JPS6366407A - 螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点調整方法 - Google Patents
螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点調整方法Info
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- JPS6366407A JPS6366407A JP20952687A JP20952687A JPS6366407A JP S6366407 A JPS6366407 A JP S6366407A JP 20952687 A JP20952687 A JP 20952687A JP 20952687 A JP20952687 A JP 20952687A JP S6366407 A JPS6366407 A JP S6366407A
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- fluorescent
- rays
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- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 19
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、螢光Ｘ線膜厚計における測定点構出装置に
関し、特にコリメークから照射されるＸ線が照射される
位置観察を容易に正確に行なうための新規な改良に関す
るものである。
関し、特にコリメークから照射されるＸ線が照射される
位置観察を容易に正確に行なうための新規な改良に関す
るものである。
従来、用いられていたこの種の装置においては螢光板の
マークを設け、Ｘ線を照射した状態で螢光板の発光点を
目視で測定していたが、精度がとれないと同時に、照射
部と非照射部との境界が鮮明でなかったために、顕微鏡
に印された十字目盛とＸ線軸とを一致させることは困１
シでネった。
マークを設け、Ｘ線を照射した状態で螢光板の発光点を
目視で測定していたが、精度がとれないと同時に、照射
部と非照射部との境界が鮮明でなかったために、顕微鏡
に印された十字目盛とＸ線軸とを一致させることは困１
シでネった。
この発明は以上のような欠点をすみやかに除去するため
の極めて効果的な手段を提供ずろことを目的とするもの
で、特に、Ｘ Ｙ ２に糾合の上に一組の異種金属を一
体化した金属検出板を設け、一方の金属からの螢光Ｘ線
を検出してＸ線軸が各金属の接合点である境界を検出し
、Ｘ線軸を見分けるようにした構成である。
の極めて効果的な手段を提供ずろことを目的とするもの
で、特に、Ｘ Ｙ ２に糾合の上に一組の異種金属を一
体化した金属検出板を設け、一方の金属からの螢光Ｘ線
を検出してＸ線軸が各金属の接合点である境界を検出し
、Ｘ線軸を見分けるようにした構成である。
以下、図面と共にこの発明による螢光Ｘ線膜厚計におけ
る測定点検出装置の好適な実施例について詳細に説明す
る。
る測定点検出装置の好適な実施例について詳細に説明す
る。
図面において符号１で示されるものはＸ線源であり、こ
のＸ’！１Ａａ１からのＸ線はシャフタ２のコリメータ
３を経てＸＹ試料台４上の試料５に照射されている。
のＸ’！１Ａａ１からのＸ線はシャフタ２のコリメータ
３を経てＸＹ試料台４上の試料５に照射されている。
このＸＹ試料台４は図面には示されていないが、ＸＹ駆
動機構によりＸおよびＹ方向に移動可能に設けられてお
り、このＸＹ駆動機構を作動させてＸＹ試料台４を移動
させ、試料５の任意の部分にＸ線を照射することができ
る。
動機構によりＸおよびＹ方向に移動可能に設けられてお
り、このＸＹ駆動機構を作動させてＸＹ試料台４を移動
させ、試料５の任意の部分にＸ線を照射することができ
る。
前記シャッタ２の一端には第２図のようにコリメータ３
が一体に設けられていると共に、その他端にはミラー６
が設けられ、側部に配設された顕微鏡７から見るとミラ
ー６で反射された試料５の面を見ることができる。又、
試料５からの螢光Ｘ線は検出器７ａで検出するものであ
る。
が一体に設けられていると共に、その他端にはミラー６
が設けられ、側部に配設された顕微鏡７から見るとミラ
ー６で反射された試料５の面を見ることができる。又、
試料５からの螢光Ｘ線は検出器７ａで検出するものであ
る。
さらに、第３図に示されろ構成では本発明による測定点
検出装置を示すもので、ＸＹテーブル４上には試料とし
て第１および第２の金属８．９を一体化した検出金属板
１０が載置されており、このＸＹテーブル４はマイクロ
ヘッド】１の先端部１２が結合していることにより矢印
への方向に微少移動できる構成である。さらに、前記第
１および第２の金属は互いに異種金属より構成され、第
１金属８は螢光Ｘ線をほとんど発生しないアルミニウム
。
検出装置を示すもので、ＸＹテーブル４上には試料とし
て第１および第２の金属８．９を一体化した検出金属板
１０が載置されており、このＸＹテーブル４はマイクロ
ヘッド】１の先端部１２が結合していることにより矢印
への方向に微少移動できる構成である。さらに、前記第
１および第２の金属は互いに異種金属より構成され、第
１金属８は螢光Ｘ線をほとんど発生しないアルミニウム
。
第２金属は螢光Ｘ線を発生するシンチュウから構成さて
いる。従って、コリメータ３を介してｘ）ｆｆｌビーム
を検出金属板１０に照射した場合、第４図に示すように
螢光Ｘ線の最高強度の半分の強度にあたる点、すなわち
ＸＹステージＸ方向のＸ、（ＸＹステージの送り量にお
ける）の位置が第１および第２金属８．９の境界位置で
あり、螢光Ｘ線の照射位置であることが分かるものであ
る。
いる。従って、コリメータ３を介してｘ）ｆｆｌビーム
を検出金属板１０に照射した場合、第４図に示すように
螢光Ｘ線の最高強度の半分の強度にあたる点、すなわち
ＸＹステージＸ方向のＸ、（ＸＹステージの送り量にお
ける）の位置が第１および第２金属８．９の境界位置で
あり、螢光Ｘ線の照射位置であることが分かるものであ
る。
従って、同様の手段により、Ｙ方向についてもことがで
きる。
きる。
この発明による装置は以上のような構成と作用とを備え
ているため、コリメータから照射されるＸ線の位置を正
確に知ることができ、この位置に顕微鏡の十字目盛板の
十字目盛のＸおよびＹｖＡを合わせればＸ線軸と光軸と
を容易に一敗させることができる。
ているため、コリメータから照射されるＸ線の位置を正
確に知ることができ、この位置に顕微鏡の十字目盛板の
十字目盛のＸおよびＹｖＡを合わせればＸ線軸と光軸と
を容易に一敗させることができる。
第１図は全体構成を示す構成図、第２図、第３圓は要部
の側面図、第４図は特性図である。 １・・・Ｘ線源 ２・・・シャッタ ３・・・コリメータ ４・・・ｘｙ試料台 ５・・・試キ４ ６・・・ミラー ７・・・顕微鏡 ７ａ・・検出器 ８．９・・第１．第２の金属 １０・・・検出金属板 １１・・・マイクロヘッド 以上
の側面図、第４図は特性図である。 １・・・Ｘ線源 ２・・・シャッタ ３・・・コリメータ ４・・・ｘｙ試料台 ５・・・試キ４ ６・・・ミラー ７・・・顕微鏡 ７ａ・・検出器 ８．９・・第１．第２の金属 １０・・・検出金属板 １１・・・マイクロヘッド 以上
Claims (1)
- （１）螢光Ｘ線膜厚計による膜厚測定において、２種の
材質により境界線をもつ試料をＸＹ試料テーブル上に前
記境界線がＹ方向とほぼ平行になるように載置し、 前記試料表面にＸ線を照射し、前記試料の一方の材質の
みより発生する螢光Ｘ線強度を測定しながら、前記ＸＹ
試料テーブルをＸ方向に移動させ、前記ＸＹ試料テーブ
ルを、前記螢光Ｘ線強度が最大強度の半分の強度を示す
位置に止め、前記位置における前記境界線を光学的観察
手段である顕微鏡の十字目盛板の一方の線に合わせ、 更に、前記試料を前記ＸＹ試料テーブル上に前記境界線
がＸ方向とほぼ平行になるように載置し、前記試料表面
にＸ線を照射し、前記試料の一方の材質のみより発生す
る螢光Ｘ線強度を測定しながら、前記ＸＹ試料テーブル
をＹ方向に移動させ、前記ＸＹ試料テーブルを、前記螢
光Ｘ線強度が最大強度の半分の強度を示す位置に止め、
前記位置における前記境界線を光学的観察手段である顕
微鏡の十字目盛板の他方の線に合わせることを特徴とす
る螢光Ｘ線膜厚計に於ける測定点調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20952687A JPS6366407A (ja) | 1987-08-24 | 1987-08-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20952687A JPS6366407A (ja) | 1987-08-24 | 1987-08-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366407A true JPS6366407A (ja) | 1988-03-25 |
| JPS6352329B2 JPS6352329B2 (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=16574250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20952687A Granted JPS6366407A (ja) | 1987-08-24 | 1987-08-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける測定点調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6366407A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06102032A (ja) * | 1992-03-30 | 1994-04-12 | Seiko Instr Inc | 蛍光ｘ線膜厚測定方法 |
| CN112044805A (zh) * | 2020-09-28 | 2020-12-08 | 秦宇 | 一种金属检测仪 |
-
1987
- 1987-08-24 JP JP20952687A patent/JPS6366407A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06102032A (ja) * | 1992-03-30 | 1994-04-12 | Seiko Instr Inc | 蛍光ｘ線膜厚測定方法 |
| CN112044805A (zh) * | 2020-09-28 | 2020-12-08 | 秦宇 | 一种金属检测仪 |
| CN112044805B (zh) * | 2020-09-28 | 2022-02-01 | 广东艾斯瑞仪器科技有限公司 | 一种金属检测仪 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6352329B2 (ja) | 1988-10-18 |
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