JPS6379633U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6379633U JPS6379633U JP17256886U JP17256886U JPS6379633U JP S6379633 U JPS6379633 U JP S6379633U JP 17256886 U JP17256886 U JP 17256886U JP 17256886 U JP17256886 U JP 17256886U JP S6379633 U JPS6379633 U JP S6379633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solution
- substrate
- holder
- layer
- slide boat
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図ａ〜ｄはこの考案によるスライドボート
を用いた溶相成長法の説明図、第２図は従来のス
ライドボートを用いた液相成長法の説明図、第３
図は従来のメルトバツク発生状態図である。 １……ＩｎＰ基板、２……基板ホルダ、３……
溶液ホルダ、４〜６……溶液溜、１１……第１層
、１２……第２層（アンチメルトバツク層）、１
３……第３層、〜……溶液。
を用いた溶相成長法の説明図、第２図は従来のス
ライドボートを用いた液相成長法の説明図、第３
図は従来のメルトバツク発生状態図である。 １……ＩｎＰ基板、２……基板ホルダ、３……
溶液ホルダ、４〜６……溶液溜、１１……第１層
、１２……第２層（アンチメルトバツク層）、１
３……第３層、〜……溶液。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板を保持する基板ホルダと、 基板上に各層を液相成長させるための各溶液を
順次収容する各溶液溜を有する溶液ホルダを備え
、 各溶液溜が順次基板上に位置するように基板ホ
ルダと溶液ホルダを相対的に動かすようにしたス
ライドボートにおいて、 メルトバツクされ易い層を形成するための溶液
を収容した溶液溜の底面積を、 メルトバツクされ易い層の上部に形成されるア
ンチメルトバツク層のための溶液を収容した溶液
溜の底面積より小さくした ことを特徴とするスライドボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17256886U JPS6379633U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17256886U JPS6379633U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6379633U true JPS6379633U (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=31109227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17256886U Pending JPS6379633U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6379633U (ja) |
-
1986
- 1986-11-12 JP JP17256886U patent/JPS6379633U/ja active Pending
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