JPS6410643U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6410643U JPS6410643U JP10501787U JP10501787U JPS6410643U JP S6410643 U JPS6410643 U JP S6410643U JP 10501787 U JP10501787 U JP 10501787U JP 10501787 U JP10501787 U JP 10501787U JP S6410643 U JPS6410643 U JP S6410643U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealed container
- gas
- leak
- test
- pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例にかかるリークテス
ト装置を示す概略図である。 １……ヘリウムリークデイテクタ、２……吸入
パイプ、３……被検査物、５……密封容器、１０
……濃度センサ、１１……圧力センサ、１２……
真空排気ポンプ、１４……Ｈｅガスボンベ、１９
……制御手段。
ト装置を示す概略図である。 １……ヘリウムリークデイテクタ、２……吸入
パイプ、３……被検査物、５……密封容器、１０
……濃度センサ、１１……圧力センサ、１２……
真空排気ポンプ、１４……Ｈｅガスボンベ、１９
……制御手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 Ｈｅガスを用いて、被検査物のリークテストを
行うリークテスト装置において、 被検査物が、リークデイテクタの分析部に導く
吸入パイプに装着された状態で、収納される分割
構造の密封容器と、 この密封容器の内部を真空排気する排気手段と
、 真空排気された前記密封容器内にＨｅガスを供
給するＨｅガス供給手段と、 前記密封容器内におけるＨｅガスの濃度および
圧力を検知する検知手段と、 この検知手段からの出力信号に基づいて前記密
封容器内のＨｅガスの濃度および圧力を一定に制
御する制御手段と、 を備えていることを特徴とするリークテスト装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10501787U JPS6410643U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10501787U JPS6410643U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410643U true JPS6410643U (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=31337256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10501787U Pending JPS6410643U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6410643U (ja) |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP10501787U patent/JPS6410643U/ja active Pending