JPS6348824B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6348824B2 JPS6348824B2 JP57123620A JP12362082A JPS6348824B2 JP S6348824 B2 JPS6348824 B2 JP S6348824B2 JP 57123620 A JP57123620 A JP 57123620A JP 12362082 A JP12362082 A JP 12362082A JP S6348824 B2 JPS6348824 B2 JP S6348824B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- colloid
- green sheet
- ceramic green
- producing
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 claims description 76
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 42
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims description 21
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 14
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 13
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 10
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 9
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 9
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 8
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 6
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 16
- 239000000047 product Substances 0.000 description 16
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 11
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 10
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N butan-1-amine Chemical compound CCCCN HQABUPZFAYXKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 4
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 4
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 3
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000001935 peptisation Methods 0.000 description 3
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- VVJKKWFAADXIJK-UHFFFAOYSA-N Allylamine Chemical compound NCC=C VVJKKWFAADXIJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000873 Beta-alumina solid electrolyte Inorganic materials 0.000 description 2
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 2
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 2
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001817 Agar Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002706 AlOOH Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000008272 agar Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- VXAUWWUXCIMFIM-UHFFFAOYSA-M aluminum;oxygen(2-);hydroxide Chemical compound [OH-].[O-2].[Al+3] VXAUWWUXCIMFIM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- CPUJSIVIXCTVEI-UHFFFAOYSA-N barium(2+);propan-2-olate Chemical compound [Ba+2].CC(C)[O-].CC(C)[O-] CPUJSIVIXCTVEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052599 brucite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005467 ceramic manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 235000013351 cheese Nutrition 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000002734 clay mineral Substances 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 238000001246 colloidal dispersion Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N dipropylamine Chemical compound CCCNCCC WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000006355 external stress Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 229910003480 inorganic solid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- JJWLVOIRVHMVIS-UHFFFAOYSA-N isopropylamine Chemical compound CC(C)N JJWLVOIRVHMVIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- CRGZYKWWYNQGEC-UHFFFAOYSA-N magnesium;methanolate Chemical compound [Mg+2].