JPS6367741B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6367741B2 JPS6367741B2 JP56051352A JP5135281A JPS6367741B2 JP S6367741 B2 JPS6367741 B2 JP S6367741B2 JP 56051352 A JP56051352 A JP 56051352A JP 5135281 A JP5135281 A JP 5135281A JP S6367741 B2 JPS6367741 B2 JP S6367741B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- emitter
- accelerating voltage
- current
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電界放出型電子銃のエミツタをダリン
グする方法に関する。
グする方法に関する。
電界放出型電子銃ではエミツタの先端部に強電
界を発生させてエミツタから電子を放出させ、更
にエミツタに負の加速電圧印加して該放出電子加
速するようにしている。さて、この様な電子銃を
使用する場合、使い始めのエミツタの先端は細い
為に放出電流（以後エミツシヨン電流と称す）が
著しく大きく、又このエミツシヨン電流は加速電
圧を増すに従つて大きくなるので、急に加速電圧
を上げていくと、エミツシヨン電流が著しく大き
くなり、エミツタの先端が飛散する等の異常現象
が起こる。
界を発生させてエミツタから電子を放出させ、更
にエミツタに負の加速電圧印加して該放出電子加
速するようにしている。さて、この様な電子銃を
使用する場合、使い始めのエミツタの先端は細い
為に放出電流（以後エミツシヨン電流と称す）が
著しく大きく、又このエミツシヨン電流は加速電
圧を増すに従つて大きくなるので、急に加速電圧
を上げていくと、エミツシヨン電流が著しく大き
くなり、エミツタの先端が飛散する等の異常現象
が起こる。
そこで、最終的に設定される加速電圧において
エミツタの先端が異常現象を起こさない最適なエ
ミツシヨン電流の値を設定し、加速電圧を上げて
いきエミツシヨン電流が設定値になつたら加速電
圧元の値（通常零）に戻し、エミツタを保持して
いるフイラメントに適当な大きさの加熱電流を適
当な時間流してエミツタの先端を適当に太くす
る、いわゆるダリングを行なつてから再び加速電
圧を上げていきエミツシヨン電流が設定値になつ
たら加速電圧を元の値に戻し、又、グリングを行
なう操作を繰り返し設定加速電圧に持つていく方
法が考えられるが、勘と経験に依つて適当な時間
適当な大きさの加熱電流をフイラメントに流して
ダリングを行なうので、エミツタの先端に損傷を
与えやすいという問題を有している。
エミツタの先端が異常現象を起こさない最適なエ
ミツシヨン電流の値を設定し、加速電圧を上げて
いきエミツシヨン電流が設定値になつたら加速電
圧元の値（通常零）に戻し、エミツタを保持して
いるフイラメントに適当な大きさの加熱電流を適
当な時間流してエミツタの先端を適当に太くす
る、いわゆるダリングを行なつてから再び加速電
圧を上げていきエミツシヨン電流が設定値になつ
たら加速電圧を元の値に戻し、又、グリングを行
なう操作を繰り返し設定加速電圧に持つていく方
法が考えられるが、勘と経験に依つて適当な時間
適当な大きさの加熱電流をフイラメントに流して
ダリングを行なうので、エミツタの先端に損傷を
与えやすいという問題を有している。
そこで本発明はオペレータの勘と経験に頼らず
に、常に最適な状態でダリングが行なわれる新規
な方法を提供するものである。
に、常に最適な状態でダリングが行なわれる新規
な方法を提供するものである。
添付図は本発明のダリング方法の一応用例を示
した電界放出型電子銃のエミツタのダリング装置
の概略図である。
した電界放出型電子銃のエミツタのダリング装置
の概略図である。
図中１はエミツタで該エミツタ保持し加熱する
ためのフイラメント２上に固定されている。図示
しないが、該エミツタの下方にはエミツタの先端
部に強電界を発生させる為の電極、更にその下方
にエミツタから放出される電子を加速する為の電
極が夫々配置され、前者の電極とエミツタ間に直
流電源が挿入される。３は大地電位にある後者の
電極とエミツタ間に挿入された加速電圧電源であ
る。４は前記フイラメント２を加熱する為の加熱
電流を作る回路で、演算機能、記憶機能等を持ち
合わせた中央処理装置（以後CPUと称す）５か
らDA変換器６、選択器７及び増幅器８を介して
加熱電流の大きさと該加熱電流を流す時間のデー
タを持つたパルス信号が入力される。該入力によ
つて加熱電流作成回路４を成す加熱用交流電源９
と絶縁トランス１０は前記パルス信号に対して加
熱電流を作成して前記フイラメント２へ流す。該
絶縁トランスの二次側中点と大地間に挿入された
前記加速電源３は前記DA変換器６、選択器７及
び増幅器１１を介して送られて来る前記CPU５
の指令によりコントロールされる。１２は、前記
加速電源３と大地との接続点からの信号を正入力
端子に捕らえる増幅器で、該増幅器の出力、即ち
エミツシヨン電流に対応した信号は選択器１３及
びAD変換器１４を介して前記CPU５へ送られ
る。１５は、前記加速電源３と抵抗R3の直列回
路に並列に接続された抵抗R1とR2の直列回路で
の抵抗R1とR2の接続点からの信号を正入力端子
に捕らえる増幅器で、加速電圧値に対応した信号
を選択器１３とAD変換器１４を介して前記CPU
５へ送る。
ためのフイラメント２上に固定されている。図示
しないが、該エミツタの下方にはエミツタの先端
部に強電界を発生させる為の電極、更にその下方
にエミツタから放出される電子を加速する為の電
極が夫々配置され、前者の電極とエミツタ間に直
流電源が挿入される。３は大地電位にある後者の
電極とエミツタ間に挿入された加速電圧電源であ
る。４は前記フイラメント２を加熱する為の加熱
電流を作る回路で、演算機能、記憶機能等を持ち
合わせた中央処理装置（以後CPUと称す）５か
らDA変換器６、選択器７及び増幅器８を介して
加熱電流の大きさと該加熱電流を流す時間のデー
タを持つたパルス信号が入力される。該入力によ
つて加熱電流作成回路４を成す加熱用交流電源９
と絶縁トランス１０は前記パルス信号に対して加
熱電流を作成して前記フイラメント２へ流す。該
絶縁トランスの二次側中点と大地間に挿入された
前記加速電源３は前記DA変換器６、選択器７及
び増幅器１１を介して送られて来る前記CPU５
の指令によりコントロールされる。１２は、前記
加速電源３と大地との接続点からの信号を正入力
端子に捕らえる増幅器で、該増幅器の出力、即ち
エミツシヨン電流に対応した信号は選択器１３及
びAD変換器１４を介して前記CPU５へ送られ
る。１５は、前記加速電源３と抵抗R3の直列回
路に並列に接続された抵抗R1とR2の直列回路で
の抵抗R1とR2の接続点からの信号を正入力端子
に捕らえる増幅器で、加速電圧値に対応した信号
を選択器１３とAD変換器１４を介して前記CPU
５へ送る。
さて、予めCPU５に設定すべき加速電圧値と
エミツシヨン電流値を入力しておき、加速電圧を
上昇していく。この時、CPU５はエミツシヨン
電流が設定値に等しくなつたら該加速電圧を元の
値に戻す。そして、CPU５は加熱電流作成回路
４の電源９にフイラメント２に流すべき加熱電流
の大きさIdに対応した振幅と、流すべき時間ｔに
対応した幅を持つパルス信号を送るので、フイラ
メント２にはIdの大きさの加熱電流が時間ｔだけ
流れる。次に再びCPU５の指令より加速電圧を
上昇させ、エミツシヨン電流が設定値になつたら
該加速電圧を元の値に戻す。そして再びCPU５
は前記と同様に、加熱電流フイラメントに流す指
令を出すのであるが、この流すべき加熱電流の大
きさと流す時間をCPUは、加速電圧の前段階で
の値に対する変化量、即ち現段階で設定エミツシ
ヨン電流に達した加速電圧値と前段階で設定エミ
ツシヨン電流に達した加速電圧値との差と、フイ
ラメントに掛ける加熱電力量の比が何れのダリン
グ段階においてもある適宜な値以下になるように
演算して設定している。このある適宜な値とは、
フイラメントに掛ける加熱電力量の値如何によつ
て加熱時間に対する加速電圧の変化量が大きくな
つてエミツタが飛ででしまうことがあるので、こ
の様な事故が起こらない程度の加熱時間に対する
加速電圧の変化量になるような値である。該
CPUは前記加熱電流作成回路４に、斯くの如き
比の値になるようにパルス信号の振幅と幅を決め
て次にダリング時に送つている。而して、CPU
５は、ダリング後、モニタした加熱電流、加熱時
間、加速電圧から前記比の値を算出し、次のダリ
ングの為の加熱電流と加熱時間を決め、その間、
エミツタ電流が設定値になる迄加速電圧を零から
上昇させる操作を繰り返えし、加速電圧値が設定
値に達したらダリングを終了する。
エミツシヨン電流値を入力しておき、加速電圧を
上昇していく。この時、CPU５はエミツシヨン
電流が設定値に等しくなつたら該加速電圧を元の
値に戻す。そして、CPU５は加熱電流作成回路
４の電源９にフイラメント２に流すべき加熱電流
の大きさIdに対応した振幅と、流すべき時間ｔに
対応した幅を持つパルス信号を送るので、フイラ
メント２にはIdの大きさの加熱電流が時間ｔだけ
流れる。次に再びCPU５の指令より加速電圧を
上昇させ、エミツシヨン電流が設定値になつたら
該加速電圧を元の値に戻す。そして再びCPU５
は前記と同様に、加熱電流フイラメントに流す指
令を出すのであるが、この流すべき加熱電流の大
きさと流す時間をCPUは、加速電圧の前段階で
の値に対する変化量、即ち現段階で設定エミツシ
ヨン電流に達した加速電圧値と前段階で設定エミ
ツシヨン電流に達した加速電圧値との差と、フイ
ラメントに掛ける加熱電力量の比が何れのダリン
グ段階においてもある適宜な値以下になるように
演算して設定している。このある適宜な値とは、
フイラメントに掛ける加熱電力量の値如何によつ
て加熱時間に対する加速電圧の変化量が大きくな
つてエミツタが飛ででしまうことがあるので、こ
の様な事故が起こらない程度の加熱時間に対する
加速電圧の変化量になるような値である。該
CPUは前記加熱電流作成回路４に、斯くの如き
比の値になるようにパルス信号の振幅と幅を決め
て次にダリング時に送つている。而して、CPU
５は、ダリング後、モニタした加熱電流、加熱時
間、加速電圧から前記比の値を算出し、次のダリ
ングの為の加熱電流と加熱時間を決め、その間、
エミツタ電流が設定値になる迄加速電圧を零から
上昇させる操作を繰り返えし、加速電圧値が設定
値に達したらダリングを終了する。
斯くの如き発明によれば、オペレータの勘と経
験に頼らずに、常に最適な状態でダリングが自動
的に行なわれるので、素人でもエミツタ事故を全
く起こすこと無く、エミツタのダリングが行なえ
る。
験に頼らずに、常に最適な状態でダリングが自動
的に行なわれるので、素人でもエミツタ事故を全
く起こすこと無く、エミツタのダリングが行なえ
る。
添付図は本発明のダリング方法の一応用例を示
した電界放出型電子銃のエミツタのダリング装置
の概略図である。 １：エミツタ、２：フイラメント、３：加速電
圧源、４：加熱電流作成回路、５：中央処理装置
（CPU）。
した電界放出型電子銃のエミツタのダリング装置
の概略図である。 １：エミツタ、２：フイラメント、３：加速電
圧源、４：加熱電流作成回路、５：中央処理装置
（CPU）。
Claims (1)
- １ 電界放出型電子銃のエミツタに印加される加
速電圧値を上昇させ、予め設定した値のエミツシ
ヨン電流が流れたら該加速電圧値を元に戻す過程
と、前記エミツタの保持体に加熱電流を流す過程
を加速電圧が設定値に達する迄繰り返す方法にお
いて、予め設定された加速電圧値と設定エミツシ
ヨン電流値を演算機能を持つ装置に入力してお
き、エミツタの保持体に流す加熱電流の大きさと
流す時間、エミツシヨン電流及び加速電圧をモニ
タして前記演算機能を持つ装置へ送り、エミツシ
ヨン電流が設定値に達した時の加速電圧値の前段
階でのそれとの変化量と前記加熱電流値と流す時
間の積に対応した量との比が適宜な値以下になる
様に該加熱電流値又は流す時間をコントロールし
たことを特徴とするエミツタのダリング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56051352A JPS57165944A (en) | 1981-04-06 | 1981-04-06 | Dallying method for emitter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56051352A JPS57165944A (en) | 1981-04-06 | 1981-04-06 | Dallying method for emitter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57165944A JPS57165944A (en) | 1982-10-13 |
| JPS6367741B2 true JPS6367741B2 (ja) | 1988-12-27 |
Family
ID=12884529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56051352A Granted JPS57165944A (en) | 1981-04-06 | 1981-04-06 | Dallying method for emitter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57165944A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023067681A1 (ja) * | 2021-10-19 | 2023-04-27 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
-
1981
- 1981-04-06 JP JP56051352A patent/JPS57165944A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57165944A (en) | 1982-10-13 |
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