JPS6390707A - 実装基板検査装置 - Google Patents
実装基板検査装置Info
- Publication number
- JPS6390707A JPS6390707A JP61236499A JP23649986A JPS6390707A JP S6390707 A JPS6390707 A JP S6390707A JP 61236499 A JP61236499 A JP 61236499A JP 23649986 A JP23649986 A JP 23649986A JP S6390707 A JPS6390707 A JP S6390707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- land
- board
- image
- component
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、実装基板上に部品が正しくマウントされてい
るかどうかを検査する実装基板検査装置に関する。
るかどうかを検査する実装基板検査装置に関する。
(従来の技術)
マウンタ等を用いて作成された実装基板を検査する実装
基板検査装置としては、従来、第12図に示すものが知
られている。
基板検査装置としては、従来、第12図に示すものが知
られている。
この図に示す実装基板検査装置は、部品1aが実装され
た被検査プリント基板2bや検査基準となる基準プリン
ト基板2aをlff11g+するTVカメラ3と、この
TVカメラ3によって得られた前記基準プリント基板2
aの画像(基準画像)を記憶する記憶部4と、この記憶
部4に記憶されている基準画像と前記TVカメラ3から
供給される前記被検査プリント基板2bの画像(被検査
画像〉とを比較して前記被検査プリント基板2b上に部
品1bが全て有るかどうか、またこれらの部品1bが位
置ずれ等を起こしていないかどうかを判定する判定回路
5と、この判定回路5の判定結果を表示する表示器6と
を備えて構成されている。
た被検査プリント基板2bや検査基準となる基準プリン
ト基板2aをlff11g+するTVカメラ3と、この
TVカメラ3によって得られた前記基準プリント基板2
aの画像(基準画像)を記憶する記憶部4と、この記憶
部4に記憶されている基準画像と前記TVカメラ3から
供給される前記被検査プリント基板2bの画像(被検査
画像〉とを比較して前記被検査プリント基板2b上に部
品1bが全て有るかどうか、またこれらの部品1bが位
置ずれ等を起こしていないかどうかを判定する判定回路
5と、この判定回路5の判定結果を表示する表示器6と
を備えて構成されている。
(発明が解決しようとする問題点)
ところでこのような従来の実装基板検査装置は、基準実
装基板2a上にある部品1aの位置と、被検査プリント
基板2b上にある部品1bの位置とを単純に比較し、こ
れらの位置がずれているとぎに、マウント不良と判定す
るようにしていたので、第13図に示す如く、被検査プ
リン1一基板2b上にある部品1bが正規の位置7(基
準実装基板2aの部品1aによって示される部品位置)
からずれているとき、この部品1bの電極とランドとが
電気的に接続し得る範囲内にあっても、マウント不良と
判定してしまう。
装基板2a上にある部品1aの位置と、被検査プリント
基板2b上にある部品1bの位置とを単純に比較し、こ
れらの位置がずれているとぎに、マウント不良と判定す
るようにしていたので、第13図に示す如く、被検査プ
リン1一基板2b上にある部品1bが正規の位置7(基
準実装基板2aの部品1aによって示される部品位置)
からずれているとき、この部品1bの電極とランドとが
電気的に接続し得る範囲内にあっても、マウント不良と
判定してしまう。
そこで、部品1bの正規の位置に基づいて、許容できる
範囲(許容範囲)8を決め、この許容範囲8に入ってい
れば、正常にマウントされていると判定するようにする
ことも考えられるが、この場合、これら各実装基板2a
、2b上にマウントされている部品−つ一つに対して、
個別に許容範囲8を設定すると、この許容範囲8に関す
るデータを入力するだけでも、大変な手間と、労力とが
必要になる。
範囲(許容範囲)8を決め、この許容範囲8に入ってい
れば、正常にマウントされていると判定するようにする
ことも考えられるが、この場合、これら各実装基板2a
、2b上にマウントされている部品−つ一つに対して、
個別に許容範囲8を設定すると、この許容範囲8に関す
るデータを入力するだけでも、大変な手間と、労力とが
必要になる。
またこのような実装基板では、同一のパターンマスクを
用いても、基板上に形成されるパターンが各基板毎に少
しずつ異なるので、実II板2a上のランド9に部品1
bが正しく載っていても、このランド9が基準実装基板
2aのランド位置と異なっている場合、つまり第14図
に示す如く基準実装基板28に:基づいて入力されたラ
ンド位置9a、部品位置10aと、被検査実装基板2b
を111i像して得られたランド位置9b、部品位置1
0bとがずれている場合、ランド位置9bに対する部品
位aiobが正しい関係にあっても、この部品1bに対
してマウント不良と判定してしまう。
用いても、基板上に形成されるパターンが各基板毎に少
しずつ異なるので、実II板2a上のランド9に部品1
bが正しく載っていても、このランド9が基準実装基板
2aのランド位置と異なっている場合、つまり第14図
に示す如く基準実装基板28に:基づいて入力されたラ
ンド位置9a、部品位置10aと、被検査実装基板2b
を111i像して得られたランド位置9b、部品位置1
0bとがずれている場合、ランド位置9bに対する部品
位aiobが正しい関係にあっても、この部品1bに対
してマウント不良と判定してしまう。
本発明は上記問題点に鑑み、各部品に対して最適な位置
ずれ許容量を自動釣に設定することができるとともに、
被検査実装基板のランドが基板毎に異なっていても、ラ
ンド上の許容できる範囲内に部品がマウントされていれ
ば、マウント良好と判定することができ、これによって
基板の加工誤差に起因する誤判定を防止することができ
、また被検査実装基板上に形成された部品によって隠さ
れた部分の形状等をも知ることができる実装基板検査装
置を提供することを目的としている。
ずれ許容量を自動釣に設定することができるとともに、
被検査実装基板のランドが基板毎に異なっていても、ラ
ンド上の許容できる範囲内に部品がマウントされていれ
ば、マウント良好と判定することができ、これによって
基板の加工誤差に起因する誤判定を防止することができ
、また被検査実装基板上に形成された部品によって隠さ
れた部分の形状等をも知ることができる実装基板検査装
置を提供することを目的としている。
(問題点を解決するための手段)
上記の問題点を解決するために本発明による実装基板検
査装置は、撮像部によって得られた未実装基板画像およ
び実装基板画像からランドを抽出するランド抽出部と、
このランド抽出部によって得られた未実装基板のランド