[O-]C.[O-]C CRGZYKWWYNQGEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004091 panning Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- DPBLXKKOBLCELK-UHFFFAOYSA-N pentan-1-amine Chemical compound CCCCCN DPBLXKKOBLCELK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007763 reverse roll coating Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910021647 smectite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- WBQTXTBONIWRGK-UHFFFAOYSA-N sodium;propan-2-olate Chemical compound [Na+].CC(C)[O-] WBQTXTBONIWRGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000035900 sweating Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、焼成前のセラミツクスグリーンシー
トの製造方法に関する。
トの製造方法に関する。
従来のセラミツクスシートの製造方法は、無機
質固体物質を原料粉末に調製した後、微粉化−混
合−仮焼−粉砕−混合という操作を数回繰返して
得られた微粉末を、可塑性のあるまたはスラリー
状の物質にし、この物質を各種成形法により一定
のシート状の成形体に加工し、高温度で加熱焼成
してセラミツクスシート製品を得ていた。
質固体物質を原料粉末に調製した後、微粉化−混
合−仮焼−粉砕−混合という操作を数回繰返して
得られた微粉末を、可塑性のあるまたはスラリー
状の物質にし、この物質を各種成形法により一定
のシート状の成形体に加工し、高温度で加熱焼成
してセラミツクスシート製品を得ていた。
しかし従来の製造方法には、
上記処理方法によつても、最終のセラミツク
ス製品に部分的に不均質性が残り、製品収率の
低下、品質上の信頼性の低下等を招来し、 微粉末を得るために多大の粉砕動力を必要と
し、かつ粉砕時にボール、ライナ等の摩耗によ
る異物の混入に起因して高純度原料が得難く、 製造工程の完全な連続化が本質的に困難でプ
ロセスの合理化、自動化が阻害されている等の
欠点があつた。
ス製品に部分的に不均質性が残り、製品収率の
低下、品質上の信頼性の低下等を招来し、 微粉末を得るために多大の粉砕動力を必要と
し、かつ粉砕時にボール、ライナ等の摩耗によ
る異物の混入に起因して高純度原料が得難く、 製造工程の完全な連続化が本質的に困難でプ
ロセスの合理化、自動化が阻害されている等の
欠点があつた。
本出願人は、上記種々の欠点を解消するため
に、一種または二種以上の無機物を分散相とする
コロイドを出発物質とし、前記コロイドより密度
が小さくかつ前記コロイドの分散媒を溶解する液
体を上層液体とし、前記コロイドより密度が大き
い液体を下層液体とし、前記コロイドを前記上層
液体と前記下層液体とにより形成される二層液体
の界面周辺に供給して、この二層液体の界面周辺
で前記コロイドの分散媒の一部または全部を脱離
させ、前記コロイドに残存する分散相を成形体と
して形成させるセラミツクス成形体の製造方法を
発明し、特願昭56−131368により出願した。
に、一種または二種以上の無機物を分散相とする
コロイドを出発物質とし、前記コロイドより密度
が小さくかつ前記コロイドの分散媒を溶解する液
体を上層液体とし、前記コロイドより密度が大き
い液体を下層液体とし、前記コロイドを前記上層
液体と前記下層液体とにより形成される二層液体
の界面周辺に供給して、この二層液体の界面周辺
で前記コロイドの分散媒の一部または全部を脱離
させ、前記コロイドに残存する分散相を成形体と
して形成させるセラミツクス成形体の製造方法を
発明し、特願昭56−131368により出願した。
また本発明者らは、上記下層液体の代りに固体
の担体を用いることにより成形体の表面平滑性が
より一層優れたセラミツクス成形体の製造方法を
発明し、特願昭57−37819により出願した。
の担体を用いることにより成形体の表面平滑性が
より一層優れたセラミツクス成形体の製造方法を
発明し、特願昭57−37819により出願した。
上記発明は、いずれも従来の製造方法と比較し
て、固体粉末を経由することなく均質な成形体
が得られ、複合酸化物等の複雑な組成をもつセ
ラミツクスの均質な成形体を容易に製造すること
ができ、セラミツクス製造工程の連続プロセス
化を実現することができ、最終的に表面が平滑
でしかも均質な超高純度のセラミツクス製品を容
易に製造することができる優れたセラミツクス成
形体の製造方法である。
て、固体粉末を経由することなく均質な成形体
が得られ、複合酸化物等の複雑な組成をもつセ
ラミツクスの均質な成形体を容易に製造すること
ができ、セラミツクス製造工程の連続プロセス
化を実現することができ、最終的に表面が平滑
でしかも均質な超高純度のセラミツクス製品を容
易に製造することができる優れたセラミツクス成
形体の製造方法である。
しかし前記発明は、いずれもコロイドの分散媒
の脱離が進むにつれて、この脱離媒体である上層
液体の濃度の希釈化に起因して脱離媒体の交換を
必要とするため、脱離媒体の使用量が多くなり、
特に連続プロセスにより製造する場合には、脱離
媒体の濃度調整が煩雑になる欠点があつた。
の脱離が進むにつれて、この脱離媒体である上層
液体の濃度の希釈化に起因して脱離媒体の交換を
必要とするため、脱離媒体の使用量が多くなり、
特に連続プロセスにより製造する場合には、脱離
媒体の濃度調整が煩雑になる欠点があつた。
本発明は、上記欠点を解消するもので、前記発
明の優れた点に加え、コロイドの分散媒を脱離さ
せる脱離媒体の濃度調整が簡単で脱離媒体の使用
量が少なくて済み、経済的に製造することができ
るセラミツクスグリーンシートの製造方法を提供
することを目的とする。
明の優れた点に加え、コロイドの分散媒を脱離さ
せる脱離媒体の濃度調整が簡単で脱離媒体の使用
量が少なくて済み、経済的に製造することができ
るセラミツクスグリーンシートの製造方法を提供
することを目的とする。
本発明は、一種または二種以上の無機物を分散
相とし水を分散媒とするコロイドに、必要あれば
有機質バインダを添加し、このコロイドを固体の
担体に塗布した後、カルボン酸類、アミン類、ま
たはアンモニアの中から選ばれた一種または二種
以上の化合物の蒸気を含む気体雰囲気中に入れ
て、前記コロイドに離漿を生じさせ、この離漿の
生じたコロイドを前記気体雰囲気中または空気雰
囲気中で乾燥してセラミツクスグリーンシートを
