JPS6362331A - 半導体樹脂封止装置 - Google Patents
半導体樹脂封止装置Info
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- JPS6362331A JPS6362331A JP20818286A JP20818286A JPS6362331A JP S6362331 A JPS6362331 A JP S6362331A JP 20818286 A JP20818286 A JP 20818286A JP 20818286 A JP20818286 A JP 20818286A JP S6362331 A JPS6362331 A JP S6362331A
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- Japan
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- mold
- cleaning head
- brush
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- cleaning
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/70—Maintenance
- B29C33/72—Cleaning
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体樹脂封止装置に関し、特にリードフレー
ムに搭載された半導体集積回路素子（以下ＩＣと記す）
を樹脂成形後、金型を自動的にクリーニングする機構を
備えた半導体樹脂封止装置に関する。
ムに搭載された半導体集積回路素子（以下ＩＣと記す）
を樹脂成形後、金型を自動的にクリーニングする機構を
備えた半導体樹脂封止装置に関する。
従来、樹脂成形後の金型のクリーニングは、金型のクリ
ーニング面に対してブラシの弾力が加わるように金型の
開放寸法より上下ブラシ間の寸法をあらかじめ小さく設
定した状態でブラシにエアーバイブレータで振動を与え
ながら金型内を移動してクリーニングを行っていた。
ーニング面に対してブラシの弾力が加わるように金型の
開放寸法より上下ブラシ間の寸法をあらかじめ小さく設
定した状態でブラシにエアーバイブレータで振動を与え
ながら金型内を移動してクリーニングを行っていた。
第３図は従来の半導体樹脂封止装置のクリ一二ングヘッ
ドの一例を示す側面図、第４図は第３図の中のブラシの
一例を示す斜視図である。
ドの一例を示す側面図、第４図は第３図の中のブラシの
一例を示す斜視図である。
第３図に示すように、金型４３の近傍に位置したクリー
ニングヘッド６６の上下には、弾力性を持ったブラシ４
４が植付けられたブラシ固定板４５がエアーバイブレー
タ４６で支えられている。
ニングヘッド６６の上下には、弾力性を持ったブラシ４
４が植付けられたブラシ固定板４５がエアーバイブレー
タ４６で支えられている。
またエアーバイブレータ４６は図示しない金具でダクト
４７に取付けられている。またブラシ４４の中央部は樹
脂かす等を吸引するための吸引口４９がダクト４７．じ
やばら４８．ブラシ固定板４５を通して開口している。
４７に取付けられている。またブラシ４４の中央部は樹
脂かす等を吸引するための吸引口４９がダクト４７．じ
やばら４８．ブラシ固定板４５を通して開口している。
そして、金型４３のクリーニング面に対してブラシ４４
の弾力が加わるように金型４４の開放寸法Ｅより上下ブ
ラシ４４の先端から先端までの寸法Ｆをあらかじめ３〜
４ ｍｍ小さく設定した状態で、ブラシ４４にエアーバ
イブレータ４６で振動を与えながら金型内へ図示しない
直進する手段で移動させクリーニングを行っていた。
の弾力が加わるように金型４４の開放寸法Ｅより上下ブ
ラシ４４の先端から先端までの寸法Ｆをあらかじめ３〜
４ ｍｍ小さく設定した状態で、ブラシ４４にエアーバ
イブレータ４６で振動を与えながら金型内へ図示しない
直進する手段で移動させクリーニングを行っていた。
また、第４図に示すように、吸引口４つの全周にブラシ
４４を植え付けであるものを使用してクリーニングを行
っていた。
４４を植え付けであるものを使用してクリーニングを行
っていた。
上述した従来の半導体樹脂封止装置では、ブラシ４４を
