JPS6361121U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6361121U JPS6361121U JP15369986U JP15369986U JPS6361121U JP S6361121 U JPS6361121 U JP S6361121U JP 15369986 U JP15369986 U JP 15369986U JP 15369986 U JP15369986 U JP 15369986U JP S6361121 U JPS6361121 U JP S6361121U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- melt
- slider
- semiconductor substrate
- center
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
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- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案の半導体製造装置の一実施例
に用いられるシリンダの斜視図、第２図は上記シ
リンダを用いてのメルト注入工程を示す断面図、
第３図は従来の半導体製造装置の外観斜視図、第
４図は従来の装置による結晶成長を示す各工程毎
の断面図である。 ３……スライダ、５……成長槽、８……ピスト
ン、９……メルト、２１……シリンダ、２２……
突部、２３……メルト注入口。
に用いられるシリンダの斜視図、第２図は上記シ
リンダを用いてのメルト注入工程を示す断面図、
第３図は従来の半導体製造装置の外観斜視図、第
４図は従来の装置による結晶成長を示す各工程毎
の断面図である。 ３……スライダ、５……成長槽、８……ピスト
ン、９……メルト、２１……シリンダ、２２……
突部、２３……メルト注入口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体基板をセツトしたスライダ上に定位置の
成長槽内に収容してシリンダを配置し、このシリ
ンダ内に結晶成長用のメルトを収容し、その上に
ピストンを配置し、このピストンを押えたまま前
記シリンダを上昇させることにより、該シリンダ
の底部中心のメルト注入口からシリンダとスライ
ダ間にメルトを注入し、その後、シリンダを下降
させることによりシリンダの底部でメルトをスラ
イダに押し付け、その状態でスライダをスライド
させ、半導体基板をメルトに接触させることによ
り該半導体基板に対する結晶成長を行うようにし
た半導体製造装置において、 前記シリンダは底部内面中央部に突部を有し、
その突部の中心に底部下面に貫通する前記メルト
注入口を有することを特徴とする半導体製造装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15369986U JPS6361121U (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15369986U JPS6361121U (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6361121U true JPS6361121U (ja) | 1988-04-22 |
Family
ID=31072813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15369986U Pending JPS6361121U (ja) | 1986-10-08 | 1986-10-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6361121U (ja) |
-
1986
- 1986-10-08 JP JP15369986U patent/JPS6361121U/ja active Pending