形成させることを特徴とする。
相とし水を分散媒とするコロイドに、必要あれば
有機質バインダを添加し、このコロイドを固体の
担体に塗布した後、カルボン酸類、アミン類、ま
たはアンモニアの中から選ばれた一種または二種
以上の化合物の蒸気を含む気体雰囲気中に入れ
て、前記コロイドに離漿を生じさせ、この離漿の
生じたコロイドを前記気体雰囲気中または空気雰
囲気中で乾燥してセラミツクスグリーンシートを
形成させることを特徴とする。
なお、上記固体の担体は移動担体であつて、か
つコロイドが連続的に塗布されて気体雰囲気中を
通過することが好ましい。
つコロイドが連続的に塗布されて気体雰囲気中を
通過することが好ましい。
また、上記カルボン酸類はギ酸または酢酸であ
ることが好ましい。
ることが好ましい。
また、上記アミン類は炭素数６以下のアミンで
あることが好ましい。
あることが好ましい。
また、上記コロイドは一種または二種以上のア
ルコキシドを加水分解して得られるコロイドであ
ることが好ましい。
ルコキシドを加水分解して得られるコロイドであ
ることが好ましい。
さらに、上記コロイドは一種または二種以上の
アルコキシドを加水分解して得られるコロイドの
二種または三種以上の混合物であることが好まし
い。
アルコキシドを加水分解して得られるコロイドの
二種または三種以上の混合物であることが好まし
い。
なお、本明細書において「コロイド」とは、10
〜10000オングストローム（Å）（１〜1000nm）
の大きさの固体粒子が液相に分散している系をい
い、「離漿（synersis）」とは、ゲルやコロイドが
その構造の間隙に含んでいた分散媒の一部分を放
出して体積を減少する現象をいい、さらに「アル
コキシド」とは、金属元素、ケイ素、リン、ヒ
素、セレン、テルル、ホウ素、炭素、またはイオ
ウによりアルコール類の水酸基の水素を置換した
化合物をいう。
〜10000オングストローム（Å）（１〜1000nm）
の大きさの固体粒子が液相に分散している系をい
い、「離漿（synersis）」とは、ゲルやコロイドが
その構造の間隙に含んでいた分散媒の一部分を放
出して体積を減少する現象をいい、さらに「アル
コキシド」とは、金属元素、ケイ素、リン、ヒ
素、セレン、テルル、ホウ素、炭素、またはイオ
ウによりアルコール類の水酸基の水素を置換した
化合物をいう。
本発明をさらに補足説明すると、固体の担体に
塗布されたコロイドがゾル状態のものである場合
には、このコロイドが前記化合物の蒸気雰囲気中
におかれると、コロイドに凝結が起り、急速にゲ
ル化する。このように形成されたゲル状物質もし
くは塗布面に既にゲル状態であつてその状態で塗
布されたゲル状物質は、前記化合物の蒸気雰囲気
中で離漿を生じ、ゲルの体積が僅かに変化するだ
けで、ゲル状物質の表面に分散媒である水を、あ
たかも寒天やチーズが汗をかくように脱離しつ
つ、さらにゲル化が進行する。次いでゲル化の進
行したコロイドは、脱離した水を前記化合物の蒸
気雰囲気中に揮散させずに物理的に適宜除去し、
さらに加熱乾燥処理を加えることによつて塗布形
状を維持しつつ、固体の担体に支持されて逐次分
散相を主成分とする成形体となり、クラツクの発
生や変形を生じることなく目的とする形状のセラ
ミツクスグリーンシートになる。
塗布されたコロイドがゾル状態のものである場合
には、このコロイドが前記化合物の蒸気雰囲気中
におかれると、コロイドに凝結が起り、急速にゲ
ル化する。このように形成されたゲル状物質もし
くは塗布面に既にゲル状態であつてその状態で塗
布されたゲル状物質は、前記化合物の蒸気雰囲気
中で離漿を生じ、ゲルの体積が僅かに変化するだ
けで、ゲル状物質の表面に分散媒である水を、あ
たかも寒天やチーズが汗をかくように脱離しつ
つ、さらにゲル化が進行する。次いでゲル化の進
行したコロイドは、脱離した水を前記化合物の蒸
気雰囲気中に揮散させずに物理的に適宜除去し、
さらに加熱乾燥処理を加えることによつて塗布形
状を維持しつつ、固体の担体に支持されて逐次分
散相を主成分とする成形体となり、クラツクの発
生や変形を生じることなく目的とする形状のセラ
ミツクスグリーンシートになる。
このときコロイドの塗布される担体を固定担体
として、この固定担体を１個ずつ供給するいわゆ
るバツチプロセスによりセラミツクスシートを製
造することもでき、またこの担体を移動担体とし
て連続プロセスによりセラミツクスシートを製造
することもできる。例えば平板状の移動担体にコ
ロイドを塗布して連続的にカルボン酸類、アミン
類、またはアンモニアの中から選ばれた一種また
は二種以上の化合物の蒸気を含む気体中を連続的
に通過させることにより連続したセラミツクスグ
リーンシートを得ることができる。
として、この固定担体を１個ずつ供給するいわゆ
るバツチプロセスによりセラミツクスシートを製
造することもでき、またこの担体を移動担体とし
て連続プロセスによりセラミツクスシートを製造
することもできる。例えば平板状の移動担体にコ
ロイドを塗布して連続的にカルボン酸類、アミン
類、またはアンモニアの中から選ばれた一種また
は二種以上の化合物の蒸気を含む気体中を連続的
に通過させることにより連続したセラミツクスグ
リーンシートを得ることができる。
なお、前記化合物の蒸気を含む気相の温度は、
離漿により脱離した水の氷結または沸騰を防止す
るため、０℃以上100℃未満の温度が好ましく、
特に20℃〜40℃が好ましい。またその気圧は、離
漿時にゲル状物質の表面に気泡を生じないよう
に、１気圧もしくは１気圧より僅かに高い気圧で
あることが好ましい。
離漿により脱離した水の氷結または沸騰を防止す
るため、０℃以上100℃未満の温度が好ましく、
特に20℃〜40℃が好ましい。またその気圧は、離
漿時にゲル状物質の表面に気泡を生じないよう
に、１気圧もしくは１気圧より僅かに高い気圧で
あることが好ましい。
前記コロイドを前記化合物の蒸気を含む気相中
に入れて分散相の水を脱離させる時間は、この化
合物の成分および蒸気容積比、さらにコロイドの
分散相の成分および組成比により異なるが、数分
〜数時間の範囲である。
に入れて分散相の水を脱離させる時間は、この化
合物の成分および蒸気容積比、さらにコロイドの
分散相の成分および組成比により異なるが、数分
〜数時間の範囲である。
離漿によりゲル状物質から脱離した水は、前記
化合物の蒸気を含む気体中に揮散させることなく
除去される。例えば、固体担体を僅かに傾斜させ
ることにより、脱離した水はゲル状物質の表面を
流下して除去される。
化合物の蒸気を含む気体中に揮散させることなく
除去される。例えば、固体担体を僅かに傾斜させ
ることにより、脱離した水はゲル状物質の表面を
流下して除去される。
これによりコロイドの分散媒である水を脱離さ
せる脱離媒体である前記化合物の蒸気を含む気体
の濃度調整が不要で、この気体は上記水により希
釈されることが殆どないため、気体の使用量が少
なくて済み、経済的に製造することができる。
せる脱離媒体である前記化合物の蒸気を含む気体
の濃度調整が不要で、この気体は上記水により希
釈されることが殆どないため、気体の使用量が少
なくて済み、経済的に製造することができる。
また担体に塗布されたコロイドの離漿が進行
し、水分が次第に除去されるにつれ、かなりの外
部応力が加えられても切断することのないフレキ
シブルなセラミツクスグリーンシートとなるの
で、担体より容易に剥離することができる。