エアーバイブレータ４６て゛振動させながら移φ口させ
るだけでは、金型表面に付着した樹脂かすを剥離する効
果が少ないという欠点があった。
エアーバイブレータ４６て゛振動させながら移φ口させ
るだけでは、金型表面に付着した樹脂かすを剥離する効
果が少ないという欠点があった。
即ち、ブラシ４４が金型４３に当たる前は振動するが、
ブラシ４４が金型４３内へ進入してからは振動がブラシ
４４の根元で吸収されブラシ４４先端に伝わらないため
である。また、ブラシ４４のクリーニング面に対する押
圧力はブラシ４４が長時間使用されていくと徐々にその
先端が磨耗してゆくため弱くなる。即ち、ブラシ４４の
押圧力が変わっていくため樹脂かすの剥離効果も悪くな
り、度々ブラシ４４の高さの調整を行う必要があった。
ブラシ４４が金型４３内へ進入してからは振動がブラシ
４４の根元で吸収されブラシ４４先端に伝わらないため
である。また、ブラシ４４のクリーニング面に対する押
圧力はブラシ４４が長時間使用されていくと徐々にその
先端が磨耗してゆくため弱くなる。即ち、ブラシ４４の
押圧力が変わっていくため樹脂かすの剥離効果も悪くな
り、度々ブラシ４４の高さの調整を行う必要があった。
また、従来のブラシ４４は樹脂かすの吸引口４９の全周
にブラシ４４が植付けられていたために、クリーニング
ヘッド６６が金型４３から後退する時に、ブラシ４４に
はさまった樹脂かすかしばしば金型４３内へ飛散するな
どの問題があった。つまり、金型４３内に残った樹脂か
すか次の樹脂封入時、リードフレーム上への打こん、キ
ャビティ内への混入あるいはキャビティ表面への浮上の
発生原因になるなど、外観および信頼性に悪影響を及ぼ
すという欠点があった。
にブラシ４４が植付けられていたために、クリーニング
ヘッド６６が金型４３から後退する時に、ブラシ４４に
はさまった樹脂かすかしばしば金型４３内へ飛散するな
どの問題があった。つまり、金型４３内に残った樹脂か
すか次の樹脂封入時、リードフレーム上への打こん、キ
ャビティ内への混入あるいはキャビティ表面への浮上の
発生原因になるなど、外観および信頼性に悪影響を及ぼ
すという欠点があった。
本発明の半導体樹脂封止装置は、リードフレーム上に搭
載された半導体素子を上型と下型から成る金型で樹脂封
止を行う半導体樹脂封止装置において、樹脂成形後金型
近傍に位置したクリーニングヘッドの上下にそれぞれ取
付けられたクリーナーブラシを金型のクリーニング面に
対して平行に前後進運動させる前後進駆動手段と、前記
前後進運動方向とほぼ直角方向に同時に往復運動させる
往復運動駆動手段とを備え。
載された半導体素子を上型と下型から成る金型で樹脂封
止を行う半導体樹脂封止装置において、樹脂成形後金型
近傍に位置したクリーニングヘッドの上下にそれぞれ取
付けられたクリーナーブラシを金型のクリーニング面に
対して平行に前後進運動させる前後進駆動手段と、前記
前後進運動方向とほぼ直角方向に同時に往復運動させる
往復運動駆動手段とを備え。
又、クリーニングヘッドは、クリーナブラシが金型内に
移動したとき、それぞれの前記クリーナブラシを介して
金型の上型、下型の表面にある一定の荷重を加える押圧
荷重手段を備え。
移動したとき、それぞれの前記クリーナブラシを介して
金型の上型、下型の表面にある一定の荷重を加える押圧
荷重手段を備え。
さらに、クリーニングヘッドは、金型側方向に開放され
た形で樹脂かす吸引口の周囲に植付けられたクリーナブ
ラシを有している。
た形で樹脂かす吸引口の周囲に植付けられたクリーナブ
ラシを有している。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
まず、本発明の第１の実施例について説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の第１の実施例
を示す半導体樹脂封止装置の平面図、側面図である。
を示す半導体樹脂封止装置の平面図、側面図である。
第１図（ａ）、（ｂ）において、架台１には軸受２ａ、
２ｂが固定され、その軸受２ａ、２ｂには前後進用軸３
ａ、３ｂが通り、前後進用軸３ａ、３ｂの一端には軸受
板４が、他端にはクリーニングヘッドささえ板５が固定
されている。そして、軸受板４とクリーニングヘッドさ
さえ板５の間には軸受板４に固定されたダクト７ａと、