形状と実装基板のランド形状とに基づいて実装基板上の
部品とランドとの位置関係を抽出する位置関係抽出部と
、この位置関係抽出部によって得られた位置関係から前
記部品のマウント状態を判定する判定部とを備えたこと
を特徴としている。
査装置は、撮像部によって得られた未実装基板画像およ
び実装基板画像からランドを抽出するランド抽出部と、
このランド抽出部によって得られた未実装基板のランド
形状と実装基板のランド形状とに基づいて実装基板上の
部品とランドとの位置関係を抽出する位置関係抽出部と
、この位置関係抽出部によって得られた位置関係から前
記部品のマウント状態を判定する判定部とを備えたこと
を特徴としている。
(実施例)
第1図(A)は本発明による実装基板検査装置の一実施
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
この図に示ず実装基板検査装置は、X−Yテーブル部2
0と、照明部21と、搬像部22と、処理部23とを備
えており、第1図(B)に示すように未実装基板25を
搬像して得られたランド28bからランドの存在可能領
域(この領域は、ランド28bよりも広い)をn出し、
この存在可能領域を用いて、第1図<C)に示すように
被検査実装基板26を搬像して得られた画像からランド
28cが存在している部分を切り出して、この切り出し
た部分にあるランド28cを抽出する。そして、これら
ランド28b、28cの形状を比較して、被検査実装基
板26上にあるランド28Gの、部品27cによって隠
された部分を求め、この隠された部分の情報からランド
28cと、部品27Cとの位置13Q係を求め、この部
品27cが正しくマウントされているかどうかを判定す
る。
0と、照明部21と、搬像部22と、処理部23とを備
えており、第1図(B)に示すように未実装基板25を
搬像して得られたランド28bからランドの存在可能領
域(この領域は、ランド28bよりも広い)をn出し、
この存在可能領域を用いて、第1図<C)に示すように
被検査実装基板26を搬像して得られた画像からランド
28cが存在している部分を切り出して、この切り出し
た部分にあるランド28cを抽出する。そして、これら
ランド28b、28cの形状を比較して、被検査実装基
板26上にあるランド28Gの、部品27cによって隠
された部分を求め、この隠された部分の情報からランド
28cと、部品27Cとの位置13Q係を求め、この部
品27cが正しくマウントされているかどうかを判定す
る。
照明部21は、前記処理部23からの制御信号に基づい
てオン/オフ制御(または、調光制御I)されるリング
状の白色光11119を備えており、前記処理部23か
ら照明オン信号を供給されたときに点灯して、前記処理
部23から照明オフ信号を供給されるまで前記X−Yテ
ーブル部20の上面側を照明する。
てオン/オフ制御(または、調光制御I)されるリング
状の白色光11119を備えており、前記処理部23か
ら照明オン信号を供給されたときに点灯して、前記処理
部23から照明オフ信号を供給されるまで前記X−Yテ
ーブル部20の上面側を照明する。
X−Yテーブル部20は、前記処理部23からの制御悟
りに基づいて動作するパルスモータ31a、31bと、
これら各パルスモータ31a、31bによってX軸方向
およびY軸方向に駆動されるX−Yテーブル32と、こ
のX−Yテーブル32上に設けられ、このX−Yテーブ
ル32上に各基板24〜26が載せられたとき、前記処
理部23が出力する制御信号に応じて前記各基板24〜
26をX−Yテーブル32上に固定するチャック機構3
3とを備えており、このチャック機構33によって固定
された前記各基板24〜26は照明部21によって照明
されながら撮像部22によって搬像される。
りに基づいて動作するパルスモータ31a、31bと、
これら各パルスモータ31a、31bによってX軸方向
およびY軸方向に駆動されるX−Yテーブル32と、こ
のX−Yテーブル32上に設けられ、このX−Yテーブ
ル32上に各基板24〜26が載せられたとき、前記処
理部23が出力する制御信号に応じて前記各基板24〜
26をX−Yテーブル32上に固定するチャック機構3
3とを備えており、このチャック機構33によって固定
された前記各基板24〜26は照明部21によって照明
されながら撮像部22によって搬像される。
搬像部22は、前記照明部21の上方に設けられるカラ
ーTVカメラ34を備えており、前記各基板24〜26
の光学像は、このhラーTVカメラ34によって電気画
像(R,G、Bカラー信号)に変換されて処理部23に
供給される。
ーTVカメラ34を備えており、前記各基板24〜26
の光学像は、このhラーTVカメラ34によって電気画
像(R,G、Bカラー信号)に変換されて処理部23に
供給される。
処理部23は、A/D変換部36と、メモリ37と、テ
ィーチングテーブル38と、画像処理部3つと、X−Y
ステージコントローラ41と、搬像コントローラ42と
、CR7表示器43と、プリンタ44と、キーボード4
5と、制御部(CPU)46とを備えており、ティーチ
ング時においては、前記Wi像部22から供給される各
基板24.25のR,G、Bカラー信号を処理して、被
検査実WIA基板26を検査するときの検査データファ
イルを作成する。そして、検査時においては、前記検査
データファイルに基づいて前記搬像部22から供給され
る被検査実装基板26のR,G、8力ラー信号を処理し
、この被検査実装基板26上に形成されているランド2
8Cと、部品27cとの相対的な位置が許容される範囲
内にあるかどうかを判定して、この判定結果を表示する
。
ィーチングテーブル38と、画像処理部3つと、X−Y
ステージコントローラ41と、搬像コントローラ42と
、CR7表示器43と、プリンタ44と、キーボード4
5と、制御部(CPU)46とを備えており、ティーチ
ング時においては、前記Wi像部22から供給される各
基板24.25のR,G、Bカラー信号を処理して、被
検査実WIA基板26を検査するときの検査データファ
イルを作成する。そして、検査時においては、前記検査
データファイルに基づいて前記搬像部22から供給され
る被検査実装基板26のR,G、8力ラー信号を処理し
、この被検査実装基板26上に形成されているランド2
8Cと、部品27cとの相対的な位置が許容される範囲
内にあるかどうかを判定して、この判定結果を表示する
。
A/D変換部36は、前記1lii(61部22から画
像信号(R,G、Bカラー信号)を供給されたときに、
これをA/D変換(アナログ・デジタル変換)してカラ
ーの画像データを作成し、これをt、II 111部4
6へ供給する。
像信号(R,G、Bカラー信号)を供給されたときに、
これをA/D変換(アナログ・デジタル変換)してカラ
ーの画像データを作成し、これをt、II 111部4
6へ供給する。
またメモリ37は、RAM (ランダム・アクセス・メ
モリ)等を備えて構成されており、前記制御部46の作
業エリアとして使われる。
モリ)等を備えて構成されており、前記制御部46の作
業エリアとして使われる。