し、水分が次第に除去されるにつれ、かなりの外
部応力が加えられても切断することのないフレキ
シブルなセラミツクスグリーンシートとなるの
で、担体より容易に剥離することができる。
上記セラミツクスグリーンシートは、その厚さ
および焼成前の加工方式に応じて、 前記化合物の蒸気を含む気体の中で担体とと
もに巻取られ、 または担体から剥離された後に上記気体中で
巻取られ、 または担体とともにあるいは担体から剥離さ
れた後に空気中に引き出され、必要あればさら
に乾燥処理を施した後、担体とともにあるいは
担体から剥離された後に巻取られ、 乾燥、切断加工、焼成等の次工程に供され、 または上述の〜で巻取り操作を行うこと
なく連続的に次工程に供される。
および焼成前の加工方式に応じて、 前記化合物の蒸気を含む気体の中で担体とと
もに巻取られ、 または担体から剥離された後に上記気体中で
巻取られ、 または担体とともにあるいは担体から剥離さ
れた後に空気中に引き出され、必要あればさら
に乾燥処理を施した後、担体とともにあるいは
担体から剥離された後に巻取られ、 乾燥、切断加工、焼成等の次工程に供され、 または上述の〜で巻取り操作を行うこと
なく連続的に次工程に供される。
分散媒の水が離漿により除去されたコロイド中
には、未だ僅かの水分と前記化合物の蒸気が含ま
れているため、乾燥される。この乾燥方法は前記
化合物の蒸気を含む気体中、あるいは空気中に放
置して乾燥する。このときの気体の条件は常温常
圧下でよいが、必要あれば昇温速度を遅くして加
熱してもよい。この加熱温度の上限温度は、有機
質バインダが加えられる場合には、この有機質バ
インダが変質を開始する温度よりやや低い温度に
設定される。また前記化合物の蒸気を含む気体の
その化合物以外の他成分は、空気の他に窒素等の
気体が適宜選択され、また乾燥速度を速めるため
に蒸気分圧を僅かに低くすることもできる。
には、未だ僅かの水分と前記化合物の蒸気が含ま
れているため、乾燥される。この乾燥方法は前記
化合物の蒸気を含む気体中、あるいは空気中に放
置して乾燥する。このときの気体の条件は常温常
圧下でよいが、必要あれば昇温速度を遅くして加
熱してもよい。この加熱温度の上限温度は、有機
質バインダが加えられる場合には、この有機質バ
インダが変質を開始する温度よりやや低い温度に
設定される。また前記化合物の蒸気を含む気体の
その化合物以外の他成分は、空気の他に窒素等の
気体が適宜選択され、また乾燥速度を速めるため
に蒸気分圧を僅かに低くすることもできる。
本発明に用いられるコロイドの分散相は、特に
限定されず、専ら所望の製品の用途および特性に
より定められるが、例えば、Al、Mg、Si、Ti、
Ba、Pb、Zn、Zr、希土類等の金属もしくは非金
属の酸化物、水酸化物、またはその含水化合物な
どが挙げられ、またこれらの混合物であつてもよ
い。特に、一種または二種以上のアルコキシドを
加水分解して得られる物質が好ましい。
限定されず、専ら所望の製品の用途および特性に
より定められるが、例えば、Al、Mg、Si、Ti、
Ba、Pb、Zn、Zr、希土類等の金属もしくは非金
属の酸化物、水酸化物、またはその含水化合物な
どが挙げられ、またこれらの混合物であつてもよ
い。特に、一種または二種以上のアルコキシドを
加水分解して得られる物質が好ましい。
例えば金属アルミニウムをイソプロピルアルコ
ールと反応させて得たアルミニウムイソプロポキ
シド〔Al（ｉ−C3H7O）3〕１モルに対し100モル
の水を加え、約80℃で30分間加水分解してベーマ
イト〔AlOOH〕を生成させ、これに少量の塩酸
を加えて解膠することによつて安定なベーマイト
ゾルまたは擬ベーマイトゾルが得られる。このゾ
ルに必要あれば、有機質バインダを添加混合した
後、担体に塗布し、前記化合物の蒸気を含む気体
中に置くことにより所望のセラミツクスグリーン
シートが得られる。
ールと反応させて得たアルミニウムイソプロポキ
シド〔Al（ｉ−C3H7O）3〕１モルに対し100モル
の水を加え、約80℃で30分間加水分解してベーマ
イト〔AlOOH〕を生成させ、これに少量の塩酸
を加えて解膠することによつて安定なベーマイト
ゾルまたは擬ベーマイトゾルが得られる。このゾ
ルに必要あれば、有機質バインダを添加混合した
後、担体に塗布し、前記化合物の蒸気を含む気体
中に置くことにより所望のセラミツクスグリーン
シートが得られる。
アルコキシドの加水分解で得られるゾルを出発
物質とする利点は、複合酸化物からなるセラミツ
クス成形体の製造において一層顕著になる。すな
わち複合酸化物は、この酸化物を構成する複数の
金属元素からなるアルコキシドの混合物を加水分
解することにより、100℃以下の低温で容易に合
成され、前記ベーマイトの場合と同様に適切な解
膠処理によつてゾル、換言すればコロイドを形成
することができる。
物質とする利点は、複合酸化物からなるセラミツ
クス成形体の製造において一層顕著になる。すな
わち複合酸化物は、この酸化物を構成する複数の
金属元素からなるアルコキシドの混合物を加水分
解することにより、100℃以下の低温で容易に合
成され、前記ベーマイトの場合と同様に適切な解
膠処理によつてゾル、換言すればコロイドを形成
することができる。
例えば高誘電率材料として広く利用されている
チタン酸バリウム（BaTiO3）の場合には、バリ
ウムイソプロポキシドとチタニウムイソプロポキ
シドとをモル比で１：１の割合になるように秤取
し、これをベンゼン溶液中でよく混合し、60〜80
℃で十分反応させたのち、水を添加して加水分解
すると白色のBaTiO3沈殿物を得る。この白色沈
殿物はアルコキシドの加水分解で得られる他の化
合物の場合と同様に、極めて微細な粒子からなつ
ていて、解膠処理することにより安定したコロイ
ドが容易に得られ、本発明の製造方法にとつて極
めて好ましい出発物質が提供される。
チタン酸バリウム（BaTiO3）の場合には、バリ
ウムイソプロポキシドとチタニウムイソプロポキ
シドとをモル比で１：１の割合になるように秤取
し、これをベンゼン溶液中でよく混合し、60〜80
℃で十分反応させたのち、水を添加して加水分解
すると白色のBaTiO3沈殿物を得る。この白色沈
殿物はアルコキシドの加水分解で得られる他の化
合物の場合と同様に、極めて微細な粒子からなつ
ていて、解膠処理することにより安定したコロイ
ドが容易に得られ、本発明の製造方法にとつて極
めて好ましい出発物質が提供される。
一方従来法によるBaTiO3の合成は、炭酸バリ
ウム（BaCO3）と二酸化チタン（TiO2）の粉末
を出発原料とし、十分混合したのち加圧成形し焼
成するものであるが、BaTiO3の生成は700℃以
上に加熱することにより初めて起り、少なくとも
1100℃程度まで加熱しないと、この反応は完結せ
ず、さらに焼結を十分行わせるには1350℃ないし
それ以上の高温処理が必要である。この方法にお
いてはかかる焼成過程において顕著な膨張、収縮
が生じ生品に機械的な応力が加わる結果、歪やク
ラツクが発生するなどの悪影響がでる。
ウム（BaCO3）と二酸化チタン（TiO2）の粉末
を出発原料とし、十分混合したのち加圧成形し焼
成するものであるが、BaTiO3の生成は700℃以
上に加熱することにより初めて起り、少なくとも
1100℃程度まで加熱しないと、この反応は完結せ
ず、さらに焼結を十分行わせるには1350℃ないし
それ以上の高温処理が必要である。この方法にお