クリーニングヘッド６に固定された７ｂがしやばら８を
介して位置している。
２ｂが固定され、その軸受２ａ、２ｂには前後進用軸３
ａ、３ｂが通り、前後進用軸３ａ、３ｂの一端には軸受
板４が、他端にはクリーニングヘッドささえ板５が固定
されている。そして、軸受板４とクリーニングヘッドさ
さえ板５の間には軸受板４に固定されたダクト７ａと、
クリーニングヘッド６に固定された７ｂがしやばら８を
介して位置している。
ダクト７ａの円筒部には図示しない集塵材と連結するダ
クトが接続される。クリーニングヘッド６を金型内へ移
動させる前後進用モーター９がモーター固定金具１０を
介して軸受２ｂに固定されている。前後進用モーター９
の回転軸先端にはピニオンギヤ１１が固定され、またそ
れに噛合うラック１２がクリーニングヘッド固定板５と
、ダク）７ａ上部にラック固定用ブロック１３を介して
固定されである。つまり、前後進用モーター９が回転す
ることにより、金型内へ前進または後進することができ
る。
クトが接続される。クリーニングヘッド６を金型内へ移
動させる前後進用モーター９がモーター固定金具１０を
介して軸受２ｂに固定されている。前後進用モーター９
の回転軸先端にはピニオンギヤ１１が固定され、またそ
れに噛合うラック１２がクリーニングヘッド固定板５と
、ダク）７ａ上部にラック固定用ブロック１３を介して
固定されである。つまり、前後進用モーター９が回転す
ることにより、金型内へ前進または後進することができ
る。
さらに、クリーニングヘッド６の進行方向に対してほぼ
直角方向にクリーニングヘッド６を往復動させる往復用
モーター１４が、ダクト７ａの下面にモーター固定金具
１５を介して固定されている。また、往復用モーター１
４の回転時にはカム１６が固定され、カム１６の回転中
心がら約１０１１１Ｍれな位置にロッドエンド１７の一
端が、ロッドエンド１７の他端はダクト７ｂの下部に位
置するＬ金具１８の一端部に固定されている。Ｌ金具１
８は支点１９を中心に回転でき、Ｌ金具１８の他端部に
はクリーニングヘッド６の前進方向に長穴２０が設けら
れ、その長穴にはダクト７ｂの下部に固定された平行ビ
ン２１が挿入されている。
直角方向にクリーニングヘッド６を往復動させる往復用
モーター１４が、ダクト７ａの下面にモーター固定金具
１５を介して固定されている。また、往復用モーター１
４の回転時にはカム１６が固定され、カム１６の回転中
心がら約１０１１１Ｍれな位置にロッドエンド１７の一
端が、ロッドエンド１７の他端はダクト７ｂの下部に位
置するＬ金具１８の一端部に固定されている。Ｌ金具１
８は支点１９を中心に回転でき、Ｌ金具１８の他端部に
はクリーニングヘッド６の前進方向に長穴２０が設けら
れ、その長穴にはダクト７ｂの下部に固定された平行ビ
ン２１が挿入されている。
一方、クリーニングヘッド６は往復用軸２２ａ、２２ｂ
によってささえられ、往復用軸２２ａ、２２ｂは軸受２
３ａ、２３ｂを介してクリーニングヘッドささえ板５に
固定されている。またクリーニングヘッド６にはダクト
７ｂが固定され、クリーニングヘッドささえ板５を貫通
している。従って、往復用モーター１４が回転すること
により、ロッドエンド１７がＬ金具１８に円弧の回転運
動を伝え、し金具１８が平行ビン２１に金型への移動方
向Ａ−Ｂ方向に直角なＣ−Ｄ方向への往復運動を伝える
ことができる。
によってささえられ、往復用軸２２ａ、２２ｂは軸受２
３ａ、２３ｂを介してクリーニングヘッドささえ板５に
固定されている。またクリーニングヘッド６にはダクト
７ｂが固定され、クリーニングヘッドささえ板５を貫通
している。従って、往復用モーター１４が回転すること
により、ロッドエンド１７がＬ金具１８に円弧の回転運
動を伝え、し金具１８が平行ビン２１に金型への移動方
向Ａ−Ｂ方向に直角なＣ−Ｄ方向への往復運動を伝える
ことができる。
次に、クリーニングヘッド６は、ブラシ固定板２５ａ、
２５ｂ、クリーナブラシ２６ａ、２６ｂ、軸２７．上昇
用シリンダ２８ａ、２８ｂ、下降用シリンダ２９ａ、２
９ｂ、じゃばら３０．上板３１．下板３２．側板３３ａ
、３３ｂ、前板３４で構成されている。
２５ｂ、クリーナブラシ２６ａ、２６ｂ、軸２７．上昇
用シリンダ２８ａ、２８ｂ、下降用シリンダ２９ａ、２
９ｂ、じゃばら３０．上板３１．下板３２．側板３３ａ
、３３ｂ、前板３４で構成されている。
