JPS6361122U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6361122U JPS6361122U JP15588186U JP15588186U JPS6361122U JP S6361122 U JPS6361122 U JP S6361122U JP 15588186 U JP15588186 U JP 15588186U JP 15588186 U JP15588186 U JP 15588186U JP S6361122 U JPS6361122 U JP S6361122U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion furnace
- semiconductor manufacturing
- inert gas
- cover
- loading mechanism
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図であり第２
図は従来の半導体製造用拡散炉システムを示す図
である。 図において、６はボートパドル、７はウエハ、
１０は拡散炉、１１はカバー、１２は不活性ガス
供給手段である。
図は従来の半導体製造用拡散炉システムを示す図
である。 図において、６はボートパドル、７はウエハ、
１０は拡散炉、１１はカバー、１２は不活性ガス
供給手段である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ボートパドルに載せられたウエハをボート
ローデイング機構により拡散炉内に入れ、拡散炉
内でこのウエハの酸化または拡散を行なう半導体
製造用拡散炉システムにおいて、 前記拡散炉の入口と前記ボートローデイング機
構とを覆うカバーと、 前記カバー内に不活性ガスを供給する不活性ガ
ス供給手段と、 を備えたことを特徴とする半導体製造用拡散炉シ
ステム。 (2) 前記不活性ガスがＮ２ガスである実用新案
登録請求の範囲第１項記載の半導体製造用拡散炉
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15588186U JPS6361122U (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15588186U JPS6361122U (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6361122U true JPS6361122U (ja) | 1988-04-22 |
Family
ID=31076983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15588186U Pending JPS6361122U (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6361122U (ja) |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP15588186U patent/JPS6361122U/ja active Pending
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