いてはかかる焼成過程において顕著な膨張、収縮
が生じ生品に機械的な応力が加わる結果、歪やク
ラツクが発生するなどの悪影響がでる。
これに対し本発明の製造方法で前記アルコキシ
ドを出発原料とすれば、100℃以下の温度で
BaTiO3が生成され、セラミツクスグリーンシー
トの焼成温度を1200℃前後の低温度まで下げて
も、従来法以上の焼結度のセラミツクス製品が得
られ、しかも焼成温度においても相変化を伴わな
いため、均質で緻密なしかも超高純度のBaTiO3
セラミツクス製品を容易に得ることができる。
ドを出発原料とすれば、100℃以下の温度で
BaTiO3が生成され、セラミツクスグリーンシー
トの焼成温度を1200℃前後の低温度まで下げて
も、従来法以上の焼結度のセラミツクス製品が得
られ、しかも焼成温度においても相変化を伴わな
いため、均質で緻密なしかも超高純度のBaTiO3
セラミツクス製品を容易に得ることができる。
さらに複雑な組成のセラミツクス製品を製造す
る場合にも、一種または二種以上のアルコキシド
の混合物を加水分解して得られたコロイドを二種
以上均質に混合して用いることにより、均質な特
性の優れた製品を安定してかつ高い収率で製造す
ることができる。上記方法は、例えば組成の厳密
な制御と均質化が必要な正温度特性（PTC）サ
ーミスタの製造などに適用すると極めて効果的で
ある。
る場合にも、一種または二種以上のアルコキシド
の混合物を加水分解して得られたコロイドを二種
以上均質に混合して用いることにより、均質な特
性の優れた製品を安定してかつ高い収率で製造す
ることができる。上記方法は、例えば組成の厳密
な制御と均質化が必要な正温度特性（PTC）サ
ーミスタの製造などに適用すると極めて効果的で
ある。
またアルコキシドを出発原料に用いることは、
有機溶媒中で各成分の混合が行われる結果、均質
化が極めて容易に行われ、しかも石油化学工業に
おける諸反応と同様にパイプラインおよび反応塔
よりなる完全自動連続システムによつて、出発物
質（コロイド）を作成できる利点があり、これに
続く成形工程さらには焼成工程までセラミツクス
の連続製造ラインを形成できる特長がある。
有機溶媒中で各成分の混合が行われる結果、均質
化が極めて容易に行われ、しかも石油化学工業に
おける諸反応と同様にパイプラインおよび反応塔
よりなる完全自動連続システムによつて、出発物
質（コロイド）を作成できる利点があり、これに
続く成形工程さらには焼成工程までセラミツクス
の連続製造ラインを形成できる特長がある。
なお本発明の製造方法の出発原料としては、前
記アルコキシドの加水分解と解膠操作によつて得
られるものに限定されず、例えば金属塩にアンモ
ニア水を添加して金属の水酸化物となし、この水
酸化物を水を分散媒としたコロイドになすなど
種々の手法によることができる。
記アルコキシドの加水分解と解膠操作によつて得
られるものに限定されず、例えば金属塩にアンモ
ニア水を添加して金属の水酸化物となし、この水
酸化物を水を分散媒としたコロイドになすなど
種々の手法によることができる。
また層間に置換イオンを含む膨潤性粘土鉱物、
例えば天然スメクタイトや人工フツ素雲母系鉱物
などを分散媒中に投入し、膨潤崩壊させて得られ
る微粒子を分散相とするコロイドも本発明の製造
方法の出発原料として好適である。
例えば天然スメクタイトや人工フツ素雲母系鉱物
などを分散媒中に投入し、膨潤崩壊させて得られ
る微粒子を分散相とするコロイドも本発明の製造
方法の出発原料として好適である。
さらにコロイド化の手法を異にする複数のコロ
イドから容易に均質な混合コロイドを作製でき、
この混合コロイドも本発明の出発物質として利用
することもできる。
イドから容易に均質な混合コロイドを作製でき、
この混合コロイドも本発明の出発物質として利用
することもできる。
また次の脱分散媒工程および成形工程、あるい
はそれ以降の焼成工程に至るまでの過程において
柔軟性に富んだセラミツクスシートを必要とする
場合には、コロイドに可撓性のある有機質バイン
ダを予め適量混合しておき、その後に成形するこ
とによつてその目的を達成することができる。こ
の有機質バインダとしては、例えばポリビニール
アルコール、ポリ酢酸ビニル、メチルセルロー
ス、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸またはこ
れらの共重合体、混合物等が挙げられる。さらに
コロイドを成形するに先立ち、このコロイドの粘
性を成形に好適な範囲に調節する目的で各種増粘
剤または分散剤等を添加混合することもできる。
はそれ以降の焼成工程に至るまでの過程において
柔軟性に富んだセラミツクスシートを必要とする
場合には、コロイドに可撓性のある有機質バイン
ダを予め適量混合しておき、その後に成形するこ
とによつてその目的を達成することができる。こ
の有機質バインダとしては、例えばポリビニール
アルコール、ポリ酢酸ビニル、メチルセルロー
ス、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸またはこ
れらの共重合体、混合物等が挙げられる。さらに
コロイドを成形するに先立ち、このコロイドの粘
性を成形に好適な範囲に調節する目的で各種増粘
剤または分散剤等を添加混合することもできる。
前記担体に塗布されたコロイドの離漿をもたら
す化合物としては、カルボン酸類、アミン類、ま
たはアンモニアが挙げられ、前述したように０℃
以上100℃未満の温度範囲で前記離漿が起る十分
な蒸気圧を有するものでなければならなず、特に
カルボン酸類およびアミン類の場合には、後述す
るように炭素数の少ないものが好ましい。
す化合物としては、カルボン酸類、アミン類、ま
たはアンモニアが挙げられ、前述したように０℃
以上100℃未満の温度範囲で前記離漿が起る十分
な蒸気圧を有するものでなければならなず、特に
カルボン酸類およびアミン類の場合には、後述す
るように炭素数の少ないものが好ましい。
前記カルボン酸類としては、ギ酸、酢酸、また
はこれらの化合物の異性体が挙げられる。
はこれらの化合物の異性体が挙げられる。
また前記アミン類としては、炭素数６以下の化
合物が好ましく、例えばメチルアミン、エチルア
ミン、プロピルアミン、ブチルアミン、アミルア
ミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロ
ピルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミ
ン、アリルアミン、およびこれらの化合物の異性
体が挙げられる。
合物が好ましく、例えばメチルアミン、エチルア
ミン、プロピルアミン、ブチルアミン、アミルア
ミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロ
ピルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミ
ン、アリルアミン、およびこれらの化合物の異性
体が挙げられる。
前記各種化合物は単独で供用される以外に、前
記化合物を複数混合して用いてもよい。
記化合物を複数混合して用いてもよい。
なお、前記化合物以外の他の塩基類、酸類の化
合物であつて、本発明に使用するときの温度条件
下でその蒸気圧が15mmHg以上の化合物は前記化
合物と同様に本発明を実施することができる。
合物であつて、本発明に使用するときの温度条件
