JPS638145A

JPS638145A - ハンドラ

Info

Publication number: JPS638145A
Application number: JP14954986A
Authority: JP
Inventors: Toshikazu Oshino; 押野　利和; Isao Yokomizo; 横溝　勲; Minoru Hatakeyama; 稔畠山
Original assignee: Hitachi Ltd; Akita Electronics Co Ltd; Kokusai Electric Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Akita Electronics Systems Co Ltd; Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1986-06-27
Filing date: 1986-06-27
Publication date: 1988-01-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はワークの方向変換機能を有するハンドラに関す
るものである。

〔従来の技術〕

半導体装置用のハンドラは、ワークである半導体装置を
ローダにセットした状態で搬送を行い、加熱部、測定部
９分類部を経てアンローダに収納するように構成してい
る。そして、このハンドラにおけるワークの搬送に際し
ては通常ワークをレール等に沿って移動させる方式が採
られており、このためワークは常に一定の方向に向けら
れて搬送されるようになっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この種のハンドラにおいて、特に分類部で分類したワー
クをアンローダで種類別に収納する場合、ワークの搬送
方向と直角方向にワークを収納した方が好ましい場合が
存在する。このような場合には、ワークの水平方向の向
きを９０度変換する必要があるが、従来のハンドラには
このような方向変換機構が設けられておらず、したがっ
てこれを実現することは困難である。

また、このようなワークの方向変換は、前述したアンロ
ーダにおける９０度の角度に限らず種々の部位でしかも
種々の角度で要求されることがあるが、従来のハンドラ
ではこれを満足させることは困難である。

なお、従来ドロンプ式ハンドラでは、ワークを上下に反
転させる機構は有しているが、これではワークを水平方
向に方向変換することは不可能である。

本発明の目的は、簡易な構成でワークを水平方向に方向
変換可能な機構を備えるハンドラを提供することにある
。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、ワークを搬送する搬送シュートの一部を構成
して水平方向に回転可能な回転シュートと、この回転シ
ュートに設けてワークの受け入れ可能な溝を開閉するス
トップレバーと、このストップレバーを開閉制御する開
アーム及び開レバーとを備えるものである。

〔作用〕

上記した手段によれば、搬送シュートを搬送されるワー
クを移載機構の作用によって回転シュートへ移載でき、
この回転シュートの回転によって水平方向の方向を変換
し、その上で回転シュートから搬送シュートへ移載して
所定の水平方向での搬送や収納を実現することができる
。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例のハンドラの全体構成を示す
概略斜視図である。図示のように、ハンドラ１はワーク
としての半導体装置をセットするローダ部２と、プリヒ
ート部３と、測定部４と、分類部５及びアンローダ部６
とを備え、半導体装置を測定した結果に基づいてこれを
分類し、種類毎にアンローダ部６の各マガジンに収納す
るようになっている。そして、この実施例では前記ロー
ダ部２とプリヒート部３との間に方向変換部７を配設し
、半導体装置りを水平方向に１８０度回軸回転プリヒー
ト処理を行うように構成している。

前記方向変換部７は、第２図に示すようにローダ部２か
ら続くように一方向に傾斜配置した直線状の搬送シュー
ト８と、プリヒート部３に続くように同様に一方向に傾
斜配置した直線状の搬送シュート９との間に配設した回
転シュート１０を備えている。この回転シュート１０の
円周方向１８０度の位置には、半導体装置りを受け入れ
可能な溝１１ａ、ｌｌｂを径方向に形成し、これら溝１
１ａ、ｌｌｂの各端位置には一対のストップレバー１２
．１３を回転シュー）１０の回転中心位置に対して対象
に配置している。前記回転シュート１０の回転軸２１に
は歯車２２を固定し、これと平行に配設した遊軸２３に
固定した駆動歯車２４に噛合させている。この駆動歯車
２４にはプランジャ２５のロッド２５ａをリンク結合し
てベルクランク機構を構成し、ロッド２４ａの往復動作
によって駆動歯車２３を往復回動ないし一低方向回動さ
せ、歯車２１を介して回転シュート１０を回転させるよ
うになっている。

前記ストップレバー１２．１３は支軸１２ａ。

１３ａを軸として上下方向に揺動でき、鉤状に曲設した
各先端１２ｂ、１３ｂは前記溝１１ａ、１１ｂに夫々位
置している。そして、各基端１２Ｃ２１３ｃと回転シュ
ート１０との間に介挿した圧縮ばね１４，１５によって
前記各先端１２ｂ、１３ｂは前記溝１１ａ、Ｉｌｂを夫
々閉塞する方向に揺動習性が付与されている。

また、前記回転シュート１０の上流側の搬送シュート８
に近い側の上方位置には先端にコロ１６を設けた開アー
ム１７を配設し、この直下位置に回転位置された前記ス
トップレバー１２．１３の基端１２ｃ、１３ｃに係合し
てストップレバーを圧縮ばね１４，１５に逆らって揺動
させ、各先端１２ｂ、１３ｂを上方に移動させて溝１１
ａ、１１ｂを開かせるように構成している。

更に、前記回転シュート１０の下流側搬送シュート９に
近い側の上方位置には開レバー１８を配設している。こ
の開レバー１８は支軸１８ａを軸に上下方向に揺動でき
、その基端１８Ｃに係合配置したプランジャ１９を突出
動作させて開レバー１８を引っ張りばね２０の習性力に
逆らって揺動させることにより、先端１８ｂはこの直下
位置に回転位置された前記ストップレバ−１２，１３の
いずれかの基端１２ｃ、１３ｃを下方に押し下げ、各先
端１２ｂ、１３ｂを上方に移動させて溝１１ａ、ｌｌｂ
を開かせるように構成している。