上板３１．下板３２．側板３３ａ、３３ｂ、前板３４で
ダクトが構成され、ダクト７ｂに連通している。上板３
１．下板３２の端部には、往復用軸２２ａ、２２ｂが貫
通するベアリング２４ａ。
ダクトが構成され、ダクト７ｂに連通している。上板３
１．下板３２の端部には、往復用軸２２ａ、２２ｂが貫
通するベアリング２４ａ。
２４ｂがそれぞれ固定されている。
また、ブラシ固定板２５ａには上昇用シリンダ２８ａ、
２８ｂが、ブラシ固定板２５ｂには下降用シリンダ２９
ａ、２９ｂが対角線上に固定されている。上昇、下降用
シリンダは図示しない金具で側板３３ａ、３３ｂに固定
されている。そして、ブラシ固定板２５ａ、２５ｂが上
下方向にスライドできるように軸２７がブラシ固定板２
５ａ、２５ｂの４隅に位置し、上板３１．下板３２の間
に固定されている。
２８ｂが、ブラシ固定板２５ｂには下降用シリンダ２９
ａ、２９ｂが対角線上に固定されている。上昇、下降用
シリンダは図示しない金具で側板３３ａ、３３ｂに固定
されている。そして、ブラシ固定板２５ａ、２５ｂが上
下方向にスライドできるように軸２７がブラシ固定板２
５ａ、２５ｂの４隅に位置し、上板３１．下板３２の間
に固定されている。
次に、クリーニング動作について説明する。
まず、クリーニングヘッド６の往復用モーター１４が働
くことにより、前述したとおりクリーニングヘッド６は
Ｃ−Ｄ方向へ往復動する。次に、前後進用のモーター９
が働くことにより金型内つまりＡ方向へ前進する。前進
すると同時に、クリーニングヘッド６内の上昇用シリン
ダ２８ａ。
くことにより、前述したとおりクリーニングヘッド６は
Ｃ−Ｄ方向へ往復動する。次に、前後進用のモーター９
が働くことにより金型内つまりＡ方向へ前進する。前進
すると同時に、クリーニングヘッド６内の上昇用シリン
ダ２８ａ。
２８ｂ、下降用シリンダ２９ａ、２９ｂにエアーが注入
され、クリーナブラシ２６ａ、２６ｂが金型クリーニン
グ面に対して押圧される。
され、クリーナブラシ２６ａ、２６ｂが金型クリーニン
グ面に対して押圧される。
その状態を保持しながら、軸受２ａに取付けられた前進
リミット用ドグ３６にダクト７ａの側面に取付けられた
前進リミットセンサー３７が達するまでクリーニングヘ
ッド６が前進したら前後進用モーター９が逆転し、金型
から後退する方向っまりＢ方向へ後退する。後退は、後
退リミットセンサー３８が後退リミット用ドグ３９に達
するまで行われる。
リミット用ドグ３６にダクト７ａの側面に取付けられた
前進リミットセンサー３７が達するまでクリーニングヘ
ッド６が前進したら前後進用モーター９が逆転し、金型
から後退する方向っまりＢ方向へ後退する。後退は、後
退リミットセンサー３８が後退リミット用ドグ３９に達
するまで行われる。
本発明は特に前後進用モーター９．往復用モーター１４
．上昇、下降用シリンダー２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２
９ｂの動作するタイミングに影響されることはない。
．上昇、下降用シリンダー２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２
９ｂの動作するタイミングに影響されることはない。
尚、本第１の実施例においては、第１図（ａ＞に示すよ
うに、ブラシ固定板２５ａ、２５ｂ中央部には、樹脂か
す等の吸引口３５が開き、金型側方向（Ａ方向）が開放
された形（Ｃの形）で、吸引口３５の周囲にクリーナブ
ラシ２６ａ、２６ｂがある幅をもって植付けられている
。
うに、ブラシ固定板２５ａ、２５ｂ中央部には、樹脂か
す等の吸引口３５が開き、金型側方向（Ａ方向）が開放
された形（Ｃの形）で、吸引口３５の周囲にクリーナブ
ラシ２６ａ、２６ｂがある幅をもって植付けられている
。
又、ブラシ固定板２５ａの直下の上板３１．ブラシ固定
板２５ｂの直上の下板３２の中央部にも開口部があり、
ブラシ固定板２５ａ、２５ｂの吸引口３５とじゃばら３
０を介して連通している。
板２５ｂの直上の下板３２の中央部にも開口部があり、
ブラシ固定板２５ａ、２５ｂの吸引口３５とじゃばら３
０を介して連通している。
従って、水弟１の実施例では、図示しない集塵機が働い
た時、樹脂かす等は吸引口３５．じゃばら３０の内部、
上板３１．下板３２の開口部を通り、ダクト７ｂを経て
集塵機へ吸引され、従来のように金型内に樹脂かす等が
残らず次の樹脂封入時リードフレーム上への打こん等の
発生を無くすことができる。
た時、樹脂かす等は吸引口３５．じゃばら３０の内部、
上板３１．下板３２の開口部を通り、ダクト７ｂを経て
集塵機へ吸引され、従来のように金型内に樹脂かす等が
残らず次の樹脂封入時リードフレーム上への打こん等の
発生を無くすことができる。
次に、本発明の第２の実施例について説明する。
第２図は本発明の第２の実施例を示すクリーニングヘッ
ド部分の側面図である。
ド部分の側面図である。
第２図において、ブラシ固定板２５ａと、上板３１の間
には中間板４１ａが位置し、中間板４１ａには上昇用シ
リンダ２８ａが固定されている。
には中間板４１ａが位置し、中間板４１ａには上昇用シ
リンダ２８ａが固定されている。
上昇用シリンダ２８ａは図示しない金具で上板３１に固
定されている。またブラシ固定板２５ａはガイドピン４
２ａその他数本で支持されていて、ブラシ固定板２５ａ
と中間板４１ａの間にガイドピン４２ａに保持されるバ
ネ４０ａが位置する。
定されている。またブラシ固定板２５ａはガイドピン４
２ａその他数本で支持されていて、ブラシ固定板２５ａ
と中間板４１ａの間にガイドピン４２ａに保持されるバ
ネ４０ａが位置する。
この第２の実施例では、上昇用シリンダ２８ａが駆動す
ることにより中間板４１ａが押され、ばね４０ａを介し
てブラシ固定板２５ａを押し上げるため、シリンダの推
進力に影響されずばね４０ａの反発力でクリーナブラシ
２６ａを金型クリーニング面に押つけることができる。
ることにより中間板４１ａが押され、ばね４０ａを介し
てブラシ固定板２５ａを押し上げるため、シリンダの推
進力に影響されずばね４０ａの反発力でクリーナブラシ
２６ａを金型クリーニング面に押つけることができる。
つまり、ばね４００ａを介すことによって、安定したク
リーナブラシ２６ａの押圧力がコントロールしやすいと
いう利点がある。
リーナブラシ２６ａの押圧力がコントロールしやすいと
いう利点がある。
上述は上側のクリーナブラシについて説明したが下側の
クリーナブラシについても同様である。
クリーナブラシについても同様である。
以上説明したように本発明は、クリーナブラシを前進あ
るいは後退させながら往復運動させることにより、金型
クリーニング面に対し、クリーナブラシのこすり付ける
時間が多くなるので、金型に付着した樹脂ばりの剥離を
大きく向上させることができる。
るいは後退させながら往復運動させることにより、金型
クリーニング面に対し、クリーナブラシのこすり付ける
時間が多くなるので、金型に付着した樹脂ばりの剥離を
大きく向上させることができる。
また、金型クリーニング面に対しクリーナブラシをシリ
ンダで常に押付けてクリーニングすることにより、クリ
ーナブラシが磨耗する都度クリーナブラシの高さの調整
をすることなく金型をクリーニングすることができる。
ンダで常に押付けてクリーニングすることにより、クリ
ーナブラシが磨耗する都度クリーナブラシの高さの調整
をすることなく金型をクリーニングすることができる。
さらに、ブラシ中央部の吸引口の金型側に開口部を設け
ることにより、金型から後退する時に樹脂かすを飛散す
ることなく吸引することができる。
ることにより、金型から後退する時に樹脂かすを飛散す
ることなく吸引することができる。
従って、本発明はこれらの改善によりＩＣの外観、信頼
性を大いに向上させることができる効果を有する。
性を大いに向上させることができる効果を有する。
第１図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の第１の実施例
を示す半導体樹脂封止装置の平面図、（１’ｌ１面図、
第２図は本発明の第２の実施例を示すクリーニングヘッ
ド部分の側面図、第３図は従来の半導体樹脂封止装置の
クリーニングヘッドの部分の一例を示す側面図、第４図
は第３図の中の従来のブラシの一例を示す斜視図である
。 １・・・架台、２ａ、２ｂ・・・軸受、３ａ、３ｂ・・
・前後進用軸、４・・・軸受板、５・・・クリーニング
ヘッドささえ板、６・・・クリーニングヘッド、７ａ、
７ｂ・・・ダクト、８・・・じゃばら、９・・・前後進
用モーター、１０・・・モーター固定金具、１１・・・
ピニオンギヤ、１２・・・ラック、１３・・・ラック固
定用ブロック、１４・・・往復用モーター、１５・・・