下でその蒸気圧が15mmHg以上の化合物は前記化
合物と同様に本発明を実施することができる。
また前記化合物の選択は、コロイドの中の水分
含有量、コロイドを塗布した担体の供給速度、成
形体の厚さおよび幅、脱水乾燥速度等の各種条件
を勘案して行われ、また気相中の各化合物の蒸気
分圧も上記と同様の各種条件を勘案して決定され
る。
含有量、コロイドを塗布した担体の供給速度、成
形体の厚さおよび幅、脱水乾燥速度等の各種条件
を勘案して行われ、また気相中の各化合物の蒸気
分圧も上記と同様の各種条件を勘案して決定され
る。
さらに前記コロイドを塗布する方法としては、
バツチプロセスにより製造する場合には、固定担
体としてガラス板、金属板、有機高分子板等を用
いて、この固定担体に対して吹付け、流込み等の
コーテイング法が採られる。また連続プロセスに
より製造する場合には、移動担体として連続した
金属フイルム、有機高分子フイルム等を用いて、
この移動担体に対して吹付け、デイツピング、ド
クターブレード、リバースロール、またはパン等
の一般に用いられているコーテイング法が採られ
る。特に移動担体としてステンレス合金、ニツケ
ル、クロム等の金属フイルムやポリプロピレン、
ポリエチレン、ポリエステル、フツ素樹脂等の有
機高分子フイルムが好ましい。
バツチプロセスにより製造する場合には、固定担
体としてガラス板、金属板、有機高分子板等を用
いて、この固定担体に対して吹付け、流込み等の
コーテイング法が採られる。また連続プロセスに
より製造する場合には、移動担体として連続した
金属フイルム、有機高分子フイルム等を用いて、
この移動担体に対して吹付け、デイツピング、ド
クターブレード、リバースロール、またはパン等
の一般に用いられているコーテイング法が採られ
る。特に移動担体としてステンレス合金、ニツケ
ル、クロム等の金属フイルムやポリプロピレン、
ポリエチレン、ポリエステル、フツ素樹脂等の有
機高分子フイルムが好ましい。
なお固定および移動担体の表面にシリコーン処
理、金属メツキ処理を施すことにより、剥離性、
表面平滑性の優れた担体を得ることもできる。
理、金属メツキ処理を施すことにより、剥離性、
表面平滑性の優れた担体を得ることもできる。
連続プロセスにより製造する一例を以下に述べ
ると、移動担体の表面に連続的に塗布されたコロ
イドは、移動担体とともに前記化合物の蒸気を含
む気体中に供給され、コロイドの分散媒である水
の一部または全部が離漿により脱離されて、コロ
イドのゲル化とそれに伴う凝結作用によつて、移
動担体に支持された状態でグリーンシートに形成
され、前記気体容器の外に置かれた巻取り装置、
ガイドローラ等によつて連続的に系外に搬出され
る。次いでこの搬出されたグリーンシートを移動
担体より剥離し、必要あればグリーンシートに残
存する分散媒を乾燥機により除去した後、トンネ
ルキルン等を用いて焼成することにより所望のセ
ラミツクスシート製品が得られる。
ると、移動担体の表面に連続的に塗布されたコロ
イドは、移動担体とともに前記化合物の蒸気を含
む気体中に供給され、コロイドの分散媒である水
の一部または全部が離漿により脱離されて、コロ
イドのゲル化とそれに伴う凝結作用によつて、移
動担体に支持された状態でグリーンシートに形成
され、前記気体容器の外に置かれた巻取り装置、
ガイドローラ等によつて連続的に系外に搬出され
る。次いでこの搬出されたグリーンシートを移動
担体より剥離し、必要あればグリーンシートに残
存する分散媒を乾燥機により除去した後、トンネ
ルキルン等を用いて焼成することにより所望のセ
ラミツクスシート製品が得られる。
なお焼成工程に先立ち、切断加工を施せば高性
能セラミツクスシート製品が連続的に能率よく製
造される。
能セラミツクスシート製品が連続的に能率よく製
造される。
また前述した可撓性バインダを加えたグリーン
シートにおいては、種々の加工を施されたグリー
ンシートを複数枚重ね合せてプレス加工すること
により種々の断面形状のセラミツクス製品を得る
ことも可能である。
シートにおいては、種々の加工を施されたグリー
ンシートを複数枚重ね合せてプレス加工すること
により種々の断面形状のセラミツクス製品を得る
ことも可能である。
参考までに本発明の原料コロイドの分散相を形
成する物質と同等物質を粉末原料として、従来法
に基づいて1000℃程度の温度で仮焼した後、有機
質バインダを添加してテープ成形して焼成後に得
られた成形体は、本発明の成形体に比較して表面
平滑性が悪く、機械的強度が著しく弱いものであ
つた。
成する物質と同等物質を粉末原料として、従来法
に基づいて1000℃程度の温度で仮焼した後、有機
質バインダを添加してテープ成形して焼成後に得
られた成形体は、本発明の成形体に比較して表面
平滑性が悪く、機械的強度が著しく弱いものであ
つた。
以上述べたように、本発明によれば、前記コロ
イドを固体担体上に塗布した後、前記化合物の蒸
気を含む気体中に入れて離漿させコロイドの分散
媒である水を脱離させることにより、前記従来発
明の利点に加えて、 コロイドの分散媒を脱離させる脱離媒体である
前記化合物の蒸気を含む気体の濃度調整が不要
で、この気体の使用量が少なくて済み、経済的に
製造することができる優れた効果がある。
イドを固体担体上に塗布した後、前記化合物の蒸
気を含む気体中に入れて離漿させコロイドの分散
媒である水を脱離させることにより、前記従来発
明の利点に加えて、 コロイドの分散媒を脱離させる脱離媒体である
前記化合物の蒸気を含む気体の濃度調整が不要
で、この気体の使用量が少なくて済み、経済的に
製造することができる優れた効果がある。
次に本発明を実施例によりさらに具体的に説明
するが、本発明はその要旨を以下の実施例に限定
するものではない。
するが、本発明はその要旨を以下の実施例に限定
するものではない。
実施例 Ｉ
市販のシリカゾルを用い、バツチプロセスによ
り処理するために、シリカゾルの粘性を調節し、
これを固定担体のガラス板上にアプリケーターで
厚み１mmになるように塗布する。次にこのシリカ
ゾルが塗布されたガラス板を20℃１気圧のアンモ
ニアガスと空気の混合雰囲気中に放置してシリカ
ゾルの分散媒である水を離漿させ、シリカゾルを
ゲル化させた後、ガラス板を傾斜させて遊離した
水を除去する。次にガラス板を上記雰囲気中より
取り出し、ガラス板上のシート状のゲルをガラス
板から剥離させ、50℃１気圧の空気中に放置して
乾燥させセラミツクスグリーンシートを得た。
り処理するために、シリカゾルの粘性を調節し、
これを固定担体のガラス板上にアプリケーターで
厚み１mmになるように塗布する。次にこのシリカ
ゾルが塗布されたガラス板を20℃１気圧のアンモ
ニアガスと空気の混合雰囲気中に放置してシリカ
ゾルの分散媒である水を離漿させ、シリカゾルを
ゲル化させた後、ガラス板を傾斜させて遊離した
水を除去する。次にガラス板を上記雰囲気中より
取り出し、ガラス板上のシート状のゲルをガラス
板から剥離させ、50℃１気圧の空気中に放置して
乾燥させセラミツクスグリーンシートを得た。
このグリーンシートを1000℃で焼成して焼成後
の厚さが50μmのシリカガラスシートを得た。
の厚さが50μmのシリカガラスシートを得た。
実施例
金属マグネシウムとメタノールとを反応させて
得られたマグネシウムメトキシドに水を加えて加
水分解させブルーサイトゾルを得た。
得られたマグネシウムメトキシドに水を加えて加
