JPS6351205A - トランスファモールド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、搬送技術、特に、破ｔｉＬ易い物品について
の搬送技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程にお
いて、樹脂封止型パッケージを成形する装置のタブレッ
ト搬送装置に利用して有効な技術に関する。

〔従来の技術〕

一般に、半導体装置の製造工程において、樹脂封止型パ
ッケージを成形する成形装設として、成形型の上型と下
型との間にリードフレームをベレットがキャビティー内
に収まるように挟み込み、キャビティー内に成形材料と
しての樹脂（以下、レジンという。）を注入してパッケ
ージを成゛形するトランスファモールド装置が使用され
ている。

このようなトランスファモールド装置においては、上型
と下型との間に形成されたキャビティーにランナを通し
てボットからレジンを注入するために、ポットにタブレ
ット（ム）状のレジンを仮形成したもの）を搬送装置を
通じて１個または複数個供給するように構成されている
。

なお、トランスファモールド技術を述べである例として
は、株式会社工業調査会発行「電子材料１９８１年１１
月号別冊」昭和５６年１１月１０日発行２１７０〜Ｐ１
７５．がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このようなトランスファモールド技術において
は、タブレットが脆いため、タブレット　　を搬送装置
によりポットに供給する場合にタブレフトから生じる破
片等の脱落物によって、タブレフトが途中に詰まり、ポ
ットに搬送されないという問題点があることが、本発明
者によって明らかにされた。

本発明の目的は、脆い被搬送物であっても確実に搬送す
ることができる搬送技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

被搬送物が移動する搬送路に被搬送物から生じる脱落物
を搬送路から排出する逃げ空間を設けたものである。

〔作用〕

前記した手段によれば、被搬送物（タブレフト）が、搬
送路に投入されると、タブレットから生じる脱落物は逃
げ空間を通じて外部に排出されて行くため、搬送路には
１般送を妨害する脱落物が存在せず、その結果、タブレ
フトが搬送路に詰ることは回避することができる。

〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例であるタブレットｆｌｆｔ送
装置を示す斜視図、第２図は第１図の■−■線に沿う横
断面図、第３図はその搬送装置が配設されているトラン
スファモールド装置を示す縦断面図である。

本実施例において、トランスファモールド装置は、非気
密封止型パッケージを成形するものとして構成されてお
り、成形型としての上型１と下型２とを備えている。上
型１と下型２とは型合わせされるように構成されており
、その合わせ面にはキャビティー３が上下型において協
働的に形成されている。下型２の合わせ面にはポット６
に連通ずるランナ４と、ランナ４とキャビティー３とを
連通させるゲート５とがそれぞれ開設されている。

ポット６に挿入されるプランジャー７はポット６の上方
に設備され、また、ポット６にタブレット８を供給する
タブレフト搬送装置９はポット６とプランジ中−７との
間に適時位置するように往復移動可能に設備されている
。

このタブレットｍ送袋Ｗ１．９は第１図および第２図に
示されているように４本の丸棒１０および複数個の固定
具１１を用いて搬送路１２を形成するように構成されて
いる。すなわち、固定具１１は略円形のリング形状に形
成されており、複数個の固定具１１は中心線を合致され
て中心線方向に適当間隔に配設されている。４本の丸棒
１０は各固定具１１間にわたって挿入されるとともに、
周方向に略等間隔（互いに９０度の位相差）をもうてか
つ、中心線とそれぞれ平行になるように配されて、その
外周面を固定具１１の内周面に固着されており、この位
置規制により、４本の丸棒１０はその外周面をタブレッ
ト８の外周面に長手方向に沿って摺接しつつ保持する搬
送路１２を形成するようになっている。そして、隣り合
う丸棒１０．１０は周方向に離間されているため、搬送
路１２には隣り合う先棒１Ｏ１１０間に長手方向に連続
した逃げ空間１３が実質的に開設されることになり、こ
の逃げ空間１３は搬送路１２の径方向において外部に連
通している。

順送路１２の外部には一対のエアシリンダ装置１４．１
５が上下にそれぞれ配されて、そのピストンロッド１４
ａ、１５ａが搬送路１２の径方向に進退するように設備
されている。上側のエアシリンダ装置１４はそのピスト
ンロッド１４ａが逃げ空間１３を挿通することにより、
その先端面でタブレット８の外周面を押してこれを停止
させるように構成されており、下側のエアシリンダ装置
１５はそのピストンロッド１５ａが逃げ空間１３を挿通
ずることにより、その先端部でタブレット８の下面を受
けてこれを支持するように構成されている。