また画像処理部3つは、前記制御部46を介して画像デ
ータを供給されたとき、この画像データを2値化して部
品の位置、形状データを抽出したり、前記画像データか
ら必要な画像を切り出したり、この切り出した画像を色
相明度変換したり、この色相明度変換結果を予め決め、
られたシキイ値で2値化して、ランドパターンの位置、
形状等を抽出したりするように構成されており、ここで
得られた各データは前記制御部46に供給される。
ータを供給されたとき、この画像データを2値化して部
品の位置、形状データを抽出したり、前記画像データか
ら必要な画像を切り出したり、この切り出した画像を色
相明度変換したり、この色相明度変換結果を予め決め、
られたシキイ値で2値化して、ランドパターンの位置、
形状等を抽出したりするように構成されており、ここで
得られた各データは前記制御部46に供給される。
またティーチングテーブル38は、フロッピーディスク
装置等を備えており、前記制御部46から検査データフ
ァイル等を供給されたときに、これを記憶し、前記制御
部46から転送要求が出力したとき、この要求に応じて
検査データファイル等を読み出して、これを前記制御部
46に供給する。
装置等を備えており、前記制御部46から検査データフ
ァイル等を供給されたときに、これを記憶し、前記制御
部46から転送要求が出力したとき、この要求に応じて
検査データファイル等を読み出して、これを前記制御部
46に供給する。
搬像コントローラ42は、前記制御部46と、前記照明
部21や撮像部22とを接続するインターフェース等を
尚えてJ3す、前記制御部46の出力に基づいて前記照
明部21や搬像it 22を制御する。
部21や撮像部22とを接続するインターフェース等を
尚えてJ3す、前記制御部46の出力に基づいて前記照
明部21や搬像it 22を制御する。
またX−Yステージコントローラ41は、前記υ1t1
1部46と、前記X−Yテーブル部20とを接続するイ
ンターフェース等を備えており、前記制御部46の出力
に基づいて前記X−Yテーブル部20をilJ III
する。
1部46と、前記X−Yテーブル部20とを接続するイ
ンターフェース等を備えており、前記制御部46の出力
に基づいて前記X−Yテーブル部20をilJ III
する。
またCR7表示器43は、ブラウン管(CRT)等を備
えており、前記制御部46から画像データ、判定結果、
キー人力データ等を供給されたとき、これを画面上に表
示させる。
えており、前記制御部46から画像データ、判定結果、
キー人力データ等を供給されたとき、これを画面上に表
示させる。
またプリンタ44は、前記制御部46から判定結果等を
供給されたとき、これを予め決められた書式(フォーマ
ット)でプリントアウトする。
供給されたとき、これを予め決められた書式(フォーマ
ット)でプリントアウトする。
またキーボード45は、操作情報や前記被検査実装基板
26の名称、基板サイズ等に関するデータ、この被検査
実装基板26上にある部品27cの関するデータなどを
入力するのに必要な各種キーを備えており、このキーボ
ード45から入力された情報やデータ等は制御部46に
供給される。
26の名称、基板サイズ等に関するデータ、この被検査
実装基板26上にある部品27cの関するデータなどを
入力するのに必要な各種キーを備えており、このキーボ
ード45から入力された情報やデータ等は制御部46に
供給される。
Hil制御部46は、マイクロプロセッサ等を備えてお
り、次に述べるように動作する。
り、次に述べるように動作する。
まず、新たな被検査実装基板26を検査するときには、
制御部46は第2図(A>に示すティーチングツローチ
ャートのステップST1でCR7表示器43上に基板名
称(例えば、基板の識別番号)と、基板サイズとを要求
するメツセージを表示させる。
制御部46は第2図(A>に示すティーチングツローチ
ャートのステップST1でCR7表示器43上に基板名
称(例えば、基板の識別番号)と、基板サイズとを要求
するメツセージを表示させる。
そして、キーボード45からこれら基板名称と、基板サ
イズとが入力されれば、制御部46はステップST2で
X−Yテール32上にティーチング用の基板(部品部分
が白く、それ以外の部分が黒く塗装された実装基板)2
4が載せられるまで持つ。この後この基板24が載せら
れれば、制御部46はX−Yテーブル部20を制御して
カラーTVカメラ34の下方に基板24の第1搬像エリ
アをRnさせる。
イズとが入力されれば、制御部46はステップST2で
X−Yテール32上にティーチング用の基板(部品部分
が白く、それ以外の部分が黒く塗装された実装基板)2
4が載せられるまで持つ。この後この基板24が載せら
れれば、制御部46はX−Yテーブル部20を制御して
カラーTVカメラ34の下方に基板24の第1搬像エリ
アをRnさせる。
次いで制御部46は、カラーTVカメラ34によって得
られた画像信号をA/D変換部36でA/D変換させる
とともに、このA′/D変換結果(基板24の画像デー
タ)をメモリ37にリアルタイムで記憶させる。
られた画像信号をA/D変換部36でA/D変換させる
とともに、このA′/D変換結果(基板24の画像デー
タ)をメモリ37にリアルタイムで記憶させる。
次いで制御部46は、前記メモリ37に記憶されている
画像データのR画素(または、G、B画素)を順次読み
出して、これを画像処理部39で2値化させ、前記基板
24の白く塗られている部分(部品27a部分)を抽出
させた後、この抽出動作によって得られた各部品27a
の位置データと、形状データとをティーチングテーブル
38に記憶させる。
画像データのR画素(または、G、B画素)を順次読み
出して、これを画像処理部39で2値化させ、前記基板
24の白く塗られている部分(部品27a部分)を抽出
させた後、この抽出動作によって得られた各部品27a
の位置データと、形状データとをティーチングテーブル
38に記憶させる。
この後、制御部46は、ステップST3で前記ティーチ
ングテーブル38に記憶されている各部品27aの位置
データと、形状データとに基づいて第3図に示すような
部品27aの位置、形状画面29を作成し、これをCR
7表示器43上に表示させるとともに、特殊な部品につ
いては、キーボード45から手動で入力するように要求
するメツセージを表示させる。
ングテーブル38に記憶されている各部品27aの位置
データと、形状データとに基づいて第3図に示すような
部品27aの位置、形状画面29を作成し、これをCR
7表示器43上に表示させるとともに、特殊な部品につ
いては、キーボード45から手動で入力するように要求
するメツセージを表示させる。
ここで、操作員が特殊な部品について、その位置データ
、形状データを入力すれば、これに応じてティ・−ヂン
グテーブル38に記憶されている特殊な部品の位置デー
タ、形状データが修正される。
、形状データを入力すれば、これに応じてティ・−ヂン
グテーブル38に記憶されている特殊な部品の位置デー
タ、形状データが修正される。