水分解させブルーサイトゾルを得た。
このゾルの固形分に対し30重量％のポリビニー
ルアルコールを添加し、ドクターブレードコーテ
イング法に基づくテープキヤステイングにより移
動担体のポリエステルフイルムに厚さ１mmになる
ように塗布する。次にこのポリエステルフイルム
を酢酸の飽和蒸気雰囲気に保たれた70℃の容器内
に連続的に挿入し、ブルーサイトゾルの分散媒で
ある水を酢酸蒸気で離漿させ、上記ブルーサイト
ゾルをゲル化させた後、酢酸蒸気雰囲気の容器よ
り引き出す。なお分散媒である水は成形されたブ
ルーサイトゾルの表面に遊離するので、連続的に
容器外に排出させた。次いでポリエステルフイル
ム上のシート状のゲルをポリエステルフイルムか
ら剥離させ、80℃の空気中を通過させてシート状
ゲルに残存する酢酸と水とを連続的に除去し、厚
さ100μmのブルーサイトグリーンシートを得た。
ルアルコールを添加し、ドクターブレードコーテ
イング法に基づくテープキヤステイングにより移
動担体のポリエステルフイルムに厚さ１mmになる
ように塗布する。次にこのポリエステルフイルム
を酢酸の飽和蒸気雰囲気に保たれた70℃の容器内
に連続的に挿入し、ブルーサイトゾルの分散媒で
ある水を酢酸蒸気で離漿させ、上記ブルーサイト
ゾルをゲル化させた後、酢酸蒸気雰囲気の容器よ
り引き出す。なお分散媒である水は成形されたブ
ルーサイトゾルの表面に遊離するので、連続的に
容器外に排出させた。次いでポリエステルフイル
ム上のシート状のゲルをポリエステルフイルムか
ら剥離させ、80℃の空気中を通過させてシート状
ゲルに残存する酢酸と水とを連続的に除去し、厚
さ100μmのブルーサイトグリーンシートを得た。
このグリーンシートを1500℃で焼成して焼成後
の厚さが40μmのマグネシアセラミツクスシート
を得た。このマグネシアセラミツクスシートは均
質で表面粗さ0.5μm以下であり、貫通空孔は全く
存在しなかつた。また鉱物組成は超高純度のマグ
ネシアのみからなることを化学分析およびＸ線回
折装置で確認した。
の厚さが40μmのマグネシアセラミツクスシート
を得た。このマグネシアセラミツクスシートは均
質で表面粗さ0.5μm以下であり、貫通空孔は全く
存在しなかつた。また鉱物組成は超高純度のマグ
ネシアのみからなることを化学分析およびＸ線回
折装置で確認した。
実施例
金属アルミニウムをイソプロピルアルコールと
反応させて得られたアルミニウムイソプロポキシ
ドにPH２〜４に調整した水を加え加水分解しベー
マイトゾルを得た。
反応させて得られたアルミニウムイソプロポキシ
ドにPH２〜４に調整した水を加え加水分解しベー
マイトゾルを得た。
これに実施例で得たブルーサイトゾルをモル
比でAl2O3：MgO＝98：２の割合で混合して原料
コロイドを調製する。
比でAl2O3：MgO＝98：２の割合で混合して原料
コロイドを調製する。
この原料コロイドをリバースロールコーテイン
グ法に基づくテープキヤステイングにより移動担
体の高密度ポリエチレンテープに厚さ0.3mmのコ
ーテイングを行う。次にコーテイングの施された
ポリエチレンテープをイソプロピルアミン蒸気雰
囲気に保たれた25℃の容器に連続的に挿入し、原
料コロイドの分散媒である水が離漿し、上記原料
コロイドがゲル化した後、蒸気雰囲気より連続的
に引き出す。次いで高密度ポリエチレンテープに
より剥離させ、50℃0.9気圧の空気中を通過させ
て厚さ70μmの乾燥したグリーンシートを得た。
このグリーンシートを1600℃で焼成して焼成後の
厚さが20μmのαアルミナを主成分とするセラミ
ツクスシートを得た。
グ法に基づくテープキヤステイングにより移動担
体の高密度ポリエチレンテープに厚さ0.3mmのコ
ーテイングを行う。次にコーテイングの施された
ポリエチレンテープをイソプロピルアミン蒸気雰
囲気に保たれた25℃の容器に連続的に挿入し、原
料コロイドの分散媒である水が離漿し、上記原料
コロイドがゲル化した後、蒸気雰囲気より連続的
に引き出す。次いで高密度ポリエチレンテープに
より剥離させ、50℃0.9気圧の空気中を通過させ
て厚さ70μmの乾燥したグリーンシートを得た。
このグリーンシートを1600℃で焼成して焼成後の
厚さが20μmのαアルミナを主成分とするセラミ
ツクスシートを得た。
このセラミツクスシートは均質で表面粗さ
0.3μm以下であり、貫通空孔は全く存在せず、集
積回路基板もしくは蒸着基板として研磨なしに使
用するに十分な表面粗さであつた。
0.3μm以下であり、貫通空孔は全く存在せず、集
積回路基板もしくは蒸着基板として研磨なしに使
用するに十分な表面粗さであつた。
実施例
アルミニウムイソプロポキシドとナトリウムイ
ソプロポキシドとをβアルミナ組成（原子比で
Al：Na＝10：１）に混合した混合アルコキシド
を加水分解させて原料コロイドを得た。
ソプロポキシドとをβアルミナ組成（原子比で
Al：Na＝10：１）に混合した混合アルコキシド
を加水分解させて原料コロイドを得た。
この原料コロイドを連続プロセスにより処理し
て、得られるグリーンシートの剥離、切断等の加
工を容易にするために、この原料コロイドの固形
分に対し25重量％のポリアクリルアミドを原料コ
ロイドに添加し、ドクターブレードコーテイング
法に基づきポリエステルテープ上にテープキヤス
テイングにより移動担体に厚さ１mmのコーテイン
グを行う。次にコーテイングの施されたポリエス
テルテープをアンモニアとブチルアミンの容積比
１：１の混合気体雰囲気の40℃に保たれた容器に
連続的に挿入し、上記原料コロイドの分散媒であ
る水を離漿させ、上記原料コロイドがゲル化した
後、空気雰囲気より連続的に引き出す。次いで60
℃１気圧の空気中を通過させて、残存する水、ア
ンモニア、およびブチルアミンを連続的に除去し
た後、ポリエステルテープよりグリーンシートを
剥離させ、厚さ80μmの乾燥したグリーンシート
を得た。このグリーンシートを1200℃で焼成して
焼成後の厚さが25μmのβアルミナシートを得た。
て、得られるグリーンシートの剥離、切断等の加
工を容易にするために、この原料コロイドの固形
分に対し25重量％のポリアクリルアミドを原料コ
ロイドに添加し、ドクターブレードコーテイング
法に基づきポリエステルテープ上にテープキヤス
テイングにより移動担体に厚さ１mmのコーテイン
グを行う。次にコーテイングの施されたポリエス
テルテープをアンモニアとブチルアミンの容積比
１：１の混合気体雰囲気の40℃に保たれた容器に
連続的に挿入し、上記原料コロイドの分散媒であ
る水を離漿させ、上記原料コロイドがゲル化した
後、空気雰囲気より連続的に引き出す。次いで60
℃１気圧の空気中を通過させて、残存する水、ア
ンモニア、およびブチルアミンを連続的に除去し
た後、ポリエステルテープよりグリーンシートを
剥離させ、厚さ80μmの乾燥したグリーンシート
を得た。このグリーンシートを1200℃で焼成して
焼成後の厚さが25μmのβアルミナシートを得た。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一種または二種以上の無機物を分散相とし水
を分散媒とするコロイドを固体の担体に塗布した
後、カルボン酸類、アミン類、またはアンモニア
の中から選ばれた一種または二種以上の化合物の
蒸気を含む気体雰囲気中に入れて、前記コロイド
に離漿を生じさせ、この離漿の生じたコロイドを
