JPH04735U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH04735U JPH04735U JP4130390U JP4130390U JPH04735U JP H04735 U JPH04735 U JP H04735U JP 4130390 U JP4130390 U JP 4130390U JP 4130390 U JP4130390 U JP 4130390U JP H04735 U JPH04735 U JP H04735U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor crystal
- crystal growth
- substrate wafer
- utility
- liquid phase
- Prior art date
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- Pending
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による半導体結晶
成長装置を示す断面側面図、第２図は従来の半導
体結晶成長装置を示す断面側面図である。 図において、１……スライダー、２……融液溜
、３……成長用融液、４……ＩｎＰ基板ウエハ、
５……ウエハホルダー、６……ピストン、７……
トンネル、８……ＩｎＰダミーウエハを示す。な
お、図中、同一符号は同一、または相当部分を示
す。
成長装置を示す断面側面図、第２図は従来の半導
体結晶成長装置を示す断面側面図である。 図において、１……スライダー、２……融液溜
、３……成長用融液、４……ＩｎＰ基板ウエハ、
５……ウエハホルダー、６……ピストン、７……
トンネル、８……ＩｎＰダミーウエハを示す。な
お、図中、同一符号は同一、または相当部分を示
す。
Claims (1)
- カーボンボートを用いて液相エピタキシヤル成
長を行う半導体結晶成長装置において、基板ウエ
ハの両サイドにダミーウエハを設置する様にした
ことを特徴とする半導体結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4130390U JPH04735U (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4130390U JPH04735U (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04735U true JPH04735U (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31551853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4130390U Pending JPH04735U (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04735U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10596028B2 (en) | 2009-07-26 | 2020-03-24 | Forever Young International, Inc. | Self-heated consumer spa products and applications thereof |
-
1990
- 1990-04-17 JP JP4130390U patent/JPH04735U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10596028B2 (en) | 2009-07-26 | 2020-03-24 | Forever Young International, Inc. | Self-heated consumer spa products and applications thereof |
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