次いで制御部46は、ステップST4でCR7表示器4
3上に各部品27aの種類と、方向とを入力するように
要求するメツセージを表示させ、これら各部品27aの
種類と、方向とが入力されれば、これら各部品27aの
形状、種類、方向に応じてランドが存在すべき領域(ラ
ンド抽出領域)を求める。
3上に各部品27aの種類と、方向とを入力するように
要求するメツセージを表示させ、これら各部品27aの
種類と、方向とが入力されれば、これら各部品27aの
形状、種類、方向に応じてランドが存在すべき領域(ラ
ンド抽出領域)を求める。
この場合、部品27aがトランジスタのような3電極部
品であれば、第4図に示す如く部品27aの各電極47
aを含むように、かつこの部品27aの外側に広がるよ
うなランド抽出領1d 48 aが求められ、また部品
27aが抵抗等のような2電極部品であれば、第5図に
示す如く部品27aの両端に形成された電極47aを含
むように、かつこの部品27aの外側に広がるようなラ
ンド抽出領域488が求められる。
品であれば、第4図に示す如く部品27aの各電極47
aを含むように、かつこの部品27aの外側に広がるよ
うなランド抽出領1d 48 aが求められ、また部品
27aが抵抗等のような2電極部品であれば、第5図に
示す如く部品27aの両端に形成された電極47aを含
むように、かつこの部品27aの外側に広がるようなラ
ンド抽出領域488が求められる。
次いで、制御部46は、第6図(A>、(B)に示す如
くこれらの各ランド抽出領域48bを広げ、これによっ
て得られたランド抽出領域49aをティーチングテーブ
ル38に記憶させる。
くこれらの各ランド抽出領域48bを広げ、これによっ
て得られたランド抽出領域49aをティーチングテーブ
ル38に記憶させる。
この後、この第1撤像エリア内の残っている部品27a
に対しても、上述した処理が実行される。
に対しても、上述した処理が実行される。
そして、第i′eiaエリア内にある部品27aの全て
についてランド抽出領域49aの作成動作が終了すれば
、制御部46はステップST5を介して前記ステップS
T2に戻り、残りの搬像エリアについて上述した処理を
繰り返し実行し、全ての搬像エリアの部品27について
ランド抽出領域49aが得られたとき、ステップST5
からステップST6へ分岐する。
についてランド抽出領域49aの作成動作が終了すれば
、制御部46はステップST5を介して前記ステップS
T2に戻り、残りの搬像エリアについて上述した処理を
繰り返し実行し、全ての搬像エリアの部品27について
ランド抽出領域49aが得られたとき、ステップST5
からステップST6へ分岐する。
そして、このステップST6において、制御部46は、
X−Yテーブル部20からティーチング用の基板24が
外されて、未実装基板25が載せられるまで待つ。
X−Yテーブル部20からティーチング用の基板24が
外されて、未実装基板25が載せられるまで待つ。
次いで、このX−Yテーブル部20上に未実装基板25
がセットされれば、制御部46はX−Yテーブル部20
を制御してカラーTVカメラ34の下方に未実装基板2
5の第1雇凶エリアを位置させる。
がセットされれば、制御部46はX−Yテーブル部20
を制御してカラーTVカメラ34の下方に未実装基板2
5の第1雇凶エリアを位置させる。
どの後、制御部46はカラーTVカメラ34によって得
られた画像信号をA/D変換させるとともに、このA/
D変換結!!!(未実装基板25の画像データ)をメモ
リ37にリアルタイムで記憶させる。
られた画像信号をA/D変換させるとともに、このA/
D変換結!!!(未実装基板25の画像データ)をメモ
リ37にリアルタイムで記憶させる。
次いで、制御部46は、ティーチングテーブル38から
拡大されたランド抽出領域49aを読み出して、これを
画像処理部39に供給するとともに、メモリ37に記憶
されている未実装基板25の画像データを画像処理部3
9に供給して、この画像データからランド抽出領域49
aの画像(ランド抽出領域49a内の画像)を切り出さ
せる。
拡大されたランド抽出領域49aを読み出して、これを
画像処理部39に供給するとともに、メモリ37に記憶
されている未実装基板25の画像データを画像処理部3
9に供給して、この画像データからランド抽出領域49
aの画像(ランド抽出領域49a内の画像)を切り出さ
せる。
次いで、制御部46は、この画像処理部3つに色相明度
変換指令を供給して、前記ランド抽出領域内の画像を構
成する各画素を色相明度変換さける。
変換指令を供給して、前記ランド抽出領域内の画像を構
成する各画素を色相明度変換さける。
この場合の色相明度変換式としては、例えばつぎに示す
式が用いられる。
式が用いられる。
B RT (ij)= R(ij)+ G (ij)+
B (ij)・・・(1)Rc (ij)= a −
R(ij)/ B R王C13)−(2)Gc(ij
)=a −G(ij)/B RT(ij)・(3)B
e(ij)=a−B(ij)/B RT(ij)・(
4)ただしこの場合、R(ij):i行目のj列目にあ
る画素(画素(ij))のR 信号強度 G(ij):i行目のj列目にある 画素(画素(imのG 信号強度 B(ij):i行目のj列目にある 画素(画素(ij))のB 信号強度 B RT (ij) :画素(ij)の明るさα:係数 Rc (ij) :画素(ij)の赤色相G c (i
j) :画素(ij)の緑色相B c (ij) :画
素(ij)の肖色相そして、前記ランド抽出領域498
内の全画素について、上述した色相明度変換が終了すれ
ば、制御部46はランド抽出領域49a内の各画素(1
j1に対する赤色相RC(ij)が予め入力されたラン
ド抽出基準値C(例えば、C=0.4・α)以上かどう
かをチェックして、ランド抽出領域49a内にあるラン
ド28bを抽出する。
B (ij)・・・(1)Rc (ij)= a −
R(ij)/ B R王C13)−(2)Gc(ij
)=a −G(ij)/B RT(ij)・(3)B
e(ij)=a−B(ij)/B RT(ij)・(
4)ただしこの場合、R(ij):i行目のj列目にあ
る画素(画素(ij))のR 信号強度 G(ij):i行目のj列目にある 画素(画素(imのG 信号強度 B(ij):i行目のj列目にある 画素(画素(ij))のB 信号強度 B RT (ij) :画素(ij)の明るさα:係数 Rc (ij) :画素(ij)の赤色相G c (i
j) :画素(ij)の緑色相B c (ij) :画
素(ij)の肖色相そして、前記ランド抽出領域498
内の全画素について、上述した色相明度変換が終了すれ
ば、制御部46はランド抽出領域49a内の各画素(1
j1に対する赤色相RC(ij)が予め入力されたラン
ド抽出基準値C(例えば、C=0.4・α)以上かどう
かをチェックして、ランド抽出領域49a内にあるラン
ド28bを抽出する。
この優、制御部46はこのランド28bに関する位置デ
・−タ、形状データをティーチングテーブル38に記憶
させるとともに、各部品27aに対するランド間の距離
