JPH01137526U - - Google Patents
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- JPH01137526U JPH01137526U JP3264088U JP3264088U JPH01137526U JP H01137526 U JPH01137526 U JP H01137526U JP 3264088 U JP3264088 U JP 3264088U JP 3264088 U JP3264088 U JP 3264088U JP H01137526 U JPH01137526 U JP H01137526U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- furnace
- semiconductor substrates
- quartz
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
Description
第１図乃至第３図は本考案に係る一実施例を示
すもので、第１図は炉芯管の断面図、第２図は炉
芯管の側面図、第３図は石英襞の正面図、第４図
及び第５図は従来例を示すもので、第４図は炉芯
管の断面図、第５図は炉芯管の側面図である。 １……炉芯管、２……石英ボート、３……半導
体基板、４……炉口、５……ガス導入管、６……
石英板、７……支持板、８……石英襞。
すもので、第１図は炉芯管の断面図、第２図は炉
芯管の側面図、第３図は石英襞の正面図、第４図
及び第５図は従来例を示すもので、第４図は炉芯
管の断面図、第５図は炉芯管の側面図である。 １……炉芯管、２……石英ボート、３……半導
体基板、４……炉口、５……ガス導入管、６……
石英板、７……支持板、８……石英襞。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一端に反応ガスの導入管を連結すると共に、他
端に半導体基板を搬出入する炉口を形成し、半導
体基板の酸化及び拡散処理を行なう炉芯管を備え
た半導体製造装置において、 上記炉芯管内に、螺旋状の石英襞を有する石英
板を設けたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3264088U JPH01137526U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3264088U JPH01137526U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137526U true JPH01137526U (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=31259189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3264088U Pending JPH01137526U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01137526U (ja) |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3264088U patent/JPH01137526U/ja active Pending
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