モーター固定金具、１６・・・カム、１７・・・ロッド
エンド、１８・・・Ｌ金具、１９・・・支点、２０・・
・長穴、２１・・・平行ピン、２２ａ、２２ｂ・・・往
復用軸、２３・・・軸受、２４ａ、２４ｂ・・・ベアリ
ング、２５ａ、２”ｉｂ−ブラシ固定板、２６ａ、２６
ｂ・・・クリーナブラシ、２７・・・軸、２８ａ、２８
ｂ・・・上昇用シリンダ、２９ａ、２９ｂ・・・下降用
シリンダ、３ｏ・・・しゃばら、３１ ・・・上板、３
２ 、、、下板、３３ａ、３３ｂ−側板、３４・・・前
板、３５・・・吸引口、３６・・・前進リミット用ドグ
、３７・・・前進リミット用センサー、３８・・・後退
リミット用センサー、３９・・・後退リミット用ドグ、
４０ａ、４０ｂ−ばね、４１ａ、４１ｂ・・・中間板、
４２ａ、４２ｂ・・・ガイドビン、４３・・・金型、４
４・・・ブラシ、４５・・・ブラシ固定板、４６・・・
エアーバイブレータ、４７・・・ダクト、４８・・・じ
やばら、４９・・・吸引口、６６・・・クリーニングヘ
ッド。 ２６昆 りＩノ〜ナブラン 第２図
を示す半導体樹脂封止装置の平面図、（１’ｌ１面図、
第２図は本発明の第２の実施例を示すクリーニングヘッ
ド部分の側面図、第３図は従来の半導体樹脂封止装置の
クリーニングヘッドの部分の一例を示す側面図、第４図
は第３図の中の従来のブラシの一例を示す斜視図である
。 １・・・架台、２ａ、２ｂ・・・軸受、３ａ、３ｂ・・
・前後進用軸、４・・・軸受板、５・・・クリーニング
ヘッドささえ板、６・・・クリーニングヘッド、７ａ、
７ｂ・・・ダクト、８・・・じゃばら、９・・・前後進
用モーター、１０・・・モーター固定金具、１１・・・
ピニオンギヤ、１２・・・ラック、１３・・・ラック固
定用ブロック、１４・・・往復用モーター、１５・・・
モーター固定金具、１６・・・カム、１７・・・ロッド
エンド、１８・・・Ｌ金具、１９・・・支点、２０・・
・長穴、２１・・・平行ピン、２２ａ、２２ｂ・・・往
復用軸、２３・・・軸受、２４ａ、２４ｂ・・・ベアリ
ング、２５ａ、２”ｉｂ−ブラシ固定板、２６ａ、２６
ｂ・・・クリーナブラシ、２７・・・軸、２８ａ、２８
ｂ・・・上昇用シリンダ、２９ａ、２９ｂ・・・下降用
シリンダ、３ｏ・・・しゃばら、３１ ・・・上板、３
２ 、、、下板、３３ａ、３３ｂ−側板、３４・・・前
板、３５・・・吸引口、３６・・・前進リミット用ドグ
、３７・・・前進リミット用センサー、３８・・・後退
リミット用センサー、３９・・・後退リミット用ドグ、
４０ａ、４０ｂ−ばね、４１ａ、４１ｂ・・・中間板、
４２ａ、４２ｂ・・・ガイドビン、４３・・・金型、４
４・・・ブラシ、４５・・・ブラシ固定板、４６・・・
エアーバイブレータ、４７・・・ダクト、４８・・・じ
やばら、４９・・・吸引口、６６・・・クリーニングヘ
ッド。 ２６昆 りＩノ〜ナブラン 第２図
Claims (2)
- （１）リードフレーム上に搭載された半導体素子を上型
と下型から成る金型で樹脂封止を行う半導体樹脂封止装
置において、樹脂成形後金型近傍に位置したクリーニン
グヘッドの上下にそれぞれ取付けられたクリーナーブラ
シを金型のクリーニング面に対して平行に前後進運動さ
せる前後進駆動手段と、前記前後進運動方向とほぼ直角
方向に同時に往復運動させる往復運動駆動手段とを備え
ることを特徴とする半導体樹脂封止装置。 - （２）クリーニングヘッドは、クリーナブラシが金型内
に移動したとき、それぞれの前記クリーナブラシを介し
て金型の上型、下型の表面にある一定の荷重を加える押
圧荷重手段を備える特許請求の範囲第（１）項記載の半
導体樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61208182A JPH084097B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 半導体樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61208182A JPH084097B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 半導体樹脂封止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362331A true JPS6362331A (ja) | 1988-03-18 |
