JPS6383409A - チユ−ブレスシリンダ− - Google Patents
チユ−ブレスシリンダ−Info
- Publication number
- JPS6383409A JPS6383409A JP22655486A JP22655486A JPS6383409A JP S6383409 A JPS6383409 A JP S6383409A JP 22655486 A JP22655486 A JP 22655486A JP 22655486 A JP22655486 A JP 22655486A JP S6383409 A JPS6383409 A JP S6383409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- rod
- cylinder
- cover
- driven body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３−１．産業上の利用分野
この発明はピストン形シリンダーに関するものである。
３−２ 従来の技術
今までのピストン形空気圧シリンダーは、図２に示すよ
うに、シリンダーチューブが有り、その中をピストンが
空気圧によって移動しピストンロッドを移動させるか、
図３、４に示すようにシリンダーチューブが有り、外側
に有る可動子を磁力又はヨークによって移動させるもの
で、いづれもピストンがシリンダーチューブの内面を摺
動する所に共通の特徴を有し、その構造を持つが故に欠
点として次のことがあげられる 欠点 （ａ） 図２のタイプの場合ピストンロッドとロッドカ
バー及びピストンとシリンダーチューブとの間に隙間が
あるために、ピストンロッドにラジアル荷重を受けると
、シリンダーチューブ及びロッドカバーの内面に傷を付
けてしまいピストンロッドの自重程度のラジアル荷重し
かうけられず、ラジアル荷重の吸収と先端のブレの吸収
のために、被駆動体側にガイドが必要となる。
うに、シリンダーチューブが有り、その中をピストンが
空気圧によって移動しピストンロッドを移動させるか、
図３、４に示すようにシリンダーチューブが有り、外側
に有る可動子を磁力又はヨークによって移動させるもの
で、いづれもピストンがシリンダーチューブの内面を摺
動する所に共通の特徴を有し、その構造を持つが故に欠
点として次のことがあげられる 欠点 （ａ） 図２のタイプの場合ピストンロッドとロッドカ
バー及びピストンとシリンダーチューブとの間に隙間が
あるために、ピストンロッドにラジアル荷重を受けると
、シリンダーチューブ及びロッドカバーの内面に傷を付
けてしまいピストンロッドの自重程度のラジアル荷重し
かうけられず、ラジアル荷重の吸収と先端のブレの吸収
のために、被駆動体側にガイドが必要となる。
（ｂ） 取付スペースが小さくできる図３、図４に示す
ようなロッドレスシリンダーと呼ばれるものがあるが、
図３のタイプでは磁力で力を伝えるために、可動子とピ
ストンがスベルことが有り、又磁力の影きょうを考えて
、使用場所や使用そのものが限定されている。
ようなロッドレスシリンダーと呼ばれるものがあるが、
図３のタイプでは磁力で力を伝えるために、可動子とピ
ストンがスベルことが有り、又磁力の影きょうを考えて
、使用場所や使用そのものが限定されている。
図４のタイプでは、ピストンやヨークや可動子がシール
バンドをこすっていくために、抵抗が大きく又、ゴミの
付着によるエヤー漏れがある。長さが短く磁力を使わず
エヤー漏れのない、出力の大きなピストン形空気圧シリ
ンダーが望まれている。
バンドをこすっていくために、抵抗が大きく又、ゴミの
付着によるエヤー漏れがある。長さが短く磁力を使わず
エヤー漏れのない、出力の大きなピストン形空気圧シリ
ンダーが望まれている。
（ｃ） 半導体製造のための環境という観点から見た場
合、シリンダーチューブからのエヤー漏れは大きなマイ
ナス要因であり、シリンダー駆動用エヤーとクリーンル
ーム内エヤーとの接触はさけなければならない。
合、シリンダーチューブからのエヤー漏れは大きなマイ
ナス要因であり、シリンダー駆動用エヤーとクリーンル
ーム内エヤーとの接触はさけなければならない。
４．欠点を解決するための手段
図１に元づいて説明すると
（ａ）パッキン（７）及び軸受（６）を有するピストン
（１）の中にロッド（２）を通し、ロッド（２）の両端
にロッドカバー（３ａ）（３ｂ）をボルト（９）にて固
定し、更にロッドカバー（３ａ）（３ｂ）とピストン（
１）の両側とに、伸縮性、耐圧性を有するカバー（５）
を装着し、シール性の保持及びカバー（５）の抜け止め
のためにも挿入されたガスケット（４）とを間にしてリ
ング（８）で固定する。
（１）の中にロッド（２）を通し、ロッド（２）の両端
にロッドカバー（３ａ）（３ｂ）をボルト（９）にて固
定し、更にロッドカバー（３ａ）（３ｂ）とピストン（
１）の両側とに、伸縮性、耐圧性を有するカバー（５）
を装着し、シール性の保持及びカバー（５）の抜け止め
のためにも挿入されたガスケット（４）とを間にしてリ
ング（８）で固定する。
（ｂ）ロッドカバー（３ａ）（３ｂ）より交互に入排気
して、ピストン（１）を動かし、被駆動体（１０）を駆
動するものである。
して、ピストン（１）を動かし、被駆動体（１０）を駆
動するものである。
このようにピストン（１）の往復運動の案内摺動面とな
る、シリンダーチューブがなく、ピストン（１）が、ロ