を゛算出し、この算出結果(距離データ)をティーチン
グテーブル38に記憶させる。
・−タ、形状データをティーチングテーブル38に記憶
させるとともに、各部品27aに対するランド間の距離
を゛算出し、この算出結果(距離データ)をティーチン
グテーブル38に記憶させる。
この場合、これら各距離データは、マウンタに各部品2
7の許容誤差を教示したり、ランドパターンを設計評価
したりするためのデータとして使用される。
7の許容誤差を教示したり、ランドパターンを設計評価
したりするためのデータとして使用される。
次いで、制御部46は、第7図(A>、(B)に示づ如
く前記ランド28bの形状データを広げて、ランド検査
領域50bを算出し、これをティーチングテーブル38
に記憶さUる。
く前記ランド28bの形状データを広げて、ランド検査
領域50bを算出し、これをティーチングテーブル38
に記憶さUる。
この後、制n部46は、ステップST8で前記ランド2
8bの位置、形状に基づいて、第8図(A)、(B)に
示す如く、各部品27aの中、火部分を切り出すための
部品ボデー検査領域51bをσ出して、これをティーチ
ングテーブル38に記憶させるとともに、CR7表示器
43上に各部品27aのボデーに関する特徴データ(例
えば、色データ)を要求するメツセージを表示さぼる。
8bの位置、形状に基づいて、第8図(A)、(B)に
示す如く、各部品27aの中、火部分を切り出すための
部品ボデー検査領域51bをσ出して、これをティーチ
ングテーブル38に記憶させるとともに、CR7表示器
43上に各部品27aのボデーに関する特徴データ(例
えば、色データ)を要求するメツセージを表示さぼる。
そして、操作員がキーボード45を操作して、全部品2
7aの特徴データを入力すれば、制御部46は、これを
ティーチングテーブル38に記憶させる。
7aの特徴データを入力すれば、制御部46は、これを
ティーチングテーブル38に記憶させる。
この後、この第1撮像エリア内にある残りの部品27a
に対して、上述した動作が繰り返される。
に対して、上述した動作が繰り返される。
そして、第1撮像エリア内にある部品27aの全てにつ
いてランド抽出処理から特徴データの入力処理まで終了
すれば、制御部46はステップST9を介して前記ステ
ップST6に戻り、残りの搬像エリアに対して、上述し
た処理を繰り返し実行する。
いてランド抽出処理から特徴データの入力処理まで終了
すれば、制御部46はステップST9を介して前記ステ
ップST6に戻り、残りの搬像エリアに対して、上述し
た処理を繰り返し実行する。
この後、全てのfluエリアの部品27aについて上述
した処理が終了したとき、制御部46はステップST9
からステップ5T10へ分岐する。
した処理が終了したとき、制御部46はステップST9
からステップ5T10へ分岐する。
そして、このステップ5T10において、制御部46は
、前記ティーチングテーブル38に記憶されている各デ
ータを整理して検査データファイルを作成し、これをテ
ィーチングテーブル38に記憶させ、ティーチング動作
を終了する。
、前記ティーチングテーブル38に記憶されている各デ
ータを整理して検査データファイルを作成し、これをテ
ィーチングテーブル38に記憶させ、ティーチング動作
を終了する。
またこのティーチング動作が終了して検査モードにされ
れば、制御部46は、第2図(B)に示す検査フローチ
ャートのステップ5T11でCR1表示器43上に被検
査実装基板26の基板名称を要求するメツセージを表示
させる。
れば、制御部46は、第2図(B)に示す検査フローチ
ャートのステップ5T11でCR1表示器43上に被検
査実装基板26の基板名称を要求するメツセージを表示
させる。
そして、キーボード45からこの基板名称が入力されれ
ば、制御部46はステップ5T12でX−Yテーブル3
2上に被検査実装基板26が載せられるまで持つ。この
後この被検査実装基板26が載せられれば、制御部46
はX−Yテーブル部20をfl、IJaしてカラーTV
カメラ34の下方に被検査実装基板26の第1搬像エリ
アを配置させる。
ば、制御部46はステップ5T12でX−Yテーブル3
2上に被検査実装基板26が載せられるまで持つ。この
後この被検査実装基板26が載せられれば、制御部46
はX−Yテーブル部20をfl、IJaしてカラーTV
カメラ34の下方に被検査実装基板26の第1搬像エリ
アを配置させる。
次いで制御部46は、カラーTVカメラ34によって得
られた画像信号をA/D変換部36でA/D変換させる
とともに、このA/D変換結果(被検査実装基板26の
画像データ〉をメモリ37にリアルタイムで記憶させる
。
られた画像信号をA/D変換部36でA/D変換させる
とともに、このA/D変換結果(被検査実装基板26の
画像データ〉をメモリ37にリアルタイムで記憶させる
。
次いで、制御部46は、ティーチングテーブル38から
部品ボデー検査領域51bを読み出して、これを画像処
理部39に供給するとともに、メモリ37に記憶されて
いる被検査実装基板26の画像データを画像処理部39
に供給して、この画像データから検査領域51bの画像
を切り出させる。
部品ボデー検査領域51bを読み出して、これを画像処
理部39に供給するとともに、メモリ37に記憶されて
いる被検査実装基板26の画像データを画像処理部39
に供給して、この画像データから検査領域51bの画像
を切り出させる。
次いで、制御H146は、この画像処理部39に特徴抽
出指令を供給して、前記検査領域51bによって切り出
した画像の特徴データを抽出させる(例えば、画像の各
画素を色相明度変換させる)。
出指令を供給して、前記検査領域51bによって切り出
した画像の特徴データを抽出させる(例えば、画像の各
画素を色相明度変換させる)。
この後、制御部46は、ステップ5T13で前記検査領
Ta51b内にある画像の特徴データがティーチングテ
ーブル38に記憶すれている各部品27aの特徴データ
と一致しているかどうかを判定し、もしこれらが一致し
ていれば、このステップ5T13からステップ5T14
へ分岐し、ここでティーチングテーブル38からランド
検査領域50bを読み出して、これを画像処理部39に
供給するとともに、メモリ37に記憶されている被検査
実装基板26の画像データを画像処理部39に供給して
、この画像データからランド検査領域50bの画像を切
り出させる。
Ta51b内にある画像の特徴データがティーチングテ
ーブル38に記憶すれている各部品27aの特徴データ
と一致しているかどうかを判定し、もしこれらが一致し
ていれば、このステップ5T13からステップ5T14
へ分岐し、ここでティーチングテーブル38からランド
検査領域50bを読み出して、これを画像処理部39に
供給するとともに、メモリ37に記憶されている被検査
実装基板26の画像データを画像処理部39に供給して
、この画像データからランド検査領域50bの画像を切
り出させる。
次いで、制御部46は、この画像処理部39に色相明度
変換指令を供給して、前記ランド検゛査領1i’!50