| JPH084097B2 JPH084097B2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=16552021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61208182A Expired - Lifetime JPH084097B2 (ja) | 1986-09-03 | 1986-09-03 | 半導体樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084097B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1006326C2 (nl) * | 1996-06-14 | 1998-05-18 | Nec Corp | Inrichting en werkwijze voor het reinigen van een gietvorm. |
| CN114689662A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-07-01 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 一种自清洁电极式电导率传感器 |
| CN117021504A (zh) * | 2023-08-07 | 2023-11-10 | 苏州市利来星辰塑业科技有限公司 | 一种空调内机壳加工用的注塑成型装置 |
| CN117484750A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-02-02 | 苏州赛肯智能科技有限公司 | 一种半导体封装模具清洁机构 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61140815U (ja) * | 1985-02-20 | 1986-09-01 |
-
1986
- 1986-09-03 JP JP61208182A patent/JPH084097B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS61140815U (ja) * | 1985-02-20 | 1986-09-01 |
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| CN114689662A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-07-01 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 一种自清洁电极式电导率传感器 |
| CN114689662B (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-02 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 一种自清洁电极式电导率传感器 |
| CN117021504A (zh) * | 2023-08-07 | 2023-11-10 | 苏州市利来星辰塑业科技有限公司 | 一种空调内机壳加工用的注塑成型装置 |
| CN117021504B (zh) * | 2023-08-07 | 2025-12-09 | 苏州市利来星辰塑业科技有限公司 | 一种空调内机壳加工用的注塑成型装置 |
| CN117484750A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-02-02 | 苏州赛肯智能科技有限公司 | 一种半导体封装模具清洁机构 |
| CN117484750B (zh) * | 2023-12-29 | 2024-03-26 | 苏州赛肯智能科技有限公司 | 一种半导体封装模具清洁机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH084097B2 (ja) | 1996-01-17 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |