JPS6363065B2 - - Google Patents
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- JPS6363065B2 JPS6363065B2 JP56013969A JP1396981A JPS6363065B2 JP S6363065 B2 JPS6363065 B2 JP S6363065B2 JP 56013969 A JP56013969 A JP 56013969A JP 1396981 A JP1396981 A JP 1396981A JP S6363065 B2 JPS6363065 B2 JP S6363065B2
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- cellulose
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電気的に湿度を測定するような感
湿素子に関するものである。
湿素子に関するものである。
従来、金属酸化物等を用いてその抵抗値変化か
ら湿度を測定する感湿素子、あるいは基板上に高
分子膜を形成してその静電容量変化から湿度を測
定する感湿素子等が知られている。しかしながら
抵抗値変化と湿度変化とは非直線関係にあり、温
度係数が大きく、その補償が困難であり、又、高
分子膜は高湿下において膨潤によりはく離しやす
く、高温・高湿の使用はむずかしい欠点があつ
た。
ら湿度を測定する感湿素子、あるいは基板上に高
分子膜を形成してその静電容量変化から湿度を測
定する感湿素子等が知られている。しかしながら
抵抗値変化と湿度変化とは非直線関係にあり、温
度係数が大きく、その補償が困難であり、又、高
分子膜は高湿下において膨潤によりはく離しやす
く、高温・高湿の使用はむずかしい欠点があつ
た。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、多孔質層
を用いて、広範囲な温度範囲において使用できる
感湿素子を提供することである。
を用いて、広範囲な温度範囲において使用できる
感湿素子を提供することである。
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図、第２図は、断面説明図である。図において、
１はガラス、セラミツク等の絶縁性基板、２は絶
縁性基板上１に真空蒸着等で形成されるPt等の
金属の下部電極、３は下部電極２上に形成される
多孔質層をもつ吸湿担体、４は吸湿担体３上に真
空蒸着等で形成されるAu等の金属よりなる透水
性の上部電極である。そして、上部電極４を透過
して水分は吸湿担体に含まれるため、上部電極４
と下部電極３との間の静電容量変化から湿度の測
定を行うことができる。
図、第２図は、断面説明図である。図において、
１はガラス、セラミツク等の絶縁性基板、２は絶
縁性基板上１に真空蒸着等で形成されるPt等の
金属の下部電極、３は下部電極２上に形成される
多孔質層をもつ吸湿担体、４は吸湿担体３上に真
空蒸着等で形成されるAu等の金属よりなる透水
性の上部電極である。そして、上部電極４を透過
して水分は吸湿担体に含まれるため、上部電極４
と下部電極３との間の静電容量変化から湿度の測
定を行うことができる。
この吸湿担体３は次のようにして形成される。
まず50ｇの硝酸アルミニウムAl（NO3）3・
9H2Oを250mlの水に溶かし硝酸アルミニウム溶
液とする。又、150mlのアンモニア水NH4OHを
水でうすめて１とし、その中に１ｇ〜50ｇの微
晶セルロースを分散させる。そして硝酸アルミニ
ウム溶液と、セルロースが分散されたアンモニア
水とを混合し、十分かく拌した後、放置し、水酸
化アルミニウムAl（OH）3とセルロースを沈澱さ
せる。
9H2Oを250mlの水に溶かし硝酸アルミニウム溶
液とする。又、150mlのアンモニア水NH4OHを
水でうすめて１とし、その中に１ｇ〜50ｇの微
晶セルロースを分散させる。そして硝酸アルミニ
ウム溶液と、セルロースが分散されたアンモニア
水とを混合し、十分かく拌した後、放置し、水酸
化アルミニウムAl（OH）3とセルロースを沈澱さ
せる。
次に、この水酸化アルミニウムとセルロースの
混合沈澱物を乾燥させて取り出し、これに低熔融
ガラス粉末（ガラスフリツト）を添加し、さらに
酢酸イソアミルとニトロセルロースを混合したも
のをバインダーとして添加してペースト状とし、
これを絶縁性基板１の下部電極２上に印刷または
塗布して付着させる。
混合沈澱物を乾燥させて取り出し、これに低熔融
ガラス粉末（ガラスフリツト）を添加し、さらに
酢酸イソアミルとニトロセルロースを混合したも
のをバインダーとして添加してペースト状とし、
これを絶縁性基板１の下部電極２上に印刷または
塗布して付着させる。
そして、500〜700℃において、１−数時間焼成
すると水酸化アルミニウムは酸化して細かなアル
ミナAl2O3となり、低熔融ガラスは熔けて絶縁性
基板１等に熔着し、ニトロセルロースとバインダ
ーは焼失する。
すると水酸化アルミニウムは酸化して細かなアル
ミナAl2O3となり、低熔融ガラスは熔けて絶縁性
基板１等に熔着し、ニトロセルロースとバインダ
ーは焼失する。
つまり、第３図の模式図で示すように絶縁性基
板１の下部電極２上に、ガラス５の中にアルミナ
６が分散し、セルロースのあつたところは焼失し
て細孔Ａが多数形成された多孔質層となる。
板１の下部電極２上に、ガラス５の中にアルミナ
６が分散し、セルロースのあつたところは焼失し
て細孔Ａが多数形成された多孔質層となる。
このセルロース、アルミナ、ガラスは均一によ
