JPS6357737U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6357737U JPS6357737U JP15225286U JP15225286U JPS6357737U JP S6357737 U JPS6357737 U JP S6357737U JP 15225286 U JP15225286 U JP 15225286U JP 15225286 U JP15225286 U JP 15225286U JP S6357737 U JPS6357737 U JP S6357737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- view
- susceptor
- recess
- wafer
- phase growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Description
第１図ａ〜ｃは本考案の一実施例を構造を示す
平面図・部分断面図および部分斜視図、第２図ａ
およびｂは本考案の気相成長層用サセプターにウ
エハーを載置したときの部分断面図および部分平
面図、第３図ａおよびｂは気相成長用サセプター
にウエハーを載置した気相化学反応処置をした後
の部分断面図および部分平面図、第４図ａ〜ｄは
従来の技術による気相成長用サセプターの構造を
示す平面図・部分断面図およびウエハーを載置し
たときの部分断面図・部分平面図、第５図ａ〜ｃ
は従来の技術よる気相成長用サセプターにウエハ
ーを載置し気相化学反応処理をした後の部分断面
図・部分平面図およびウエハーの断面図。 １……サセプター、２……凹部、２Ａ，２Ｂ…
…溝部、３……ウエハー、３Ａ……ＯＦ部、４，
４Ａ……気相成長層。
平面図・部分断面図および部分斜視図、第２図ａ
およびｂは本考案の気相成長層用サセプターにウ
エハーを載置したときの部分断面図および部分平
面図、第３図ａおよびｂは気相成長用サセプター
にウエハーを載置した気相化学反応処置をした後
の部分断面図および部分平面図、第４図ａ〜ｄは
従来の技術による気相成長用サセプターの構造を
示す平面図・部分断面図およびウエハーを載置し
たときの部分断面図・部分平面図、第５図ａ〜ｃ
は従来の技術よる気相成長用サセプターにウエハ
ーを載置し気相化学反応処理をした後の部分断面
図・部分平面図およびウエハーの断面図。 １……サセプター、２……凹部、２Ａ，２Ｂ…
…溝部、３……ウエハー、３Ａ……ＯＦ部、４，
４Ａ……気相成長層。
Claims (1)
- ウエハーを載置するための凹部を有する気相成
長用サセプターにおいて、前記ウエハーよりも小
さい部分が前記凹部の底部として残存して成る溝
を前記凹部の底部の周辺に備えてなることを特徴
とする気相成長用サセプター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225286U JPS6357737U (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225286U JPS6357737U (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6357737U true JPS6357737U (ja) | 1988-04-18 |
Family
ID=31070062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15225286U Pending JPS6357737U (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6357737U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5352370A (en) * | 1976-10-25 | 1978-05-12 | Hitachi Ltd | Wafer susceptor |
| JPS5353962A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | Production of semicnductor wafers |
-
1986
- 1986-10-02 JP JP15225286U patent/JPS6357737U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5352370A (en) * | 1976-10-25 | 1978-05-12 | Hitachi Ltd | Wafer susceptor |
| JPS5353962A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-16 | Oki Electric Ind Co Ltd | Production of semicnductor wafers |