bの画像を構成する各画素を色相明度変換させる。
変換指令を供給して、前記ランド検゛査領1i’!50
bの画像を構成する各画素を色相明度変換させる。
そして、前記ランド検査領域50b内の全画素について
、上述した色相明度変換が終了すれば、iII 00部
46はステップ5T15でランド検査領域50b内の各
画素(ij)に対する赤色相RC(i、i)が予め入力
されたランド抽出Hty値C(例えば、C=0.4・α
)以上かどうかをチェックして、ランド検査領域50b
内にあるランド28cを抽出する。
、上述した色相明度変換が終了すれば、iII 00部
46はステップ5T15でランド検査領域50b内の各
画素(ij)に対する赤色相RC(i、i)が予め入力
されたランド抽出Hty値C(例えば、C=0.4・α
)以上かどうかをチェックして、ランド検査領域50b
内にあるランド28cを抽出する。
この後、制御部46はランド検査領域50b内の各画素
(ij)に対するB RT (ij)が予め入力された
電極抽出基準値り以上かどうかをチェックして、ランド
検査領域50b内にある電8i47cを抽出する。
(ij)に対するB RT (ij)が予め入力された
電極抽出基準値り以上かどうかをチェックして、ランド
検査領域50b内にある電8i47cを抽出する。
次いで、i、1ltll1部46はステップ5T16で
ランド検査領域50k)内にある電極電極47cの位置
と、形状とを参照しながらランド28cの形状と、ティ
ーチングテーブル38に記憶されている未実装基板25
のランド28bの形状とを比較してランド28Cの部品
27cで隠されている部分を弾出(推定)する。
ランド検査領域50k)内にある電極電極47cの位置
と、形状とを参照しながらランド28cの形状と、ティ
ーチングテーブル38に記憶されている未実装基板25
のランド28bの形状とを比較してランド28Cの部品
27cで隠されている部分を弾出(推定)する。
この後、i、1JfO部46はステップST17でこの
粋出結果から第9図(A)、(B)に示す如くこれらラ
ンド28cと、部品27cどの位置関係を示すかぶり面
積データ(ランド28Cの部品2アCで隨されている部
分の面積データ)、幅データ、奥行きデータを求めると
ともに、これらの各データの値が充分かどうかをチェッ
クする。
粋出結果から第9図(A)、(B)に示す如くこれらラ
ンド28cと、部品27cどの位置関係を示すかぶり面
積データ(ランド28Cの部品2アCで隨されている部
分の面積データ)、幅データ、奥行きデータを求めると
ともに、これらの各データの値が充分かどうかをチェッ
クする。
そして、これらの8値が充分であれば、制御部46はこ
のステップ5T17からステップ5TI8に分岐し、こ
こでこの部品27cが良好にマウントされていると判定
して、CR1表示器43上にこれを表示したり、プリン
タ44がらプリントアウトしたりする。
のステップ5T17からステップ5TI8に分岐し、こ
こでこの部品27cが良好にマウントされていると判定
して、CR1表示器43上にこれを表示したり、プリン
タ44がらプリントアウトしたりする。
また前記各ステップ5T13.5T17において、検査
領域51b内にある画像の特徴データがティーチングテ
ーブル38に記憶されている各部品27aの特徴データ
と一致していないと判定されたり、ランド28Gと、部
品27cとの位置関係を示すかぶり面積データ、幅デー
タ、奥行ぎデータが充分でないと判定されれば、制御部
46はこれらの各ステップ5T13、ST17からステ
ップ5T19へ分岐し、ここでこの部品27Gがマウン
ト不良であると判定して、CRT表示器43上にこれを
表示したり、プリンタ44からプリントアウトしたりす
る。
領域51b内にある画像の特徴データがティーチングテ
ーブル38に記憶されている各部品27aの特徴データ
と一致していないと判定されたり、ランド28Gと、部
品27cとの位置関係を示すかぶり面積データ、幅デー
タ、奥行ぎデータが充分でないと判定されれば、制御部
46はこれらの各ステップ5T13、ST17からステ
ップ5T19へ分岐し、ここでこの部品27Gがマウン
ト不良であると判定して、CRT表示器43上にこれを
表示したり、プリンタ44からプリントアウトしたりす
る。
この後、この第1囮像エリア内にある残りの部品27G
に対して、上述した処理が繰り返され、部品27Cの全
てについて判定処理が終了すれば、制御部46はステッ
プ5T20を介して前記ステップ5T12に戻り、残り
の撮像エリアに対して、上述した処理を繰り返し実行す
る。。
に対して、上述した処理が繰り返され、部品27Cの全
てについて判定処理が終了すれば、制御部46はステッ
プ5T20を介して前記ステップ5T12に戻り、残り
の撮像エリアに対して、上述した処理を繰り返し実行す
る。。
そして、全ての撮像エリアの部品27Gについて判定処
理が終了したとぎ、この検査処理を終了する。
理が終了したとぎ、この検査処理を終了する。
このようにこの実施例においては、被検査実装基板26
のランド28Cが基板毎に異なっていても、ランド28
c上の許容できる範囲内に部品27Cがマウントされて
いれば、マウント良好と判定することができるので、基
板の加工誤差に起因する誤判定を防止することができる
とともに、各部品27Cに対して最適な位置ずれ許容量
を自動的に設定することができる。
のランド28Cが基板毎に異なっていても、ランド28
c上の許容できる範囲内に部品27Cがマウントされて
いれば、マウント良好と判定することができるので、基
板の加工誤差に起因する誤判定を防止することができる
とともに、各部品27Cに対して最適な位置ずれ許容量
を自動的に設定することができる。
これによって第10図(A)、(B)おJ:び第11図
(A)、(B)に示すような場合には、マウント良好と
判定し、また第10図(C)および第11図(C)、(
D)に示すような場合には、マウント不良と判定するこ
とができる。
(A)、(B)に示すような場合には、マウント良好と
判定し、また第10図(C)および第11図(C)、(
D)に示すような場合には、マウント不良と判定するこ
とができる。
また上述した実施例においては、ティーチングのとき、
部品27aの種類を手動で入力するようにしているが、
基準実装基板等を用いて入力された画像から部品27a
の電極を検出し、この電極位四から部品部品27aの種
類を自動で入力するようにしても良い。
部品27aの種類を手動で入力するようにしているが、
基準実装基板等を用いて入力された画像から部品27a
の電極を検出し、この電極位四から部品部品27aの種
類を自動で入力するようにしても良い。
また上述した実施例においては、ティーチングのとき、
部品27aの特徴データを手動で入力するようにしてい
るが、基準実装基板等を用いて、これを自動的に入力す
るようにしても良い。
部品27aの特徴データを手動で入力するようにしてい
るが、基準実装基板等を用いて、これを自動的に入力す
るようにしても良い。
(発明の効果)
以上説明したように本発明によれば、各部品に対してR
