもよ
い。
モードであつてもよく、複数モードで共振周波数
を測定して被測定圧力を演算するようにしてもよ
い。
以上説明したように、本考案によれば、比較的
簡単な構成で被測定圧力の極性が識別でき零近傍
の圧力であつても精度よく検出できる圧力変換器
が実現でき、実用上の効果は大きい。
簡単な構成で被測定圧力の極性が識別でき零近傍
の圧力であつても精度よく検出できる圧力変換器
が実現でき、実用上の効果は大きい。
第１図は本考案の一実施例を示す構成説明図、
第２図は本考案の他の実施例を示す構成説明図、
第３図は実測値例図である。 １０……ダイヤフラム、２０……ベース、３０
……ケース。
第２図は本考案の他の実施例を示す構成説明図、
第３図は実測値例図である。 １０……ダイヤフラム、２０……ベース、３０
……ケース。
Claims (1)
- ダイヤフラムの共振周波数の変化に基づいてダ
イヤフラムの受圧面に加えられる圧力を検出する
ように構成された圧力変換器において、ダイヤフ
ラムとして、受圧面にたわみが形成されたものを
用いることを特徴とする圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243382U JPS58165637U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243382U JPS58165637U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58165637U JPS58165637U (ja) | 1983-11-04 |
| JPS6346831Y2 true JPS6346831Y2 (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=30053564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4243382U Granted JPS58165637U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58165637U (ja) |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP4243382U patent/JPS58165637U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58165637U (ja) | 1983-11-04 |
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