JPS635626U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS635626U JPS635626U JP9866586U JP9866586U JPS635626U JP S635626 U JPS635626 U JP S635626U JP 9866586 U JP9866586 U JP 9866586U JP 9866586 U JP9866586 U JP 9866586U JP S635626 U JPS635626 U JP S635626U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- reaction tube
- metal member
- gas
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の気相成長装置の接続部の構造
を示す断面図、第２図は従来の気相成長装置の接
続部の構造を示す断面図である。 図に於いて、１は反応管、２は開口部、３，６
はネジ、４は第１の金属部材、５，２１はガス導
入管、７は第２の金属部材、８はフランジ、９は
Ｏリングを示す。
を示す断面図、第２図は従来の気相成長装置の接
続部の構造を示す断面図である。 図に於いて、１は反応管、２は開口部、３，６
はネジ、４は第１の金属部材、５，２１はガス導
入管、７は第２の金属部材、８はフランジ、９は
Ｏリングを示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板、および反応ガスを導入する反応管１と、
該反応管１の端部に挿入される開口部２を有する
とともに、周縁部が反応管１の管軸方向に平行に
延び、前記管軸方向に平行に延びた部分に第１の
ネジ３を設けた第１の金属部材４と、前記第１の
ネジ３に嵌合する第２のネジ６を有する第２の金
属部材７とよりなり、第２のネジ６を第１のネジ
３に嵌合させて反応管１に、前記反応管１の周囲
に設けたＯリングを介して第２の金属部材７を締
め付ける機構を有する装置に於いて、 前記第１の金属部材４、或いは第１、および第
２の金属部材４，７を貫通するガス導入管２１を
設け、前記ガス導入管２１より不活性ガス、或い
はキヤリアガスを前記第１、第２の金属部材４，
７と反応管１で形成された空間部内に導入するよ
うにしたことを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9866586U JPS635626U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9866586U JPS635626U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS635626U true JPS635626U (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=30966817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9866586U Pending JPS635626U (ja) | 1986-06-26 | 1986-06-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS635626U (ja) |
-
1986
- 1986-06-26 JP JP9866586U patent/JPS635626U/ja active Pending
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