ッド（２）を往復運動の案内にして動く構造にすれば欠
点が解決できる。
る、シリンダーチューブがなく、ピストン（１）が、ロ
ッド（２）を往復運動の案内にして動く構造にすれば欠
点が解決できる。
まず、ロッド（２）とロッドカバー（３ａ）（３ｂ）は
摺動しないのでエヤー漏れの問題は発生しない。
摺動しないのでエヤー漏れの問題は発生しない。
次にロッド（２）や軸受（６）の製造メーカーの数も多
く、精度の高くて安価なものが簡単に入手できるし、又
自社製作も容易なことから、これを使用することによっ
て、ピストン（１）とロッド（２）のブレは数ミクロン
程度になり、軸受（６）の容量に合せた大きなラジアル
荷重が受けられるし、又ロッド（２）を２本以上にする
か、ロッド（２）と軸受（６）に凹凸を付ければ被駆動
体（１０）側の廻り止めが不要となる。
く、精度の高くて安価なものが簡単に入手できるし、又
自社製作も容易なことから、これを使用することによっ
て、ピストン（１）とロッド（２）のブレは数ミクロン
程度になり、軸受（６）の容量に合せた大きなラジアル
荷重が受けられるし、又ロッド（２）を２本以上にする
か、ロッド（２）と軸受（６）に凹凸を付ければ被駆動
体（１０）側の廻り止めが不要となる。
更にピストン（１）が直接に被駆動体（１０）を動かす
ために、取付スペースが小さくできる。
ために、取付スペースが小さくできる。
最後に図５に示すような軸受を使用すれば、カーブ軌動
を持つピストン形空気圧シリンダーを簡単に造ることが
できる。
を持つピストン形空気圧シリンダーを簡単に造ることが
できる。
以上のように本発明を利用したピストン形空気圧シリン
ダーを使用することにより、設備、装置を小型、安価に
することができ、ピストン形エヤーシリンダーの利用範
囲を一段と拡げることができる。
ダーを使用することにより、設備、装置を小型、安価に
することができ、ピストン形エヤーシリンダーの利用範
囲を一段と拡げることができる。
付記 言うまでもなく理解しやすくするために空気圧シ
リンダーを上げて説明したが、流体の種類にかかわらず
ピストン形シリンダーに適用できる発明である。
リンダーを上げて説明したが、流体の種類にかかわらず
ピストン形シリンダーに適用できる発明である。
図１は本発明の正面断面図
図２、図３、図４は従来のピストン形空気圧シリンダー
縦断面図 図５は本発明のカーブ軌道を持つピストン形シリンダー
の軸受部説明図 （１）はピストン （２）はロッド （３ａ）はロッドカバー （３ｂ）はロッドカバー（４
）はガスケット （５）は伸縮性耐圧性カバー（６）は
軸受 （７）はパッキン （８）はリング （９）はボルト （１０）は被駆動体
縦断面図 図５は本発明のカーブ軌道を持つピストン形シリンダー
の軸受部説明図 （１）はピストン （２）はロッド （３ａ）はロッドカバー （３ｂ）はロッドカバー（４
）はガスケット （５）は伸縮性耐圧性カバー（６）は
軸受 （７）はパッキン （８）はリング （９）はボルト （１０）は被駆動体
Claims (1)
- ピストン（１）がロッド（２）を往復運動の案内にして
動くピストン形シリンダー
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22655486A JPS6383409A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | チユ−ブレスシリンダ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22655486A JPS6383409A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | チユ−ブレスシリンダ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6383409A true JPS6383409A (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=16846977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22655486A Pending JPS6383409A (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | チユ−ブレスシリンダ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6383409A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04210104A (ja) * | 1990-12-11 | 1992-07-31 | Aiwa Sangyo Kk | エヤシリンダ |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP22655486A patent/JPS6383409A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04210104A (ja) * | 1990-12-11 | 1992-07-31 | Aiwa Sangyo Kk | エヤシリンダ |
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