タブレフ）搬送装置１２は適当な駆動装置（図示せず）
により往復移動されるように構成されており、タブレッ
ト８をポット６に投入させる際にボントロの真上に移送
されるようになっている。

次に作用を説明する。

まず、タブレット８はこれが貯留されているホッパ（図
示せず）からタブレフ）ｆｕｌｌ送装置９における搬送
路１２内に上から落とし込まれて収容される。このとき
、下側エアシリンダ装置１５のピストンロッド１５ａが
搬送路１２の奥まで挿入されており、タブレット８はこ
のピストンロッド１５ａにより支持される。

タブレット８がポット６に投入される際、タブレット搬
送装置９はホッパの位置からポット６の真上に移送され
る。この位置で、下側のエアシリンダ装置１５のピスト
ンロッド１５ａが後退されると、これに支持されていた
タブレット８は搬送路１２に案内されてポット６内に落
下する。このとき、上側のエアシリンダ装ｆｉ１４のピ
ストンロッド１４ａがタブレット８を押さえることによ
り保持しているため、タブレット８ば所定の数（図示例
では１１［１ｉ１）だけがポット６内に投入されること
になる。

タブレット８の投入が終了すると、タブレット搬送装置
９は元の位置に戻され、次の没入作動に待機する。

一方、ポット６に投入されたタブレット８は加熱溶融さ
れるとともに、プランジャ７によって圧送される。熔融
されて圧送されるレジンはランナ４およびゲート５を通
じてキャビティー３に注入され、非気密封止パッケージ
が成形されることになる。

ところで、タブレフトは粉末状のレジンを突き固めて形
成されたものであるから、きわめて脆く破損し易い、こ
のため、タブレフトが円筒体の中空部によって形成され
た搬送路内を搬送される場合、タブレフトが搬送路内の
途中で詰ることが発生する。すなわち、タブレットから
発生した破片等の脱落物がタブレフトと搬送路内面との
間に挟まることにより、タブレットの移ｆｉＪが妨げら
れるからである。

しかし、本実施例においては、搬送路１２が複数本の丸
棒１０によって形成されることによって逃げ空間１３が
開設されているため、タブレット８が搬送路１２の途中
で詰ることはない。すなわち、脆いタブレット８から発
生した破片等の脱落物８ａは逃げ空間１３を通じて外部
に常に排出されるからである。つまり、クフ゛レント８
自体から発生してその移動を妨害する脱落物８ａが１殻
送路１２内に残ることはない。

ちなみに、丸棒１０によって形成される搬送路１２は摺
接面が長手方向に一連に連続しているため、搬送方向に
対して交差するような継目がなく、タブレット８に対す
る引っＩ卦かり部がない、このため、タブレット８の破
損自体が抑制されることになる。

〔実施例２〕 第４図は本発明の他の実施例を示す斜視図、第５図は第
４図のＶ−Ｖ線に沿う横断面図である。

本実施例２が前記実施例１と異なる点は、丸棒１０群の
外部がカバー１６により取り囲まれているとともに、カ
バー１６には真空排気路１７が接続されていることによ
り、各逃げ空間１３が排気空間１８に連通されるように
構成されている点にある。

本実施例２によれば、搬送路１２において発生したタブ
レット８からの脱落物８ａは逃げ空間１３を通して排気
空間１８に強制的に排出されるため、脱落物８ａｆＪ＜
ＩＨ送路１２内に残ることは確実に防止されることにな
る。また、排気空間１＝８に排出された破片は大気に放
出されることなく、回収されるため、作ｉｔｑ境を汚染
することは未然に防止される。

ちなみに、カバー１６で搬送路１２内を監視できなくな
るのを回避するため、カバー１６は遇明に構成すること
が望ましい。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

＋１１　　搬送路に逃げ空間を外部と連通ずるように開
設することにより、被搬送物から生しる脱落物を外部に
排出させることができるため、被搬送物が搬送路に詰る
ことを回避することができ、ＩＩ送装置およびこれに接
続された装置の稼働率の低下を防止することができる。

（２）逃げ空間が、隣り合う丸棒によって構成されるこ
とにより、丸棒のガイド面に引っ掛かりが少ないため、
被搬送物からの脱落物の発生を減少させることができ、
搬送の信頼性を高めることができる。

（３）複数本の丸棒によって搬送路を構成することによ
り、構造を簡単化することができるとともに、材料費、
組立費を低減させることができるため、経費を少なくす
ることができ、また、生産性を高めることができる。

（４）逃げ空間をカバーで取り囲んで排気空間に連通さ
せることにより、脱落物が囲いに飛散するのを防止する
ことができるため、脱落物による作業環境の汚染を防止
することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、搬送路および逃げ空間は複数本の丸棒および隣
り合う丸棒の間隙によりそれぞれ構成するに限らず、第
６図および第７図に示されているように構成してもよい
。

第６図において、搬送路１２Ａは円筒体２０の中空部に
より形成されており、また、逃げ空間１３Ａは、円筒体
２０の内周面に中心線と平行に配されて開設されている
とともに、その長手方向の一端において外部に連通され
ている長溝２１によって形成されている。なお、長溝２
１は４本に限らず、１本でも複数本でもよい。

第７図において、逃げ空間１３Ｂは円筒体２０の側壁に
内外を連通させるように開設された長孔２２によって形
成されている。

さらに、逃げ空間は多孔や網目等によって構成してもよ
い。

前記実施例ではタブレットをトランスファモールド装置
のボットに投入するタブレット搬送装置について説明し
たが、第８図に示されているように、２箇所間において
タブレットを単に搬送する搬送装置９Ａに通用してもよ
い。

第９図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。

本実施例のものは内部中空角管２３をもって搬送路とし
、タブレフト８等を搬送するもので、４隅１３Ｃが逃げ
空間を形成しているものである。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるタブレットの搬送装
置に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、薬の錠剤や粉末ｔｈ金素材等のように
脆い被搬送物の搬送装置全般に通用することができる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる’Ｊｒ果を簡単に説明すれば、次の通りであ
る。

被搬送物が移動する１般送路に少なくとも１本の逃げ空
間を少なくとも１箇所で外部と連通ずるように開設する
ことにより、被搬送物から生じる、脱落物を外部空間に
排出できるため、被搬送）！りが搬送路に詰るのを防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるタブレット搬送装置を
示す斜視図、 第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う平面図、第３図はその
搬送装置が配設されているトランスファモールド装置を
示す縦断面図、 第４図は本発明の伯の実施例を示す斜視図、第５図は第
４図のＶ−Ｖ線に沿う平面図、第６図および第７図は本
発明の他の実施例を示す各拡大部分横断面図、 第８図は本発明の他の実Ｌ１例を示す斜視図、第９図は
本発明のさらに他の実施例を示す斜視図である。 １・・・上型、２・・・下型、３・・・キャビティー、
４・・・ランナ、５・・・ゲート、６・・・ボット、７
・・・プランジャ、８パ°クブレソト、９・・・タブレ
ット尤送装五、１０・・・丸棒、１１・・・固定具、１
２．１２Ａ、１２Ｂ・・・搬送路、１３．１３Ａ、１３
Ｂ、１３Ｃ・・・逃げ空間、１４．１５・・・エアシリ
ンダ装置、１６・・・カバー、１７・・・真空排気路、
１８・・・排気空間、２０・・・円筒体、２１・・・長
溝、２２・・・長孔、２３・・・内部中空角管。 第　　　１　　図 第　　２　　図 ４゛ 第　　３　　区 第　　４　　図 第　　５　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被搬送物が移動する搬送路に被搬送物から生じる脱
   落物を搬送路から排出する逃げ空間が設けられているこ
   とを特徴とする搬送装置。 ２、逃げ空間が、隣り合う丸棒によって構成されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置
   。 ３、逃げ空間が、カバーで取り囲まれており、真空排気
   されている排気空間に連通されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ４、逃げ空間が、搬送路の内周面に移動方向に長くなる
   ように配されて没設されている長溝から形成されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の搬送装置
   。 ５、逃げ空間が、搬送路の移動方向に切設されているス
   リットから形成されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の搬送装置。