前記気体雰囲気中または空気雰囲気中で乾燥して
セラミツクスグリーンシートを形成させることを
特徴とするセラミツクスグリーンシートの製造方
法。 ２ コロイドに有機質バインダを含む特許請求の
範囲第１項記載のセラミツクスグリーンシートの
製造方法。 ３ 固体の担体は移動担体であつて、かつコロイ
ドが連続的に塗布されて気体雰囲気中を通過する
特許請求の範囲第１項記載のセラミツクスグリー
ンシートの製造方法。 ４ カルボン酸類はギ酸または酢酸である特許請
求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の
セラミツクスグリーンシートの製造方法。 ５ アミン類は炭素数６以下のアミンである特許
請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載
のセラミツクスグリーンシートの製造方法。 ６ コロイドは一種または二種以上のアルコキシ
ドを加水分解して得られるコロイドである特許請
求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記載の
セラミツクスグリーンシートの製造方法。 ７ コロイドは一種または二種以上のアルコキシ
ドを加水分解して得られるコロイドの二種または
三種以上の混合物である特許請求の範囲第１項な
いし第５項のいずれかに記載のセラミツクスグリ
ーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57123620A JPS5913666A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | セラミツクスグリ−ンシ−トの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57123620A JPS5913666A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | セラミツクスグリ−ンシ−トの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5913666A JPS5913666A (ja) | 1984-01-24 |
| JPS6348824B2 true JPS6348824B2 (ja) | 1988-09-30 |
Family
ID=14865092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57123620A Granted JPS5913666A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | セラミツクスグリ−ンシ−トの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5913666A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07115935B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1995-12-13 | 新日本製鐵株式会社 | セラミツクス前駆体薄膜の製造方法 |
| JPH072327B2 (ja) * | 1989-02-22 | 1995-01-18 | 三菱マテリアル株式会社 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
-
1982
- 1982-07-14 JP JP57123620A patent/JPS5913666A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5913666A (ja) | 1984-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Hennings et al. | Solid‐state preparation of BaTiO3‐based dielectrics, using ultrafine raw materials | |
| US4801399A (en) | Inorganic salts as peptizing agents in the preparation of metal oxide sol-gel compositions | |
| Nanni et al. | Low-temperature aqueous preparation of barium metatitanate powders | |
| RU2407705C1 (ru) | Способ получения нанодисперсных оксидов металлов | |
| Low et al. | Crystallization of gel-derived alumina and alumina-zirconia ceramics | |
| Phule et al. | Sol-Gel Syntheses and Characterization of BaTi4O9 and BaTiO3-Powders | |
| CN120794575B (zh) | 制备片状发热体的方法 | |
| JPS6348824B2 (ja) | ||
| JPH0372571B2 (ja) | ||
| JPS6348823B2 (ja) | ||
| WO2022107695A1 (ja) | シュウ酸バリウムチタニルの製造方法及びチタン酸バリウムの製造方法 | |
| Ravindranathan et al. | Dielectric properties of sol-gel derived lead magnesium niobate ceramics | |
| JPS6343337B2 (ja) | ||
| JP7110305B2 (ja) | シュウ酸バリウムチタニルの製造方法及びチタン酸バリウムの製造方法 | |
| CN116177594A (zh) | 一种立方相钛酸钡转变为四方相的回转炉烧结工艺 | |
| JPS58153604A (ja) | セラミツクス成形体の製造方法 | |
| CN107586129A (zh) | 一种[100]方向织构化钛酸钡压电陶瓷制备方法 | |
| JPS6241177B2 (ja) | ||
| Fan et al. | Synthesis of modified PbTiO3 powders and fibers by a liquid mix process | |
| JPH05147910A (ja) | 窒化アルミニウム質粉末およびその製造方法 | |
| JPS5939773A (ja) | セラミツクスグリ−ン成形体の焼成方法 | |
| JPH08337467A (ja) | セラミック材料及びその製造方法 | |
| Stojanovic et al. | Hot-pressed 9.5/65/35 PLZT prepared by the polymeric precursor method | |
| JPS6356186B2 (ja) | ||
| Abothu et al. | Nanocomposite versus sol-gel processing of barium magnesium tantalate |