JPS637165U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS637165U JPS637165U JP9836186U JP9836186U JPS637165U JP S637165 U JPS637165 U JP S637165U JP 9836186 U JP9836186 U JP 9836186U JP 9836186 U JP9836186 U JP 9836186U JP S637165 U JPS637165 U JP S637165U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- load
- cart
- chamber
- substrate cart
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
図面は、この考案に係る基板搬送装置の一実施
例であつて、第１図は、成膜機構部を省略して示
したロードロツク式成膜装置の基板搬送装置の水
平断面図、第２図は第１図における―断面図
、第３図は第１図における―断面図、第４図
は基板カートの正面図、第５図は基板カートの底
面図、第６図は基板カートをロード室内の案内レ
ールに支持させた状態を示す正面図、第７図は案
内レールが下降して基板カートが固定レールに支
持されている状態を示す正面図、第８図はこの考
案の他の実施例であつて、基板カートを昇降自在
の支持枠に設けたガイド付転子に転動自在に支持
させた場合の正面図である。 １……正面壁、２……入口扉、３……ロード室
、４……第１反応室、５……第２反応室、６……
後面壁、７，７′，１１，１１′……固定レール
、９……停止用窪み、１３……昇降駆動源、１５
，１５′……案内レール、１６……Ｖ字形溝、１
９……基板カート、２１……転子、２１′……ガ
イド付転子、２２……移動用転子、２３……ラツ
ク、２４……ピニオン、２５……伝達駆動部、２
６……光電スイツチ。
例であつて、第１図は、成膜機構部を省略して示
したロードロツク式成膜装置の基板搬送装置の水
平断面図、第２図は第１図における―断面図
、第３図は第１図における―断面図、第４図
は基板カートの正面図、第５図は基板カートの底
面図、第６図は基板カートをロード室内の案内レ
ールに支持させた状態を示す正面図、第７図は案
内レールが下降して基板カートが固定レールに支
持されている状態を示す正面図、第８図はこの考
案の他の実施例であつて、基板カートを昇降自在
の支持枠に設けたガイド付転子に転動自在に支持
させた場合の正面図である。 １……正面壁、２……入口扉、３……ロード室
、４……第１反応室、５……第２反応室、６……
後面壁、７，７′，１１，１１′……固定レール
、９……停止用窪み、１３……昇降駆動源、１５
，１５′……案内レール、１６……Ｖ字形溝、１
９……基板カート、２１……転子、２１′……ガ
イド付転子、２２……移動用転子、２３……ラツ
ク、２４……ピニオン、２５……伝達駆動部、２
６……光電スイツチ。
Claims (1)
- ロード室と仕切弁を介して並設された複数の反
応室の各内部に、同一水平面内で共通する直線上
にそれぞれ敷設された各固定レールと、基板を載
置し、前記固定レールに移動自在に支持される基
板カートと、この基板カートを各固定レールに沿
つて前記ロード室と前記反応室との間を往復移動
させる移動手段とを備えてなるロードロツク式成
膜装置の基板搬送装置において、前記ロード室内
部に、前記固定レールと直交する方向に前記基板
カートを支持して案内する基板カート案内手段と
、この基板カート案内手段を昇降させる昇降手段
と、前記基板カート案内手段及び前記ロード室に
敷設された固定レール相互間での基板カートの受
渡し位置を規制する位置決め手段とを設けたこと
を特徴とするロードロツク式成膜装置の基板搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9836186U JPS637165U (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9836186U JPS637165U (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS637165U true JPS637165U (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=30966225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9836186U Pending JPS637165U (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS637165U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02106456U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 |
-
1986
- 1986-06-25 JP JP9836186U patent/JPS637165U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02106456U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 |
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