く混合されているので、セルロースの焼失による
細孔径は、そろつたもので、平均的に分布してお
り、又、膜厚も数十μｍと薄く、吸湿担体として
好適である。
く混合されているので、セルロースの焼失による
細孔径は、そろつたもので、平均的に分布してお
り、又、膜厚も数十μｍと薄く、吸湿担体として
好適である。
そして、この吸湿担体３の上に上部電極４を形
成し、上部電極４と下部電極２との間の吸湿担体
３の静電容量変化から湿度を測定するようにすれ
ばよい。
成し、上部電極４と下部電極２との間の吸湿担体
３の静電容量変化から湿度を測定するようにすれ
ばよい。
又、第４図で示すように上記吸湿担体３を絶縁
性基板１上に形成し、抵抗値調整用の抵抗皮膜７
を形成した後、電極８，９を形成し、電極８，９
間の抵抗値変化から湿度を測定するようにするこ
とができる。
性基板１上に形成し、抵抗値調整用の抵抗皮膜７
を形成した後、電極８，９を形成し、電極８，９
間の抵抗値変化から湿度を測定するようにするこ
とができる。
以上述べたように、この発明は、吸湿担体とし
て、硝酸アルミニウムおよびセルロースを分散さ
せたアンモニア水を混合して得られる水酸化アル
ミニウムとセルロースの混合沈澱物に低熔融ガラ
ス粉末を添加してペースト状とし、これを絶縁性
基板上に付着させて焼成して多孔質化してなるも
のを用い、その電気的な変化から湿度を測定する
感湿素子である。
て、硝酸アルミニウムおよびセルロースを分散さ
せたアンモニア水を混合して得られる水酸化アル
ミニウムとセルロースの混合沈澱物に低熔融ガラ
ス粉末を添加してペースト状とし、これを絶縁性
基板上に付着させて焼成して多孔質化してなるも
のを用い、その電気的な変化から湿度を測定する
感湿素子である。
従つて、この感湿素子の吸湿担体は、水分の吸
湿、脱湿に好適な、細孔径のそろつた、平均的に
分布した細孔を有し、表面積が大きいので感度が
良く、又、膜厚も薄いものとすることができるの
で応答性も速い。又、ガラスにより基板との接着
が強いため、はく離のおそれもなく、機械的に強
固であり、高温使用は耐えうるものである。
湿、脱湿に好適な、細孔径のそろつた、平均的に
分布した細孔を有し、表面積が大きいので感度が
良く、又、膜厚も薄いものとすることができるの
で応答性も速い。又、ガラスにより基板との接着
が強いため、はく離のおそれもなく、機械的に強
固であり、高温使用は耐えうるものである。
第１図、第２図、第４図は、この発明の一実施
例を示す構成説明図、第３図は模式説明図であ
る。 １……絶縁性基板、３……吸湿担体、２，４，
８，９……電極。
例を示す構成説明図、第３図は模式説明図であ
る。 １……絶縁性基板、３……吸湿担体、２，４，
８，９……電極。
Claims (1)
- １ 硝酸アルミニウム溶液と、セルロースを分散
させたアンモニア水とを混合して得られる水酸化
アルミニウムおよびセルロースの混合沈澱物に低
熔融ガラスを添加してペースト状とし、これを基
板に付着させて焼成して多孔質化してなることを
特徴とする感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56013969A JPS57128902A (en) | 1981-02-02 | 1981-02-02 | Moisture sensitive element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56013969A JPS57128902A (en) | 1981-02-02 | 1981-02-02 | Moisture sensitive element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57128902A JPS57128902A (en) | 1982-08-10 |
| JPS6363065B2 true JPS6363065B2 (ja) | 1988-12-06 |
Family
ID=11848040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56013969A Granted JPS57128902A (en) | 1981-02-02 | 1981-02-02 | Moisture sensitive element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57128902A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60239657A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-28 | Sharp Corp | 感湿素子及びその製造方法 |
| US11927280B2 (en) | 2018-06-30 | 2024-03-12 | Fujikin Incorporated | Diaphragm valve and monitoring method thereof with improved leak detection |
-
1981
- 1981-02-02 JP JP56013969A patent/JPS57128902A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57128902A (en) | 1982-08-10 |
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