適な位置ずれ許容量を自動的に設定することができると
ともに、被検査実装基板のランドが基板毎に異なってい
ても、ランド上の許容できる範囲内に部品がマウントさ
れていれば、マウント良好と判定することができ、これ
によって基板の加工誤差に起因する誤判定を防止するこ
とができ、また被検査実装基板上に形成された部品によ
って隠された部分の形状等を知ることができる。
適な位置ずれ許容量を自動的に設定することができると
ともに、被検査実装基板のランドが基板毎に異なってい
ても、ランド上の許容できる範囲内に部品がマウントさ
れていれば、マウント良好と判定することができ、これ
によって基板の加工誤差に起因する誤判定を防止するこ
とができ、また被検査実装基板上に形成された部品によ
って隠された部分の形状等を知ることができる。
第1図(A)は本発明による実装基板検査装置の一実施
例を示すブロック図、第1図(B)は前記実施例におけ
る未実装基板の搬像結果を概略的に示す図、第1図(C
)は同じく前記丈tMPAにおける被検査実装基板の搬
像結果を概略的に示す図、第2図(A)は同実施例のテ
ィーチング動作例を示すフローチャート、第2図(B)
は同実施例の検査動作例を示すフローチャート、第3図
は同実施例の部品の位置、形状画面の一例を示す模式図
、第4図は同実施例のトランジスタ等に対するランド抽
出領域の一例を示す模式図、第5図は同実施例の抵抗等
に対するランド抽出領域の一例を示す模式図、第6図(
A)、(B)は各々同実施例の各部品に対する拡大され
たランド抽出領域の一例を示す模式図、第7図(A)、
(8)は各々同実施例の各部品に対するランド検査領域
の一例を示す模式図、第8図(A)、(B)は各々同実
施例の各部品に対する部品ボデー検査領域の一例を示す
模式図、第9図(A)、(B)は各々同実施例における
部品と、ランドとの位置関係に対する判定動作を説明す
るための模式図、第10図(A)〜(C)は各々同実施
例の判定例を説明するための模式図、第11図(A)〜
(D)は各々同実施例の判定例を説明するための模式図
、第12図は従来の実装基板検査装置の一例を示すブロ
ック図、第13図はこの実装基板検査装置におけるマウ
ントずれを説明するための模式図、第14図はこの実装
基板検査装置におけるランドと部品との位置関係を示す
模式図である。 22・・・層像部、25・・・未実装基板、26・・・
実装基板、27C・・・部品、28b、28C・・・ラ
ンド、39・・・ランド抽出部(画像処理部)、46・
・・位置関係抽出部1判定部(制御部)。 代理人 弁理士 岩0百二(他1名)定1目CB
) 第9図(A) 第9図[8) t!+
例を示すブロック図、第1図(B)は前記実施例におけ
る未実装基板の搬像結果を概略的に示す図、第1図(C
)は同じく前記丈tMPAにおける被検査実装基板の搬
像結果を概略的に示す図、第2図(A)は同実施例のテ
ィーチング動作例を示すフローチャート、第2図(B)
は同実施例の検査動作例を示すフローチャート、第3図
は同実施例の部品の位置、形状画面の一例を示す模式図
、第4図は同実施例のトランジスタ等に対するランド抽
出領域の一例を示す模式図、第5図は同実施例の抵抗等
に対するランド抽出領域の一例を示す模式図、第6図(
A)、(B)は各々同実施例の各部品に対する拡大され
たランド抽出領域の一例を示す模式図、第7図(A)、
(8)は各々同実施例の各部品に対するランド検査領域
の一例を示す模式図、第8図(A)、(B)は各々同実
施例の各部品に対する部品ボデー検査領域の一例を示す
模式図、第9図(A)、(B)は各々同実施例における
部品と、ランドとの位置関係に対する判定動作を説明す
るための模式図、第10図(A)〜(C)は各々同実施
例の判定例を説明するための模式図、第11図(A)〜
(D)は各々同実施例の判定例を説明するための模式図
、第12図は従来の実装基板検査装置の一例を示すブロ
ック図、第13図はこの実装基板検査装置におけるマウ
ントずれを説明するための模式図、第14図はこの実装
基板検査装置におけるランドと部品との位置関係を示す
模式図である。 22・・・層像部、25・・・未実装基板、26・・・
実装基板、27C・・・部品、28b、28C・・・ラ
ンド、39・・・ランド抽出部(画像処理部)、46・
・・位置関係抽出部1判定部(制御部)。 代理人 弁理士 岩0百二(他1名)定1目CB
) 第9図(A) 第9図[8) t!+
Claims (1)
- 撮像部によつて得られた未実装基板画像および実装基
板画像からランドを抽出するランド抽出部と、このラン
ド抽出部によつて得られた未実装基板のランド形状と実
装基板のランド形状とに基づいて実装基板上の部品とラ
ンドとの位置関係を抽出する位置関係抽出部と、この位
置関係抽出部によつて得られた位置関係から前記部品の
マウント状態を判定する判定部とを備えたことを特徴と
する実装基板検査装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61236499A JPH0820229B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 実装基板検査装置 |
| AT87114529T ATE109278T1 (de) | 1986-10-03 | 1987-10-05 | Gerät zur untersuchung einer elektronischen vorrichtung in fester baugruppe. |
| DE3750285T DE3750285T2 (de) | 1986-10-03 | 1987-10-05 | Gerät zur Untersuchung einer elektronischen Vorrichtung in fester Baugruppe. |
| US07/104,149 US4953100A (en) | 1986-10-03 | 1987-10-05 | Apparatus for inspecting packaged electronic device |
| EP87114529A EP0263473B1 (en) | 1986-10-03 | 1987-10-05 | Apparatus for inspecting packaged electronic device |
| US07/513,227 US5027295A (en) | 1986-10-03 | 1990-05-09 | Apparatus for inspecting packaged electronic device |
| HK36696A HK36696A (en) | 1986-10-03 | 1996-02-29 | Apparatus for inspecting packaged electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61236499A JPH0820229B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 実装基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6390707A true JPS6390707A (ja) | 1988-04-21 |
