JPH0353834U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353834U JPH0353834U JP11554089U JP11554089U JPH0353834U JP H0353834 U JPH0353834 U JP H0353834U JP 11554089 U JP11554089 U JP 11554089U JP 11554089 U JP11554089 U JP 11554089U JP H0353834 U JPH0353834 U JP H0353834U
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- JP
- Japan
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- stage plate
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- showing
- heater
- vapor phase
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例による気相成長装
置を示す概略断面図、第２図はこの考案の他の実
施例を示す概略断面図、第３図は従来の気相装置
を示す概略断面図、第４図はヒータの構造を示す
平面図、第５図は種々のステージ板材質の性質を
示す一覧表である。 １……半導体ウエハ、２……ヒータ板、４……
ガスヘツド、５……排気孔、７……モリブデン製
ステージ板である。なお図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。
置を示す概略断面図、第２図はこの考案の他の実
施例を示す概略断面図、第３図は従来の気相装置
を示す概略断面図、第４図はヒータの構造を示す
平面図、第５図は種々のステージ板材質の性質を
示す一覧表である。 １……半導体ウエハ、２……ヒータ板、４……
ガスヘツド、５……排気孔、７……モリブデン製
ステージ板である。なお図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 加熱ヒータと半導体ウエハの間にステージ板を
設けた気相成長装置において、 ステージ板をモリブデン製としたことを特徴と
する気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11554089U JPH0353834U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11554089U JPH0353834U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353834U true JPH0353834U (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=31663867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11554089U Pending JPH0353834U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353834U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007305579A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Wet Automotive Syst Ag | 平坦な発熱体 |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11554089U patent/JPH0353834U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007305579A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Wet Automotive Syst Ag | 平坦な発熱体 |