JPS6358751A

JPS6358751A - 光電変換管

Info

Publication number: JPS6358751A
Application number: JP20296986A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Kodaira; 小平　多儀
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1986-08-29
Filing date: 1986-08-29
Publication date: 1988-03-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、真空容器内面に形成された半透明形光電陰極
、真空空間に配置された集束電極、ダイノード、陽極等
を備える光電子増倍管に代表される光電変換管に関する
。

（従来の技術）半透明形の光電陰極を備える光電子増倍管は、真空容器
の光を透過する窓の内壁に半透明の光電陰極を持つ。

窓を透過した光は、光電陰極の中を通過するけれども、
その時に光のエネルギーが光電陰極に吸収され、窓側と
は反対側、つまり真空側に電子を放出する。

この光電陰極には、多種類のものがあり、各々特徴を持
っているため、その用途に合致したものが選択されて、
使用されている。

（発明が解決しようとする問題点）光電子増倍管に用いられる半透明形マルチアルカリ光電
陰極および銀酸化セシウム光電陰極は、他の光電陰極に
比し、赤色および赤外光に対して良好な感度を持ってい
る。

しかしこれらの光電陰極は、熱電子放出（光が入らない
状態での電子流）が大きいという問題がある。

赤外領域での遠隔計測等の精密測定の分野で、高いＳ／
Ｎ比で高感度の光電子増倍管を使用したいという強い要
請がある。

光電子増倍管の半透門形光電陰極面の厚さを厚くすれば
、光が光電変換される可能性は大きくなる。

しかし、変換されて発生した電子が光電陰極の層に吸収
され、電子が真空中に放出される前に光電陰極面の中で
消滅してしまう可能性がある。

光電子増倍管の半透門形光電陰極面の厚さを比較的薄く
すれば、光電変換により発生した電子は前述のように捕
捉される確率は少なくなるが、光が光電陰極面を透過し
てしまい、光電変換されない可能性が生ずる。

また、この透過光は真空容器内の光を反射する構造物な
どにより、反射させられて光電陰極に戻り、光電子を放
出させる。

このような透過光の反射による光電子の発生は、入射位
置による感度の変化、つまり感度の均一性（ユニホミテ
ィ）を阻害する要因となる。

本発明の目的は、光電変換感度の均一性（ユニホミティ
）を保ち、より高い感度を得ることができる光電変換管
を提供することにある。

（問題点を解決するための手段）前記目的を達成するために、本発明による光電変換管は
、半透門形光電陰極を有する光電変換管において、光電
陰極が設けられた入射面板の表面を拡散透過面にして構
成されている。

前記光電陰極を、マルチアルカリ光電陰極、または銀酸
化セシウム光電陰極とすることができる。

前記光電変換管の入射面板の表面はサンドブラストによ
り磨りガラス状に加工することにより拡散透過面とする
ことができる。

（実施例）以下、図面等を参照して、本発明をさらに詳しく説明す
る。

第１図は、本発明による光電変換管の実施例を示す側面
図である。

第２図は、前記実施例の入射面板と光電陰極の一部を拡
大して示した拡大端面図である。

真空容器１の一部を構成する入射面板１ａの裏面には光
電陰極２が形成されている。

この光電陰極２で光電変換により発生させられた光電子
は集束電極３により、ダイノード群４の第１段ダイノー
ドＤｙ１に入射させられる。

順次２次電子増倍されて、陽極５から取り出される。

入射面板１ａはＵＶガラスで形成され、第２図に示すよ
うに表面に無数の凹凸が設けられている。

光電陰極２として、赤色および赤外光に対して良好な感
度を持つマルチアルカリ光電陰極または銀酸化セシウム
光電陰極を用いる。

第２図に示すように容器ｌの入射面板１ａの外側を磨り
ガラス状にすることにより、光の方向を変化させ、光電
陰極面に対する入射角が直角であったものを、あらゆる
角度から入るようにする。

これにより光電陰極２の厚さを増すことなく、光が光電
陰極の中を通過する距離を平均して長くすることができ
る。

その結果、光の吸収、電子変換を大きくすることができ
る。

したがって、暗電流を増加することなく、光感度を上げ
ることができる。

浜松ホトニクス株式会社の光電子増倍管Ｒ３７４（従来
管）とその入射面板を拡散透過面としたもの（実施例管
）とを比較した。

（従来管）ヘッドオン形光電子増倍管入射面板　ＵＶガラス光電陰極　マルチアルカリダイノード　ボックス形１１段（実施例管）従来管で測定を行った後、入射面板を２００メツシユの
サンドブラストを行い入射面板を拡散透過面としたもの
。

発明の詳細な説明の末尾に示す表１は従来管（処理前）
と実施例管（処理後）の赤色光（フィルタＶＲ−６８使
用）に対する感度を５本の光電子増倍管について、光電
陰極の出力電流を比較して示しである。

この表から感度が平均して１．２３倍向上していること
が理解できる。

第３図は、前記実施例管と従来管の光束の入射位置によ
る感度の均一度（ユニホミティ）の変化を示すグラフで
ある。

直径１ｍｍの光束を図の矢印の方向に移動させた場合の
出力を重ねて示しである。

入射光が入射面板で拡がって光電陰極面に入射させられ
るため、出力の変動は少なくなっている。

（発明の効果）以上詳しく説明したように、本発明による光電変換装置
は、半透切形光電陰極を有する充電変換管において、光
電陰極が設けられた入射面板の表面を拡散透過面にして
構成されている。

また感度の均一性も向上させることができる。

表１Ｒ３７４面板磨りガラス処理前後の感度（相対値）

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による光電変換管の実施例を示す側面
図である。第２図は、前記実施例の入射面板と充電陰極の一部を拡
大して示した拡大端面図である。第３図は、前記実施例管と従来管の光束の入射位置によ
る感度の均一度（ユニホミティ）の変化を示すグラフで
ある。ｌ・・・真空容器１ａ・・・真空容器の一部を構成する入射面板２・・・
光電陰極３・・・集束電極４・・・ダイノード群（Ｄｙ１・・・第１段ダイノード
）５・・・陽極

Claims

【特許請求の範囲】

（１）半透明形光電陰極を有する光電変換管において、
光電陰極が設けられた入射面板の表面を拡散透過面にし
て構成したことを特徴とする光電変換管。
（２）前記光電陰極は、マルチアルカリ光電陰極または
銀酸化セシウム光電陰極である特許請求の範囲第１項記
載の光電変換管。
（３）前記光電変換管の入射面板の表面はサンドブラス
トにより磨りガラス状に加工されたものである特許請求
の範囲第１項記載の光電変換管。