なお、前記プランジャ１９及び２４は図外の制御部によ
ってシーケンス動作されるように構成している。

以上の構成によれば、第２図のように回転シュート１０
が位置している状態では、ストップレバー１２の基端１
２Ｃが開アーム１７のコロ１６に当接して先端１２ｂを
上動し、溝１　］、　ａを開いている。このため、搬送
シュート８から落下されてきた半導体装置りは溝１１ａ
内に入り回転シュート１０に移載される。その後、プラ
ンジャ２５がロッド２５ａを動作させて駆動歯車２４を
回転させ、歯車２２を介して回転軸２１を回転させる。

これにより回転シュート１０は図示の状態から１８０度
回転された状態となる。

すると、ストップレバー１２は開アーム１７との保合が
解除されて先端１２ｂが下動して溝１１ａを閉塞し溝１
１ａからの半導体装置りの落下を防止する。逆に、今度
はストップレバー１３が上流側搬送シュート８に対向す
る位置に移動されて開レバー１７に係合し、先端１３ｂ
を上動して溝１１ｂを開放し、次の半導体装置を受け入
れることができる。

一方、搬送シュート９側に移動されたストップレバー１
２に対して、プランジャ１９が動作して開レバー１８を
ばね２０力に抗して先端１８ｂを下方に動作させ、これ
でストップレバー１２の基端１２ｃを下方に押し下げる
。これにより、ストップレバー１２の先端１２ｂは溝１
１ａを開き、溝内の半導体装置りを１８０度水平回動さ
せた状態で搬送シュート９に移載することになる。

以下、この作用を繰り返すことにより搬送シュート８か
ら送られてくる半導体装置りを順次方向を変換して搬送
シュート９に送り出すことが可能となる。

この実施例では次のような効果を得ることかできる。

（１）！送シュート８，９の途中に水平回動する回転シ
ュート１０を配設し、搬送する半導体装置をこの回転シ
ュート１０に移載した状態で水平回動させているので、
半導体装置の水平方向を１８０度変換することができる
。

（２）搬送シュート８．９と回転シュート１０との間の
半導体装置の受け渡しは、各シュートを傾斜配置してい
るために自重を利用することができ、かつストップレバ
ー１２．１３を開アーム１７や開レバー１８によって動
作させ、かつこれとともに回転シュート１０の回転動作
をシーケンス的に動作させることにより、半導体装置の
搬送を略連続的に行うことができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、搬送シュート
８．９に相当する固定側のシュートの角度を９０度に設
定し、かつ回転シュート１０の回転角度を９０度に設定
すれば、半導体装置を９０度水平方向を変換した状態で
搬送を行うことができる。また、回転シュート上のスト
ップレバーや開アームや開レバー等の移載機構は均等な
構成に適宜変更することができる。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である自重落下方式のハン
ドラに適用した場合について説明したが、それに限定さ
れるものではなく、たとえば送り機構を備えるハンドラ
にも同様に適用できる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。すなわち、ワークを搬送する搬送シュートの一部を
構成して水平方向に回転可能な回転シュートと、この回
転シュートに設けてワークの受け入れ可能な溝を開閉す
るストップレバーと、このストップレバーを開閉制御す
る開アーム及び開レバーとを備え、搬送シュートを搬送
されるワークを開アームや開レバーによって動作される
ストップレバーの作用によって回転シュートへ移載でき
、この回転シュートの回転によって水平方向の方向を変
換し、その上で回転シュートから搬送シュートへ移載し
て所定の水平方向での搬送や収納を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す概略斜視図
、第２図は要部の一部分解斜視図である。１・・・ハンドラ、２・・・ローダ部、３・・・プリヒ
ート部、４・・・測定部、５・・・分類部、６・・・ア
ンローダ部、７・・・方向変換部、８．９・・・搬送シ
ュート、１０・・・回転シュート、ｌｌａ、ｌｌｂ・・
・溝、１２．１３・・・ストップレバー、１４．１５・
・・圧縮ばね、１６・・・ローラ、１７・・・開アーム
、１８・・・開レバー、１９・・・プランジャ、２０・
・・引っ張りばね、２１・・・回転軸、２２・・・歯車
、２３・・・遊軸、２４・・・駆動軸、２５・・・プラ
ンジャ。第　　１　　図ｒ７ニローク・せ百第　　２　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、ワークを搬送する搬送シュートの一部にワークを水
平方向に方向変換する方向変換部を備えるハンドラであ
って、前記方向変換部は、ワークを搬送する搬送シュー
トの一部を構成して水平方向に回転可能な回転シュート
と、この回転シュートに設けてワークの受け入れ可能な
溝を開閉するストップレバーと、このストップレバーを
開閉制御する開アーム及び開レバーとを備えることを特
徴とするハンドラ。２、ストップレバーは回転シュートの回転に伴って上流
側及び下流側の各搬送シュートに対応位置され、上流側
の搬送シュートに対応位置したときに開アームによって
溝を開放し、下流側の搬送シュートに対応位置したとき
に開レバーによって溝を開放する特許請求の範囲第１項
記載のハンドラ。３、開アームはストップレバーを常時開放させ、開レバ
ーは制御部によって動作されたときにのみストップレバ
ーを開放させる特許請求の範囲第２項記載のハンドラ。