| JPH0820229B2 JPH0820229B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17001634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61236499A Expired - Fee Related JPH0820229B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 実装基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820229B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7239399B2 (en) | 2001-11-13 | 2007-07-03 | Cyberoptics Corporation | Pick and place machine with component placement inspection |
| US7346419B2 (en) | 2001-11-13 | 2008-03-18 | Cyberoptics Corporation | Component feeder exchange diagnostic tool |
| JPWO2014033815A1 (ja) * | 2012-08-27 | 2016-08-08 | 富士機械製造株式会社 | Ng部品表示方法およびng部品表示システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61243304A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-29 | Hitachi Denshi Ltd | 実装基板の外観検査方式 |
-
1986
- 1986-10-03 JP JP61236499A patent/JPH0820229B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61243304A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-29 | Hitachi Denshi Ltd | 実装基板の外観検査方式 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7239399B2 (en) | 2001-11-13 | 2007-07-03 | Cyberoptics Corporation | Pick and place machine with component placement inspection |
| US7346419B2 (en) | 2001-11-13 | 2008-03-18 | Cyberoptics Corporation | Component feeder exchange diagnostic tool |
| US7346420B2 (en) | 2001-11-13 | 2008-03-18 | Cyberoptics Corporation | Component feeder exchange diagnostic tool |
| JPWO2014033815A1 (ja) * | 2012-08-27 | 2016-08-08 | 富士機械製造株式会社 | Ng部品表示方法およびng部品表示システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0820229B2 (ja) | 1996-03-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62261048A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JPS6390707A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JP2000004079A (ja) | はんだ検査装置 | |
| JP2664141B2 (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JP3289070B2 (ja) | 実装部品検査装置 | |
| JPS63113682A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPS62298750A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP3264020B2 (ja) | 検査用データ作成方法および実装部品検査装置 | |
| JPH0526815A (ja) | 実装部品検査用データの教示方法 | |
| JP3146644B2 (ja) | 実装部品検査用データの教示方法 | |
| JP2917970B2 (ja) | 実装基板検査結果出力方法 | |
| JPH11258176A (ja) | 検査装置および方法 | |
| JPH06174446A (ja) | 実装部品検査装置 | |
| JPS63173171A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPH0835826A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPS63148152A (ja) | 基板検査装置 | |
| JPS62180251A (ja) | 基板自動検査装置におけるティーチング方法および装置 | |
| JPS63173172A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JP3273378B2 (ja) | 基板検査装置における特徴パラメータ決定装置 | |
| JPH07107512B2 (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JPH06258244A (ja) | 実装部品検査用データの教示方法 | |
| JP3189441B2 (ja) | 実装部品検査装置における教示データ修正方法 | |
| JPS63173170A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPS62261047A (ja) | プリント基板処理装置 | |
| JP2000019123A (ja) | はんだ検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |