JPS6367761A - 気密ガラス端子 - Google Patents
気密ガラス端子Info
- Publication number
- JPS6367761A JPS6367761A JP61212421A JP21242186A JPS6367761A JP S6367761 A JPS6367761 A JP S6367761A JP 61212421 A JP61212421 A JP 61212421A JP 21242186 A JP21242186 A JP 21242186A JP S6367761 A JPS6367761 A JP S6367761A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- iron
- glass
- lead wire
- resistant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/02—Contact members
- H01R13/03—Contact members characterised by the material, e.g. plating, or coating materials
Landscapes
- Connections Arranged To Contact A Plurality Of Conductors (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体素子などを搭載するのに用いられる気
密ガラス端子(以下気密端子という)に係り、特に、耐
食性および気密特性に優れた気密端子に関する。
密ガラス端子(以下気密端子という)に係り、特に、耐
食性および気密特性に優れた気密端子に関する。
(従来技術とその問題点)
前述した気密端子には、一般に、第2図(a)に−例を
示すように、鉄−ニッケルーコバルト合金(以下コバー
ルと称する)からなるアイレフト(金属外環)1を有す
るものがある。このアイレット1は+部開口2を備えた
深皿状に形成され、その頂壁3にはリード線4が遊挿さ
れる開口5が穿設されている。なお9はアースリード線
である。
示すように、鉄−ニッケルーコバルト合金(以下コバー
ルと称する)からなるアイレフト(金属外環)1を有す
るものがある。このアイレット1は+部開口2を備えた
深皿状に形成され、その頂壁3にはリード線4が遊挿さ
れる開口5が穿設されている。なお9はアースリード線
である。
そして、これらの開口5には、アイレット1と同様、コ
バールからなるリード線4力に挿通され、これらアイレ
ット1、リード線4、およびアースリード線9は、アイ
レット1内に充處された硬質ガラス6により気密に封止
されている。
バールからなるリード線4力に挿通され、これらアイレ
ット1、リード線4、およびアースリード線9は、アイ
レット1内に充處された硬質ガラス6により気密に封止
されている。
このような気密端子は、従来、アイレフト表面およびリ
ード線表面にFe2e3、Fe3e4等鉄の酸化膜を形
成した後に、これらのアイレッ日および各リード線4.
9を成形しである硬質ガラスとともに組立て、加熱処理
によりガラスを溶融してこのガラス6によりアイレット
1および各リード線4.9を気密に溶着する。その後、
ガラス6がら露出しているアイレット1および各リード
線4.9の部位にめっき7を施して気密端子が形成され
る。
ード線表面にFe2e3、Fe3e4等鉄の酸化膜を形
成した後に、これらのアイレッ日および各リード線4.
9を成形しである硬質ガラスとともに組立て、加熱処理
によりガラスを溶融してこのガラス6によりアイレット
1および各リード線4.9を気密に溶着する。その後、
ガラス6がら露出しているアイレット1および各リード
線4.9の部位にめっき7を施して気密端子が形成され
る。
しかしながら、前述した従来の気密端子においては、各
リード線4.9に負荷がかかるなどして各リード線4.
9が曲がったりすると、第3図にAで示すようにリード
線4または9の外周のガラス6のメニスカス部6aが欠
けてめっきが施されていない部位のリード線4 (また
は9)が露出することがある。そして、この部位の各リ
ード線4.9が直接外気に触れるため錆が発生し、耐食
性が低下する問題があった。
リード線4.9に負荷がかかるなどして各リード線4.
9が曲がったりすると、第3図にAで示すようにリード
線4または9の外周のガラス6のメニスカス部6aが欠
けてめっきが施されていない部位のリード線4 (また
は9)が露出することがある。そして、この部位の各リ
ード線4.9が直接外気に触れるため錆が発生し、耐食
性が低下する問題があった。
なお、第2図(b)に示すような気密端子においても、
リード線4の外周のガラス6aが欠け、同様の問題があ
った。
リード線4の外周のガラス6aが欠け、同様の問題があ
った。
上記の問題点を解消するため、第4図に示すように、リ
ード線4.9にニッケルおよび/またはコバルトめっき
からなる下地めっき8を施し、次いで酸化雰囲気中で加
熱処理して下地めっき8上にニッケルおよび/またはコ
バルトの金属酸化膜を形成し7、このように処理したリ
ード線4.9をアイレット1、ガラス6と共に溶着治具
中に組込み、加熱処理によりガラスを溶融してガラス6
によりアイレット1および各リード線4.9を気密に溶
着したものがある(特願昭61−158261号)。
ード線4.9にニッケルおよび/またはコバルトめっき
からなる下地めっき8を施し、次いで酸化雰囲気中で加
熱処理して下地めっき8上にニッケルおよび/またはコ
バルトの金属酸化膜を形成し7、このように処理したリ
ード線4.9をアイレット1、ガラス6と共に溶着治具
中に組込み、加熱処理によりガラスを溶融してガラス6
によりアイレット1および各リード線4.9を気密に溶
着したものがある(特願昭61−158261号)。
このような気密端子においては、ニッケルおよび/また
はコバルトの金属酸化膜とガラス6との密着強度が充分
でなく、上記の下地めっき8を施した段階でリード線4
.9に高温の加熱処理を施してリード線素材中の鉄を下
地めっき8表面にまで拡散させ、この拡散した鉄の酸化
物を形成して、ガラス6との気密性を向上させることが
必要であることが判明した。
はコバルトの金属酸化膜とガラス6との密着強度が充分
でなく、上記の下地めっき8を施した段階でリード線4
.9に高温の加熱処理を施してリード線素材中の鉄を下
地めっき8表面にまで拡散させ、この拡散した鉄の酸化
物を形成して、ガラス6との気密性を向上させることが
必要であることが判明した。
しかしこの場合、鉄を下地めっき8表面にまで拡散させ
るた′めには高温で長時間の加熱処理を必要とし、また
この加熱処理中にリード線同志のくっ付きが甚だしく、
実用性に問題がある。
るた′めには高温で長時間の加熱処理を必要とし、また
この加熱処理中にリード線同志のくっ付きが甚だしく、
実用性に問題がある。
(発明の目的)
そこで本発明は上述の問題点を克服し、耐食性かつ気密
特性に優れる気密端子を提供することを目的とする。
特性に優れる気密端子を提供することを目的とする。
(発明の概要)
上記目的による本発明の気密端子は、アイレットと、鉄
を含む素材からなるリード線とを有し、ガラスにより前
記アイレフトおよびリード線を気密に封止してなる気密
ガラス端子において、前記リード線は、リード線素材上
にニッケルめっき等の耐食めっきが施され、さらにこの
耐食めっき上に鉄を主成分とするめっきが施され、さら
にまたこの鉄を主成分とするめっきの酸化物が形成され
て、この酸化物との間で前記ガラスにより気密に封止さ
れていることを特徴としている。
を含む素材からなるリード線とを有し、ガラスにより前
記アイレフトおよびリード線を気密に封止してなる気密
ガラス端子において、前記リード線は、リード線素材上
にニッケルめっき等の耐食めっきが施され、さらにこの
耐食めっき上に鉄を主成分とするめっきが施され、さら
にまたこの鉄を主成分とするめっきの酸化物が形成され
て、この酸化物との間で前記ガラスにより気密に封止さ
れていることを特徴としている。
(実施例)
以下には本発明の好適な一実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
なお前記従来のものと同一の部材は同一符号をもって示
し、その説明は省略する。
し、その説明は省略する。
第1図に示すように本発明においては、コバール製のリ
ード線4.9外表面にニッケルめっき等の耐食めっき1
0が施される。次いでこの耐食めっき10が施されたリ
ード線4.9を700℃程度の還元性雰囲気中で適度に
加熱処理して(素材中の鉄が耐食めっき表面にまで拡散
しない、程度に)、素材と耐食めっき10とのなじみを
よくする。
ード線4.9外表面にニッケルめっき等の耐食めっき1
0が施される。次いでこの耐食めっき10が施されたリ
ード線4.9を700℃程度の還元性雰囲気中で適度に
加熱処理して(素材中の鉄が耐食めっき表面にまで拡散
しない、程度に)、素材と耐食めっき10とのなじみを
よくする。
次に耐食めっき10上に鉄めっき、鉄−ニッケルめっき
等の鉄を主成分とするめっき11(以下単に鉄めっきと
いう。図示せず)を0.1〜5μm程度施す。
等の鉄を主成分とするめっき11(以下単に鉄めっきと
いう。図示せず)を0.1〜5μm程度施す。
次いで酸化性雰囲気中で加熱処理して鉄めっき11の酸
化物を形成する。
化物を形成する。
そしてこの外表面に鉄の酸化物が形成されたリード線4
.9をアイレット1とガラス6と共に溶着治具(図示せ
ず)中に組込み、1000℃程度の加熱処理によりガラ
スを熔融して、ガラス6によりアイレット1および各リ
ード線4.9を気密に溶着するのである。
.9をアイレット1とガラス6と共に溶着治具(図示せ
ず)中に組込み、1000℃程度の加熱処理によりガラ
スを熔融して、ガラス6によりアイレット1および各リ
ード線4.9を気密に溶着するのである。
鉄の酸化物とガラス6とはなじみが極めてよく、鉄の酸
化物がガラス中に拡散することで両者は極めて強固に接
合し、高温時でも優れた気密性を有する。
化物がガラス中に拡散することで両者は極めて強固に接
合し、高温時でも優れた気密性を有する。
上記のように形成したのち、外部に露出しているアイレ
ット1および各リード線4.9の部位上には必要な外装
めっき12を施して気密端子が形成される。この場合前
記の鉄めっきの酸化物は、外装めっき12のめっき前処
理としての酸処理で容易に除去することができ、直接耐
食めっき10上に外装めっき12を施すことができる。
ット1および各リード線4.9の部位上には必要な外装
めっき12を施して気密端子が形成される。この場合前
記の鉄めっきの酸化物は、外装めっき12のめっき前処
理としての酸処理で容易に除去することができ、直接耐
食めっき10上に外装めっき12を施すことができる。
このようにして形成された気密端子は、各リード線4.
9素村上にあらかじめ耐食めっき10が施されているの
で、ガラス6aが欠けて外装めっき12が施されていな
い部位の各リード線4.9が露出したとしても、各リー
ド線4.9素材が外気に触れて錆びるおそれがない。
9素村上にあらかじめ耐食めっき10が施されているの
で、ガラス6aが欠けて外装めっき12が施されていな
い部位の各リード線4.9が露出したとしても、各リー
ド線4.9素材が外気に触れて錆びるおそれがない。
なおガラス6aが欠けた部位の耐食めっき10上には鉄
めっき11が施されているが、鉄の酸化物はガラス6中
に拡散してしまうこと、また耐食めっき10が存在する
こともあってリード線4.9素材に錆が発生することは
ない。
めっき11が施されているが、鉄の酸化物はガラス6中
に拡散してしまうこと、また耐食めっき10が存在する
こともあってリード線4.9素材に錆が発生することは
ない。
実際に塩水噴霧試験を行って耐食性を調べたところ錆の
発生は皆無であった。
発生は皆無であった。
また前述のごとく、鉄の酸化物とガラス6とのVI!着
性は掻めて良好なので、耐熱気密特性にも極めて優れて
いる。
性は掻めて良好なので、耐熱気密特性にも極めて優れて
いる。
またリード線4.9およびアイレット1の素材はコバー
ルに限られず、4270イ(鉄−ニッケル合金)等の素
材にも通用できる。
ルに限られず、4270イ(鉄−ニッケル合金)等の素
材にも通用できる。
また耐食めっき10もニッケルめっきに限られないこと
はもちろんであり、耐食めっき10は、少なくともガラ
ス6aが欠ける可能性のある範囲に亘って、リード線に
部分的にめっきを施すようにしてもよい。
はもちろんであり、耐食めっき10は、少なくともガラ
ス6aが欠ける可能性のある範囲に亘って、リード線に
部分的にめっきを施すようにしてもよい。
(発明の効果)
以上のように本発明に係る気密端子によれば耐食性、耐
熱気密特性に優れるという著効を奏する。
熱気密特性に優れるという著効を奏する。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多(の改変を施し得るのは
もちろんのことである。
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多(の改変を施し得るのは
もちろんのことである。
第1図は本発明に係る気密端子の実施例を示す要部の縦
断面図、第2図は一般的な気密端子の一例を示す縦断面
図、第3図は従来の気密端子の要部の縦断面図である。 第4図は他の従来の気密端子の要部を示す縦断面図であ
る。 1・・・アイレフト、 2・・・下部開口、3・・・頂
壁、 4・・・リード線、 5・・・開口、 6・・・ガラス、 6a・・・メニスカス部、 7・・・めっき、8・・
・下地めっき、 9・・・アースリード線、lO・・・
耐食めっき、 11・・・飲めつき、12・・・外装
めっき。
断面図、第2図は一般的な気密端子の一例を示す縦断面
図、第3図は従来の気密端子の要部の縦断面図である。 第4図は他の従来の気密端子の要部を示す縦断面図であ
る。 1・・・アイレフト、 2・・・下部開口、3・・・頂
壁、 4・・・リード線、 5・・・開口、 6・・・ガラス、 6a・・・メニスカス部、 7・・・めっき、8・・
・下地めっき、 9・・・アースリード線、lO・・・
耐食めっき、 11・・・飲めつき、12・・・外装
めっき。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、アイレットと、鉄を含む素材からなるリード線とを
有し、ガラスにより前記アイレットおよびリード線を気
密に封止してなる気密ガラス端子において、 前記リード線は、リード線素材上にニッケ ルめっき等の耐食めっきが施され、さらにこの耐食めっ
き上に鉄を主成分とするめっきが施され、さらにまたこ
の鉄を主成分とするめっきの酸化物が形成されて、この
酸化物との間で前記ガラスにより気密に封止されている
ことを特徴とする気密ガラス端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212421A JPS6367761A (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 気密ガラス端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61212421A JPS6367761A (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 気密ガラス端子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6367761A true JPS6367761A (ja) | 1988-03-26 |
Family
ID=16622309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61212421A Pending JPS6367761A (ja) | 1986-09-09 | 1986-09-09 | 気密ガラス端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6367761A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0824258A1 (en) * | 1996-08-09 | 1998-02-18 | Hitachi, Ltd. | Structure of electronic device |
-
1986
- 1986-09-09 JP JP61212421A patent/JPS6367761A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0824258A1 (en) * | 1996-08-09 | 1998-02-18 | Hitachi, Ltd. | Structure of electronic device |
| US6344790B1 (en) | 1996-08-09 | 2002-02-05 | Hitachi, Ltd. | Electronic device such as a thermistor and the like with improved corrosion resistance |
| CN1123014C (zh) * | 1996-08-09 | 2003-10-01 | 株式会社日立制作所 | 电子零件的构造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5709724A (en) | Process for fabricating a hermetic glass-to-metal seal | |
| US10183360B2 (en) | Hermetic sealing cap, electronic component housing package, and method for manufacturing hermetic sealing cap | |
| JPH0249021B2 (ja) | ||
| JPS6367761A (ja) | 気密ガラス端子 | |
| US3535099A (en) | Method of forming a hermetic enclosure for electronic devices | |
| JPS58168317A (ja) | 圧入型キヤツプおよびその製造方法 | |
| JP3861280B2 (ja) | 気密封止型電子部品 | |
| EP1028923A1 (en) | Process for fabricating a hermetic glass-to-metal seal | |
| JP3269664B2 (ja) | 金属部材の封着方法 | |
| KR900003843B1 (ko) | 윈도우 캡 및 그 제조방법 | |
| JPH0384885A (ja) | 気密端子の製造方法 | |
| JPS63503182A (ja) | 金属容器収納微小回路用耐蝕性ピン | |
| JPS6316581A (ja) | 気密ガラス端子 | |
| JPS5837952B2 (ja) | 気密端子の製造方法 | |
| KR830000962B1 (ko) | 기밀단자(氣密端子) | |
| JPH02144864A (ja) | 気密端子の製造方法 | |
| JPS63178466A (ja) | 気密ガラス端子 | |
| JPS6041860B2 (ja) | 気密端子の製造方法 | |
| JPS6038289Y2 (ja) | 気密端子 | |
| JPH0326623Y2 (ja) | ||
| JPS6273648A (ja) | 気密ガラス端子 | |
| JPH107441A (ja) | 金属ガラス接合体 | |
| JPS6092636A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPS62298188A (ja) | 光素子用キヤツプの製造方法 | |
| JPH10335041A (ja) | 気密端子の製造方法 |